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전자 현미경에 설치되어 샘플의 산화를 방지하기 위한 기체 교환 장치로서, 일면이 개방된 하우징으로, 상기 일면에는 상기 전자 현미경과의 탈착 또는 부착을 위한 고정 부재가 위치하며, 상기 고정 부재를 통해 상기 전자 현미경과 결합됨에 따라 내부가 외부와 밀폐되는, 하우징;상기 하우징의 내부로 불활성 기체를 유입하는 기체 입구;상기 하우징의 내부로 상기 불활성 기체가 유입됨에 따라 상기 하우징의 내부에 존재하는 활성 기체가 외부로 유출되는 기체 출구; 및상기 하우징의 내부와 연결되도록 형성된 적어도 하나의 글로브를 포함하는 기체 교환 장치
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제1 항에 있어서, 상기 기체 입구는 하우징의 제1 측면에 위치하며, 상기 기체 출구는 상기 하우징의 제1 측면과 대향하는 하우징의 제2 측면에 위치하는 것을 특징으로 하는 기체 교환 장치
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제2 항에 있어서, 상기 글로브는 복수 개이며, 상기 글로브는 상기 제1 측면에 위치하는 제1 글로브, 상기 제2 측면에 위치하는 제2 글로브를 포함하는 기체 교환 장치
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제3 항에 있어서, 상기 하우징은 상기 제1 측면과 상기 제2 측면을 연결하는 상부면을 포함하고, 상기 글로브는 상기 상부면에 위치하는 제3 글로브를 더 포함하는 기체 교환 장치
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제1 항에 있어서, 상기 하우징이 상기 전자 현미경에 결합된 상태에서 샘플의 유입을 위해, 상기 하우징에 형성된 샘플 유입 도어를 더 포함하는 기체 교환 장치
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제1 항에 있어서, 상기 하우징의 내부에 위치하여 하우징 내부의 상태를 나타내는 센서 및 상기 센서를 수납하는 센서 수납함을 더 포함하고, 상기 센서는 상기 하우징 내부의 산소 농도를 측정하기 위한 산소 농도 센서와 상기 하우징 내부의 상대 습도를 측정하기 위한 상대 습도 센서를 포함하는 기체 교환 장치
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전자 현미경에 설치되어 샘플의 산화를 방지하기 위한 기체 교환 장치를 이용한 샘플 측정 방법으로, 상기 전자 현미경에 결합되고, 내부에 샘플이 위치한 기체 교환 장치를 준비하는 단계;상기 기체 교환 장치의 기체 입구를 통해 불활성 기체를 유입하는 단계로서, 상기 불활성 기체가 유입됨에 따라 상기 기체 교환 장치 내부에 존재하는 활성 기체가 상기 기체 교환 장치의 기체 출구를 통해 유출되는, 단계;상기 기체 교환 장치의 글로브를 이용하여 상기 샘플을 상기 전자 현미경에 실장하는 단계; 및상기 전자 현미경을 이용하여 상기 샘플의 물성을 측정하는 단계를 포함하는 샘플 측정 방법
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제7 항에 있어서, 상기 기체 교환 장치를 준비하는 단계는, 상기 기체 교환 장치를 상기 전자 현미경에 결합하는 단계; 및상기 기체 교환 장치의 샘플 유입 도어를 통해 상기 샘플을 내부로 유입하는 단계를 포함하는 샘플 측정 방법
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제7 항에 있어서, 상기 기체 교환 장치의 기체 입구를 통해 불활성 기체를 유입하는 단계는, 상기 기체 교환 장치의 내부 상태를 도시하는 센서를 통해 상기 불활성 기체의 유입에 따른 상태 변화를 확인하고,상기 내부 상태가 기준 상태에 해당할 때까지 상기 불활성 기체를 유입하는 것을 포함하는 샘플 측정 방법
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제7 항에 있어서, 상기 샘플은 진공 상태로 밀봉된 상태이며, 상기 기체 교환 장치의 글로브를 이용하여 상기 샘플을 상기 전자 현미경에 실장하는 단계는,상기 기체 교환 장치의 글로브를 이용하여 상기 샘플의 밀봉을 해제하는 단계; 및 밀봉이 해제된 샘플을 상기 전자 현미경에 실장하는 단계를 포함하는 샘플 측정 방법
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