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하부 기판;상기 하부 기판 상의 커버층;상기 하부 기판과 상기 커버층의 사이에서 제1 방향으로 연장된 제1 지지층으로서, 상기 제1 지지층은 상기 커버층의 하면과 수직한 제1 면 및 제2 면을 갖는 것;상기 하부 기판과 상기 커버층의 사이에서 상기 제1 방향으로 연장된 제2 지지층으로서, 상기 제2 지지층은 상기 제2 면과 마주하는 제3 면 및 상기 제3 면의 반대면인 제4 면을 갖는 것;상기 제1 면, 상기 제2 면, 상기 제3 면 및 상기 제4 면 상의 각각 배치된 압전 박막들;상기 제2 면 및 상기 제3 면 사이에서 상기 커버층의 상기 하면 상의 진동소자; 및상기 커버층의 상기 하면과 상기 진동 소자 사이의 압전 센서를 포함하는 진동 및 음향 발생 장치
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제1 항에 있어서,상기 압전 박막의 상면은 상기 진동 소자의 하면에 비해 높은 수직적 레벨에 위치하는 진동 및 음향 발생 장치
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제1 항에 있어서,상기 커버층을 상하로 관통하는 제1 홀들을 더 포함하되,상기 제1 홀들은 상기 제1 지지층과 상기 진동 소자의 사이에 위치하는 진동 및 음향 발생 장치
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제3 에 있어서,상기 제1 홀들은 상기 제1 방향을 따라 배열되고, 상기 압전 박막들과 수직적으로 중첩되는 진동 및 음향 발생 장치
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제1 항에 있어서,상기 제1 지지층을 상기 제1 방향과 수직한 제2 방향으로 관통하는 제2 홀들을 더 포함하는 진동 및 음향 발생 장치
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제5 항에 있어서,상기 홀들은 상기 제1 방향을 따라 배열되는 진동 및 음향 발생 장치
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제1 항에 있어서,상기 제1 지지층과 상기 압전 박막들의 사이의 전극들을 더 포함하는 진동 및 음향 발생 장치
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제1 항에 있어서,상기 진동 소자의 상면과 상기 지지층의 하면 사이의 거리는 상기 진동 소자의 하면과 상기 하부 기판의 상면 사이의 거리에 비해 큰 진동 및 음향 발생 장치
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하부 기판;상기 하부 기판 상의 커버층;상기 하부 기판과 상기 커버층의 사이에서 제1 방향으로 연장된 지지층으로서, 상기 지지층은 상기 제1 방향과 수직한 제2 방향으로 서로 대향하는 제1 면 및 제2 면을 갖는 것;상기 제1 면 및 상기 제2 면 상에 각각 배치된 압전 박막들;상기 커버층의 하면 상의 진동소자;상기 커버층의 상기 하면과 상기 진동소자 사이의 압전 센서; 및상기 압전 박막의 상면과 상기 커버 층의 사이에서 상기 지지층을 상기 제2 방향으로 관통하는 제1 홀들을 포함하는 진동 및 음향 발생 장치
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제9 항에 있어서,상기 제1 홀들은 상기 제1 방향을 따라 배열되는 진동 및 음향 발생 장치
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제9 항에 있어서,상기 커버층을 상하로 관통하는 제2 홀들을 더 포함하되,상기 제2 홀들은 상기 제1 방향을 따라 배열되고, 상기 압전 박막들과 수직적으로 중첩되는 진동 및 음향 발생 장치
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제9 항에 있어서,상기 진동 소자의 상면과 상기 지지층의 하면 사이의 거리는 상기 진동 소자의 하면과 상기 하부 기판의 상면 사이의 거리에 비해 큰 진동 및 음향 발생 장치
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제9 항에 있어서,상기 압전 박막의 상면은 상기 진동 소자의 하면에 비해 높은 수직적 레벨에 위치하는 진동 및 음향 발생 장치
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제10 항에 있어서,상기 제1 지지층과 상기 압전 박막들의 사이의 전극들을 더 포함하는 진동 및 음향 발생 장치
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