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유연 기판;상기 유연 기판을 덮는 흡습 방지막;상기 흡습 방지막 상의 유전막;상기 유전막 상의 소수성 패턴들;상기 흡습 방지막과 상기 유전막 사이의 제1 전극; 및상기 흡습 방지막과 상기 유전막의 사이에서 상기 제1 전극과 이격된 제2 전극을 포함하되, 제1 전극은 상기 흡습 방지막에 비해 두꺼운 두께를 갖는 습도 센서
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제1 항에 있어서,상기 흡습 방지막은 상기 기판의 상면, 하면 및 측면을 덮는 습도 센서
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제1 항에 있어서,상기 유전막은 상기 제1 전극과 상기 제2 전극의 사이에서, 상기 흡습 방지막과 직접 접촉하는 습도 센서
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제1 항에 있어서,상기 흡습 방지막은 상기 유연 기판 및 상기 유전막에 비해 낮은 투습도(Water Vapor Transmission Rate, WVTR)를 갖는 습도 센서
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제1 항에 있어서,상기 흡습 방지막은 Al2O3, ZnO, ZrO2, TiO2, HfO2, SiOx, SiNx, SiOxNy 및 세라믹 중 하나를 포함하는 습도 센서
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제1 항에 있어서,상기 소수성 패턴들은 상기 제1 전극 상의 제1 소수성 패턴, 상기 제2 전극 상의 제2 소수성 패턴 및 상기 제1 전극과 상기 제2 전극의 사이의 제3 소수성 패턴을 포함하는 습도 센서
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제1 항에 있어서,상기 유연 기판은 PET, PEN, PC, PES 및 PI 폴리머 중 하나를 포함하는 습도 센서
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제1 항에 있어서,상기 유전막은 cellulose acetate butyrate (CAB), PI, polymethyl methacrylate (PMMA), poly(hydroxyethyl methacrylate) (PHEMA) 및 poly(tetrafluoroethylene) (PTFE) 폴리머 중 하나를 포함하는 습도 센서
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제1 항에 있어서,상기 소수성 패턴은 상기 유연 기판의 상면으로부터 멀어질수록 좁아지는 폭을 갖는 습도 센서
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제1 항에 있어서,상기 유전막은 상기 흡습 방지막에 비해 얇은 두께를 갖는 습도 센서
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기판;상기 기판의 상면 하면 및 측면을 덮는 흡습 방지막;상기 흡습 방지막 상의 제1 전극;상기 흡습 방지막 상에서 상기 제1 전극과 이격된 제2 전극; 및상기 제1 전극 및 상기 제2 전극을 덮는 유전막을 포함하되,상기 제1 전극과 상기 제2 전극의 사이에서, 상기 유전막은 상기 흡습 방지막의 상면을 덮는 습도 센서
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제11 항에 있어서,상기 유전막 상의 소수성 패턴을 더 포함하는 습도 센서
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제11 항에 있어서,상기 흡습 방지막은 상기 유연 기판 및 상기 유전막에 비해 낮은 투습도(Water Vapor Transmission Rate, WVTR)를 갖는 습도 센서
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제11 항에 있어서,상기 흡습 방지막은 Al2O3, ZnO, ZrO2, TiO2, HfO2, SiOx, SiNx, SiOxNy 및 세라믹 중 하나를 포함하는 습도 센서
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제11 항에 있어서,상기 흡습 방지막과 상기 유전막 사이의 제3 전극; 및상기 제3 전극과 상기 유전막 사이의 상부 흡습 방지막을 더 포함하는 습도 센서
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