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하우징;상기 하우징의 내부에 배치되는 진동소자;상기 하우징 내에 배치되되, 상기 진동소자의 하측에 결합되는 제1진동전달체; 및상기 제1진동전달체의 하측에 배치되는 제2진동전달체;를 포함하며,상기 하우징의 내면, 상기 제1진동전달체의 외면 및 상기 제2진동전달체의 상면이 공간을 형성하고,액체가 상기 공간을 거쳐 하측으로 토출되도록 액체유로가 형성되는 것을 특징으로 하는 초음파를 이용한 유체 분사 모듈
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제1항에 있어서,상기 액체유로는,상기 하우징을 관통하여 상기 공간으로 액체를 공급하는 제1액체유로; 및 상기 제2진동전달체를 관통하여 하측으로 액체를 분출하는 제2액체유로;를 포함하는 것을 특징으로 하는 초음파를 이용한 유체 분사 모듈
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제2항에 있어서,상기 제2액체유로는 상기 제1진동전달체 및 제2진동전달체를 순차적으로 관통하여 상기 제2진동전달체의 저면에 개구되는 것을 특징으로 하는 초음파를 이용한 유체 분사 모듈
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제1항에 있어서,상기 하우징의 하측에 결합되는 결합하우징;을 더 포함하며,상기 결합하우징의 중공 상에 상기 제2진동전달체가 배치되는 것을 특징으로 하는 초음파를 이용한 유체 분사 모듈
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제4항에 있어서,상기 결합하우징의 외면으로부터 내면으로 관통되는 기체유로;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 초음파를 이용한 유체 분사 모듈
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6
제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,상기 제2진동전달체로 기체를 분출하도록 내부에 기체유로가 형성된 기체공급장치;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 초음파를 이용한 유체 분사 모듈
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7
제1항에 있어서,상기 액체유로는,상기 하우징을 관통하여 상기 공간으로 액체를 공급하는 제1액체유로; 및 상기 결합하우징을 관통하여 하측으로 액체를 분출하는 제2액체유로;를 포함하며,상기 제2액체유로는 상기 제2진동전달체로 액체를 분출하는 것을 특징으로 하는 초음파를 이용한 유체 분사 모듈
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8
제7항에 있어서,상기 제2진동전달체는 저면이 경사지게 형성되되,상기 제2액체유로는 상기 제2진동전달체의 저면에 액체를 분출하는 것을 특징으로 하는 초음파를 이용한 유체 분사 모듈
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9
제2항 또는 제7항에 있어서,상기 공간으로 개구된 제2액체유로의 일단 개구부는, 발생된 초음파의 변위가 최대인 지점에 형성되는 것을 특징으로 하는 초음파를 이용한 유체 분사 모듈
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10
제2항 또는 제7항에 있어서,상기 제2액체유로가 복수 또는 환형으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 초음파를 이용한 유체 분사 모듈
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제1항에 있어서,상기 제1진동전달체의 측면에는 체결부가 형성되어 상기 하우징의 내면에 수밀 결합되도록 이루어지며,상기 체결부가 형성된 영역 상측으로는 냉각유체가 출입되고,상기 체결부가 형성된 영역 하측으로는 액체가 출입되어,상기 진동소자 및 제1진동전달체를 냉각하는 것을 특징으로 하는 초음파를 이용한 유체 분사 모듈
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12
하우징;상기 하우징의 하측에 결합되는 결합하우징; 및상기 하우징의 내부에 배치되는 진동소자;상기 하우징의 내부에 배치되되 진동소자의 하측에 결합되는 진동전달체;액체를 공급 및 분출하는 액체유로; 및기체를 공급 및 분출하는 기체유로;를 포함하며,상기 액체유로 및 기체유로에서 공급되는 유체가 혼합되어 이류체로 형성되는 것을 특징으로 하는 초음파를 이용한 유체 분사 모듈
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13
제12항에 있어서,상기 하우징의 상면을 관통하도록 형성되는 컴팩트;를 더 포함하여 이루어지며,상기 액체유로는 상기 컴팩트 상에 형성되어 상기 진동전달체의 하단으로 연장되는 것을 특징으로 하는 초음파를 이용한 유체 분사 모듈
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14
제13항에 있어서,상기 액체가 분출되는 상기 진동전달체의 하단에 결합되어 상기 분사액체의 분사 패턴을 조절하는 패턴조절캡;을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 초음파를 이용한 유체 분사 모듈
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15
제12항에 있어서,상기 액체유로 및 기체유로는 상기 결합하우징을 관통하도록 형성되어 상기 진동전달체의 외측면에 액체 및 기체를 각각 분출하는 것을 특징으로 하는 초음파를 이용한 유체 분사 모듈
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16
제15항에 있어서,상기 진동전달체의 저면이 경사지게 형성되되,상기 액체유로는 상기 진동전달체의 저면에 액체를 분출하는 것을 특징으로 하는 초음파를 이용한 유체 분사 모듈
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17
제12항에 있어서,상기 진동전달체는 다단(多段) 또는 곡선의 형상으로 이루어지되, 하측으로 갈수록 직경이 작게 형성되며,상기 기체유로는 상기 진동전달체의 하부 외측면에 기체를 분출하는 것을 특징으로 하는 초음파를 이용한 유체 분사 모듈
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18
제17항에 있어서,상기 진동전달체는 복수로 이루어져 상하방향을 따라 배치되며,최하측에 배치된 진동전달체의 하부가 다단 또는 곡선의 형상으로 형성되는 것을 특징으로 하는 초음파를 이용한 유체 분사 모듈
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19
제12항에 있어서,상기 결합하우징의 하측에 결합되는 분사노즐;을 더 포함하며,상기 결합하우징 및 분사노즐이 서로 탈착 가능하게 형성되는 것을 특징으로 하는 초음파를 이용한 유체 분사 모듈
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20
제19항에 있어서,상기 분사노즐은,상기 결합하우징과 결합되되 내부에 중공이 형성된 노즐본체; 및상기 노즐본체의 내면에 형성되되 내측으로 돌출된 돌출부;를 포함하며,상기 노즐본체는, 내면이 상기 돌출부의 형성된 영역 상하로 상부내주면 및 하부내주면으로 구획되고, 상기 상부내주면 및 하부내주면의 상하길이와 상기 돌출부의 형상으로 분사되는 상기 액체 및 기체의 분사각도 및 형상을 제어하고,상기 돌출부는, 일단이 상기 상부내주면의 하단에서 연장되되 타단이 중공의 내측으로 향하도록 기울어진 제1경사부를 포함하며, 상기 제1경사부는 상기 액체 및 기체를 가이드하는 것을 특징으로 하는 초음파를 이용한 유체 분사 모듈
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