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유연한 격벽에 의해 구획되어 형성되는 복수 개의 흡인셀을 가지고, 전단부에 흡착 대상 물체가 접촉되는 유연 흡착패드; 그리고 상기 유연 흡착패드의 후단부에 결합되는 베이스와, 상기 베이스에 돌출 형성되어 상기 흡인셀에 삽입되고 외부에서 제공되는 부압이 상기 흡인셀에 전달되어 접촉된 상기 흡착 대상 물체가 흡착되도록 상기 흡인셀과 연통되는 연결공이 형성되는 소켓을 가지고, 상기 유연 흡착패드를 지지하는 지지부를 포함하는 흡착 유닛
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제1항에 있어서, 상기 흡인셀의 중심 간의 제1간격은 상기 소켓의 중심 간의 제2간격보다 짧게 형성되고, 상기 소켓은 상기 유연 흡착패드의 후단부가 신장된 상태에서 상기 흡인셀에 삽입되어 고정되는 것을 특징으로 하는 흡착 유닛
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제1항에 있어서, 상기 유연 흡착패드는 전단부로 갈수록 단면적이 작아지도록 형상이 변형되어 마련되는 것을 특징으로 하는 흡착 유닛
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제1항에 있어서,상기 유연 흡착패드의 전단부는 오목한 형태로 마련되는 것을 특징으로 하는 흡착 유닛
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제1항에 있어서, 상기 유연 흡착패드의 후단부에는 플랜지가 형성되고, 상기 플랜지의 후면은 상기 베이스에 밀착되며, 상기 플랜지의 전면에 밀착되고, 체결부재에 의해 상기 지지부와 결합되는 결합링을 포함하는 것을 특징으로 하는 흡착 유닛
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제1항에 있어서, 상기 격벽은 두께가 동일한 것을 특징으로 하는 흡착 유닛
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제1항에 있어서, 상기 흡인셀은 중심축 방향에 수직한 단면의 형상 및 크기가 같은 다각형 형상인 것을 특징으로 하는 흡착 유닛
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8
제1항에 있어서, 상기 흡인셀의 내부에 구비되고, 상기 흡인셀의 축방향 강성보다 큰 폭방향 강성을 가지도록 형성되어 상기 흡인셀의 폭방향 수축 변형에 대한 저항력을 제공하는 유연 지지체를 포함하는 것을 특징으로 하는 흡착 유닛
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제8항에 있어서, 상기 유연 지지체는 상기 흡인셀의 내주면에 접촉되는 코일 스프링인 것을 특징으로 하는 흡착 유닛
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유연한 격벽에 의해 구획되어 형성되는 복수 개의 흡인셀을 가지는 유연 흡착패드를 마련하는 유연 흡착패드 마련단계; 베이스와, 상기 베이스에 돌출 형성되고 외부에서 제공되는 부압이 상기 흡인셀에 전달되도록 하는 연결공을 가지는 소켓을 가지는 지지부를 마련하는 지지부 마련단계; 그리고 상기 소켓을 상기 흡인셀에 삽입하여 결합하는 결합단계를 포함하는 흡착 유닛 제조방법
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제10항에 있어서, 상기 결합단계에서는, 상기 유연 흡착패드의 후단부를 신장시킨 상태에서 상기 흡인셀에 상기 소켓을 삽입하여 결합하는 것을 특징으로 하는 흡착 유닛 제조방법
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바디부; 상기 바디부에 연결되고, 상기 바디부의 외측으로 연장되는 연장부;제1항 내지 제9항 중 어느 하나의 항에 기재되고, 상기 연장부의 일단부에 구비되는 흡착 유닛; 일단부가 상기 바디부에 각각 결합되고, 일정간격으로 이격된 타단부가 서로 가까워지도록 이동하는 복수의 암; 그리고 상기 암의 타단부에 구비되고, 상기 암이 서로 가까워지도록 이동하면 상기 흡착 대상 물체를 가압하여 홀딩시키는 홀딩부를 포함하는 흡착장치
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