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패턴전사 공정을 이용한 나노패턴 원통 금형 대면적화 방법

  • 기술번호 : KST2022002321
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 평판형 금형의 패턴 영역을 대면적화 하여 롤투롤 임프린트 리소그래피 공정에 사용하는 나노 패턴을 갖는 롤 금형을 제조할 수 있도록 한 패턴전사 공정을 이용한 나노패턴 원통 금형 대면적화 방법에 관한 것으로, 작은 크기의 평판 Nano stamp를 이용하여 1차 base roll에 패턴 전사 공정을 이용하여 패턴을 형성하는 단계;패턴된 1차 base roll을 이용하여 롤투롤 공정을 수행하여 x축으로 넓어진 형태로 패턴의 대면적화가 이루어진 film을 생산하는 단계;x축으로 넓어진 패턴된 film을 이용하여 2차 base roll에 패턴 전사 공정을 수행하는 단계;패터닝이 완료된 2차 base roll은 x축으로 넓어진 길이 만큼 패턴 넓이를 가지는 금형으로 사용이 가능한 것을 이용하여 롤투롤 공정을 이용하여 y축으로 패턴 영역이 넓어진 패턴된 film을 생산하는 단계;nano stamp의 크기에서 x축과 y축으로 패턴 영역이 넓혀진 패턴된 film을 이용하여 패턴 전사 공정을 수행하는 단계;를 포함하는 것이다.
Int. CL G03F 7/00 (2006.01.01) B29C 33/38 (2018.01.01) B29C 59/02 (2006.01.01) B29C 59/04 (2006.01.01)
CPC G03F 7/0015(2013.01) G03F 7/0002(2013.01) B29C 33/3842(2013.01) B29C 59/022(2013.01) B29C 59/04(2013.01)
출원번호/일자 1020200106176 (2020.08.24)
출원인 부산대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2022-0025981 (2022.03.04) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 국내출원/신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 N
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 부산대학교 산학협력단 대한민국 부산광역시 금정구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 정명영 부산광역시 금정구
2 강호주 부산광역시 해운대구
3 김두인 부산광역시 금정구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 오위환 대한민국 서울특별시 서초구 강남대로**길 **, *층 (반포동, 새로나빌딩)(스카이특허법률사무소)
2 정기택 대한민국 서울특별시 서초구 강남대로**길 **, *층 (반포동, 새로나빌딩)(스카이특허법률사무소)
3 나성곤 대한민국 서울특별시 서초구 강남대로**길 **, *층 (반포동, 새로나빌딩)(스카이특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2020.08.24 수리 (Accepted) 1-1-2020-0886375-14
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번호 청구항
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작은 크기의 평판 Nano stamp를 이용하여 1차 base roll에 패턴 전사 공정을 이용하여 패턴을 형성하는 단계;패턴된 1차 base roll을 이용하여 롤투롤 공정을 수행하여 x축으로 넓어진 형태로 패턴의 대면적화가 이루어진 film을 생산하는 단계;x축으로 넓어진 패턴된 film을 이용하여 2차 base roll에 패턴 전사 공정을 수행하는 단계;패터닝이 완료된 2차 base roll은 x축으로 넓어진 길이 만큼 패턴 넓이를 가지는 금형으로 사용이 가능한 것을 이용하여 롤투롤 공정을 이용하여 y축으로 패턴 영역이 넓어진 패턴된 film을 생산하는 단계;nano stamp의 크기에서 x축과 y축으로 패턴 영역이 넓혀진 패턴된 film을 이용하여 패턴 전사 공정을 수행하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 패턴전사 공정을 이용한 나노패턴 원통 금형 대면적화 방법
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제 1 항에 있어서, 나노 패턴된 stamp의 길이보다 작은 크기의 둘레를 가지는 원통 롤을 사용하여 원통형상으로 패턴을 전사하는 것에 의해 패턴의 영역은 nano stamp 크기 그대로를 가져오면서도 원통 롤에서는 연속된 패턴을 가지는 롤을 만드는 것을 특징으로 하는 패턴전사 공정을 이용한 나노패턴 원통 금형 대면적화 방법
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제 1 항에 있어서, Stamp는 이형제를 사전에 도포하여 표면에너지를 낮추어 공정을 진행하고, 패턴 전사 공정은 UV를 이용하여 경화하며, 0
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제 3 항에 있어서, 패턴을 전사할 때에 연속적인 패턴 영역을 가지기 위해서 이음매 부분에 발생하는 2중 성형 문제를,우레탄과 같은 탄성을 가지는 물질을 이용한 buffer layer를 사용하고 ~3bar의 공정 압력과 공정 시간의 조절을 통해 이음매 부분의 seam 발생을 최소화하는 것을 특징으로 하는 패턴전사 공정을 이용한 나노패턴 원통 금형 대면적화 방법
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제 4 항에 있어서, 패턴 전사 공정 수행을 위해 Base roll의 둘레는 stmap의 길이와 동일하거나 작아야 하는 것을 특징으로 하는 패턴전사 공정을 이용한 나노패턴 원통 금형 대면적화 방법
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제 4 항에 있어서, 우레탄과 같은 탄성 물질을 평판형으로 바닥면에 위치시켜 base roll과 공정 과정에서 발생하는 공차로 인한 문제를 최소화하는 것을 특징으로 하는 패턴전사 공정을 이용한 나노패턴 원통 금형 대면적화 방법
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1 산업통상자원부 부산대학교 산학협력단 나노금형기반맞춤형융합제품상용화지원센터구축사업 나노금형기반 맞춤형 융합제품 상용화지원센터 구축