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내부에 유체 (fluid)가 충전되고, 상기 유체 안에 압전 소자가 배치되는 챔버;상기 유체의 온도를 제어하는 온도 제어부;상기 챔버의 내부 압력을 제어하는 압력 제어부; 상기 내부 압력에 대응하여 상기 압전 소자가 출력하는 출력 신호를 측정하는 신호 측정부; 및상기 출력 신호를 분석하여 상기 압전 소자의 성능 지수를 측정하는 분석/제어 장치를 포함하는 압전 소자 성능 지수 측정 장치
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제1항에 있어서,상기 온도 제어부는,상기 유체를 가열하여 상기 유체의 온도를 높이는 히터, 및 상기 유체를 냉각시켜 상기 유체의 온도를 낮추는 쿨러를 포함하며, 상기 챔버에 연결된 유체 탱크; 및상기 유체 탱크에서 상기 히터, 또는 상기 쿨러에 의하여 온도가 변화된 유체를 상기 챔버로 이동시키는 펌프를 포함하는 압전 소자 성능 지수 측정 장치
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제1항에 있어서,상기 분석/제어 장치는,압전 소자의 온도별 성능 지수를 측정하기 위하여 설정한 온도에 따라 상기 유체의 온도를 제어하도록 요청하는 온도 제어 신호를 온도 제어부로 전송하고, 온도 센서를 이용하여 상기 유체의 온도가 상기 설정한 온도로 변화하였는지 여부를 온도 센서로 측정하는 압전 소자 성능 지수 측정 장치
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제1항에 있어서,상기 압력 제어부는,실린더를 이동시켜 상기 챔버에 동적 압력 또는 정적 압력을 가하는 가압 실린더; 및상기 가압 실린더의 변위 정보, 및 압력 센서가 측정한 상기 챔버의 내부 압력에 따라 상기 가압 실린더의 동작을 제어하는 압력 제어기를 포함하는 압전 소자 성능 지수 측정 장치
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제1항에 있어서,상기 분석/제어 장치는,압전 소자의 정적 압력의 크기별 성능 지수 또는 동적 압력의 크기 및 주파수별 성능 지수를 측정하기 위하여 설정한 압력에 따라 상기 내부 압력을 제어하도록 요청하는 압력 제어 신호를 상기 압력 제어부로 전송하고, 압력 센서를 이용하여 상기 챔버의 내부 압력이 상기 설정한 압력으로 변화하였는지 여부를 측정하는 압전 소자 성능 지수 측정 장치
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제1항에 있어서,상기 신호 측정부는,상기 출력 신호 중에서 전류 신호를 측정하는 전류 프로브;상기 출력 신호 중에서 전압 신호를 측정하는 전압 프로브; 및상기 전류 신호에 대응하는 전류 파형 정보, 및 상기 전압 신호에 대응하는 전압 파형 정보를 획득하는 계측기를 포함하는 압전 소자 성능 지수 측정 장치
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압전 소자가 배치되는 챔버의 내부에 충전된 유체의 온도를 설정하는 단계;설정한 온도에 따라 상기 유체의 온도를 제어하는 단계;상기 챔버의 내부 압력을 설정하는 단계;설정한 압력에 따라 상기 챔버의 내부 압력을 제어하는 단계;상기 내부 압력에 대응하여 상기 압전 소자가 출력하는 출력 신호를 측정하는 단계; 및상기 출력 신호를 분석하여 상기 압전 소자의 성능 지수를 측정하는 단계를 포함하는 압전 소자 성능 지수 측정 방법
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제7항에 있어서,상기 유체의 온도를 제어하는 단계는,유체 탱크 안의 유체를 상기 챔버로 순환시키면서, 압전 소자의 온도별 성능 지수를 측정하기 위하여 설정한 온도와 상기 유체의 온도 간의 차이에 따라 순환 중인 유체를 가열, 또는 냉각시켜 상기 챔버의 내부에 충전된 유체의 온도를 제어하는 압전 소자 성능 지수 측정 방법
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