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기판;상기 기판 상에 전도성 물질로 형성된 나선 발열부를 포함하고,상기 나선 발열부는,일 방향으로 연장된 제1 수평선부;상기 제1 수평선부의 일 단으로부터 절곡되어 연장된 제1 수직선부;상기 제1 수직선부의 일 단으로부터 절곡되어 연장된 제2 수평선부; 및상기 제2 수평선부의 일 단으로부터 절곡되어 연장된 제2 수직선부를 포함하는 것을 특징으로 하는,나선형 전파투과 히터
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청구항 1에 있어서,상기 제1 수직선부는 상기 제1 수평선부의 일 방향과 직교하는 방향으로 연장되고, 상기 제2 수평선부는 상기 제1 수직선부의 길이 방향과 직교하는 방향으로 연장되며, 상기 제2 수직선부는 상기 제2 수평선부의 길이 방향과 직교하는 방향으로 연장된 것을 특징으로 하는,나선형 전파투과 히터
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청구항 2에 있어서,상기 제2 수평선부는 상기 제1 수평선부와 평행하고, 상기 제2 수직선부는 상기 제1 수직선부와 평행한 것을 특징으로 하는,나선형 전파투과 히터
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4
청구항 3에 있어서,상기 제2 수평선부는 상기 제1 수평선부보다 길며, 상기 제2 수직선부는 상기 제1 수직선부보다 긴 것을 특징으로 하는,나선형 전파투과 히터
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청구항 4에 있어서,상기 나선 발열부는 상기 기판 상에 증착되어 형성된 것을 특징으로 하는,나선형 전파투과 히터
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기판;상기 기판 상에 전도성 물질로 형성된 원형 나선부를 포함하고,상기 원형 나선부는 상기 기판의 중앙부를 기점으로 나선 형태로 연장된 형태를 가지는 것을 특징으로 하는,나선형 전파투과 히터
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청구항 6에 있어서,상기 원형 나선부는 곡선을 형성하는 것을 특징으로 하는,나선형 전파투과 히터
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청구항 7에 있어서,상기 원형 나선부는 상기 기판 상에 증착되어 형성된 것을 특징으로 하는,나선형 전파투과 히터
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