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표준 질량 유닛, 및상기 표준 질량 유닛과 제1 방향으로 대향하여 위치한 인덕턴스 측정 유닛을 포함하고,상기 표준 질량 유닛은,상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 상호 이격된 한 쌍의 초전도 박막들을 포함하는 표준 질량부,상기 표준 질량부의 에지와 이격되면서 상기 표준 질량부를 둘러싸는 지지부, 및상기 제1 방향 및 상기 제2 방향과 교차하되 상기 제2 방향과 동일한 평면 상에 위치하는 제3 방향으로 상호 이격되어 상기 표준 질량부와 상기 지지부를 각각 연결하는 회전부들를 포함하고, 상기 인덕턴스 측정 유닛은 상기 한 쌍의 초전도 박막들과 각각 상기 제1 방향으로 이격되어 대응 위치하여 상기 한 쌍의 초전도 박막들 중 각 초전도 박막과의 위치 변화에 따른 인덕턴스 변화를 그 외부로 출력하도록 적용된 한 쌍의 초전도 코일들을 포함하는 중력 구배계
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제1항에서,상기 인덕턴스 측정 유닛은,상기 한 쌍의 초전도 코일부들이 그 위에 형성된 지지 기판, 및상기 한 쌍의 초전도 코일들의 각 양단과 연결되어 상기 지지 기판 위에 형성된 전극 패드를 더 포함하는 중력 구배계
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제2항에서,상기 표준 질량 유닛과 상기 인덕턴스 측정 유닛의 공유 영역 양측에 상기 표준 질량 유닛과 상기 인덕턴스 측정 유닛의 비공유 영역이 존재하고, 상기 비공유 영역에 상기 전극 패드가 위치하는 중력 구배계
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제2항에서,상기 한 쌍의 초전도 코일들 중 하나 이상의 초전도 코일은,상기 제2 방향으로 뻗고 상호 이격된 제1 코일부들,상기 제1 코일부들과 각각 연결되고, 상기 제3 방향으로 뻗어 상호 이격된 제2 코일부들,상기 제1 코일부들 또는 상기 제2 코일부들과 연결되고, 상기 제2 방향을 따라 뻗으며 상호 이격된 제3 코일부들, 및상기 제3 코일부들과 각각 연결되고, 상기 제3 방향을 따라 뻗으며 상기 전극 패드들에 각각 연결된 제4 코일부들을 포함하고,상기 제2 코일부들 중 상기 제1 코일부들 중 가장 작은 길이의 제1 코일부와 연결된 제2 코일부는 상기 제1 코일부들 중 나머지 제1 코일부들 중 일부 제1 코일부들과 이격되어 상기 일부 제1 코일들 위에 위치하는 중력 구배계
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제4항에서,상기 제1 코일부들 중 가장 작은 길이의 제1 코일부와 연결된 제2 코일부와 상기 지지 기판의 이격 거리는 상기 제3 코일부들과 상기 지지 기판의 이격 거리보다 큰 중력 구배계
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제2항에서,상기 지지부는 상기 지지 기판과와 접하는 중력 구배계
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제1항에서,상기 표준 질량부의 두께는 상기 인덕턴스 측정 유닛의 두께보다 작고, 상기 지지부의 두께는 상기 표준 질량부의 두께보다 큰 중력 구배계
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제1항에서,상기 회전부들은 상기 제3 방향으로 뻗어 선형으로 형성되고, 상기 회전부들의 사이에 상기 표준 질량부가 위치하는 중력 구배계
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제1항에서,상기 인덕턴스 측정 유닛은 상기 한 쌍의 초전도 코일들 중 하나 이상의 초전도 코일을 덮는 절연층을 더 포함하는 중력 구배계
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제1항에서, 상기 한 쌍의 초전도 박막들은 니오븀 또는 티타늄을 포함하는 중력 구배계
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한 쌍의 초전도 박막들을 포함하는 표준 질량 유닛을 제공하는 단계, 및상기 표준 질량 유닛과 대향하여 위치하고, 한 쌍의 초전도 코일들을 포함하는 인덕턴스 측정 유닛을 제공하는 단계를 포함하는 중력 구배계의 제조 방법으로서,상기 인덕턴스 측정 유닛을 제공하는 단계에서, 상기 한 쌍의 초전도 코일들은 상기 한 쌍의 초전도 박막들과 이격되어 대응 위치하여 상기 한 쌍의 초전도 박막들 중 각 초전도 박막과의 위치 변화에 따른 인덕턴스 변화를 그 외부로 출력하도록 적용되고,상기 표준 질량 유닛을 제공하는 단계는,기판을 제공하는 단계,상기 기판의 가장자리를 따라 상기 기판 위에 제1 마스크층을 제공하는 단계,상기 가장자리로 둘러싸인 상기 기판 위의 제1 내측 영역을 식각하는 단계,상기 기판의 아래의i) 상기 가장자리 대응 영역 및 ii) 상기 가장자리 대응 영역과 이격 영역을 형성하면서 상기 가장자리 대응 영역으로 둘러싸인 제2 내측 영역에 제2 마스크층을 제공하는 단계,상기 이격 영역을 식각하여 상기 이격 영역에 대응하는 상기 기판을 관통시키면서 상기 가장자리를 지지부로 변환하는 단계,상기 제1 내측 영역 일부에 희생층을 패터닝하는 단계,상기 희생층을 덮거나 상기 기판과 직접 접하는 상기 한 쌍의 초전도 박막들을 제공하는 단계, 및상기 희생층을 제거하는 단계를 포함하는 중력 구배계의 제조 방법
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제11항에서,상기 제2 마스크층을 제공하는 단계에서, 상기 제2 마스크층은 상기 이격 영역 위에 상기 가장자리 대응 영역과 상기 제2 내측 영역을 연결하는 선형부를 포함하는 중력 구배계의 제조 방법
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제13항에서,상기 선형부는 한 쌍으로 형성되고 상기 제2 내측 영역을 그 사이에 두고 각각 형성되는 중력 구배계의 제조 방법
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제11항에서,상기 한 쌍의 초전도 박막들을 제공하는 단계에서 상기 한 쌍의 초전도 박막들은 니오븀 또는 티타늄을 포함하는 중력 구배계의 제조 방법
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제11항에서,상기 인덕턴스 측정 유닛을 제공하는 단계는,또다른 기판을 제공하는 단계,상기 또다른 기판 위에 제1 초전도 박막층을 제공하는 단계,상기 제1 초전도 박막층 위에 제3 마스크층을 제공하여 상기 제1 초전도 박막층 일부를 식각하여 상기 제1 초전도 박막층을 나선형의 초전도 코일로 제공하는 단계,상기 초전도 코일과 상기 또다른 기판을 덮는 절연층을 제공하는 단계,상기 절연층 위에 제4 마스크층을 제공해 상기 절연층을 부분 식각하여 상기 초전도 코일의 외측 단부 및 내측 단부를 외부 노출시키는 단계,상기 절연층 위에 제2 초전도 박막층을 제공하여 상기 외측 단부 및 내측 단부를 상호 연결하는 인출부를 형성하는 단계, 및상기 인출부 위에 제5 마스크층을 제공해 상기 인출부를 제외한 상기 제2 초전도 박막층을 제거하는 단계를 포함하는 중력 구배계의 제조 방법
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제16항에서,상기 제1 초전도 박막층을 제공하는 단계와 상기 인출부를 형성하는 단계에서, 상기 제1 초전도 박막층 및 상기 제2 초전도 박막층 중 하나 이상의 초전도 박막층은 니오븀 또는 티타늄을 포함하는 중력 구배계의 제조 방법
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제16항에서,상기 인덕턴스 측정 유닛을 제공하는 단계는, 상기 지지부를 상기 또다른 기판 위에 접합하는 단계를 더 포함하는 중력 구배계의 제조 방법
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제18항에서,상기 지지부가 실리콘을 포함하고, 상기 또다른 기판이 유리를 포함하는 경우, 상기 지지부와 상기 또다른 기판을 양극 접합하는 중력 구배계의 제조 방법
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제11항에서,상기 인덕턴스 측정 유닛을 제공하는 단계는,또다른 기판을 제공하는 단계,상기 또다른 기판 위에 제1 초전도 박막층을 제공하는 단계,상기 제1 초전도 박막층 위에 제3 마스크층을 제공하여 상기 제1 초전도 박막층 일부를 식각하여 상기 제1 초전도 박막층을 나선형의 초전도 코일로 제공하는 단계, 상기 초전도 코일과 상기 또다른 기판을 덮는 절연층을 제공하는 단계,상기 절연층 위에 제4 마스크층을 제공해 상기 절연층을 부분 식각하여 상기 초전도 코일의 외측 단부 및 내측 단부를 외부 노출시키는 단계,상기 절연층 위에 제2 초전도 박막층을 제공하여 상기 외측 단부 및 내측 단부를 상호 연결하는 인출부를 형성하는 단계,상기 인출부 위에 제5 마스크층을 제공해 상기 인출부를 제외한 상기 제2 초전도 박막층을 제거하는 단계를 포함하는 중력 구배계의 제조 방법
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