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프로브 카드, 웨이퍼, 개별척을 카트리지로 결합하거나 상기 카트리지를 분해하는 작업공간을 구비하는 본체 챔버;상기 카트리지가 배치되는 배치부를 관통형성한 본체 챔버의 상판에 구비되며, 상기 카트리지가 이동되어 수용되는 내부공간을 구비하는 상부 챔버; 상기 배치부에 위치하는 카트리지의 일부를 클램핑하여 구속하거나 언클램핑하여 해제하는 록킹 모듈; 을 포함하여, 상기 록킹 모듈에서 언클램핑된 카트리지가 로봇 핸들러에 의해서 검사유닛 측으로 공급되거나 상기 검사유닛에서 검사완료된 카트리지가 로봇 핸들러에 의해서 상기 상부 챔버에 공급되어 상기 록킹 모듈에서 클램핑 고정되는, 멀티 프로버용 카트리지 얼라이너 장치
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제1항에 있어서,상기 배치부와 대응하는 제1위치와, 상기 제1위치로부터 소정 거리 이격되어 상기 카트리지가 외부로 배출될 수 있는 제2위치에 상기 카트리지가 선택적으로 위치되도록 상기 카트리지를 이송시키는 제1이송 모듈; 및 상기 제2위치와, 상기 카트리지를 검사 유닛의 채널 공간으로 진출입시키는 로봇 핸들러가 상기 카트리지를 픽업하기 위한 제3위치에 상기 카트리지가 선택적으로 위치되도록 상기 카트리지를 이동시키는 제2이송 모듈;을 포함하는, 멀티 프로버용 카트리지 얼라이너 장치
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제1항에 있어서,상기 록킹 모듈은, 고정 클램퍼 및 상기 고정 클램퍼에 대하여 상대이동되는 가동클램퍼를 포함하고, 상기 고정 클램퍼와 가동클램퍼와의 사이에 상기 카트리지를 구성하는 프로브 카드의 베이스판의 외측테두리가 위치되어 클램핑되거나 언클램핑되는, 멀티 프로버용 카트리지 얼라이너 장치
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제2항에 있어서, 상기 제1이송 모듈은, 상기 상부 챔버에 수직하게 구비되는 일정길이의 제1스크류축을 정방향 또는 역방향으로 회전구동시키는 제1구동모터와, 상기 제1스크류축과 나사결합되는 암나사부를 갖추어 상기 제1스크류축의 회전방향에 따라 상하이동되는 제1이송 블럭 및 상기 카트리지의 일부가 대응삽입되는 가이드홈을 갖추어 상기 제1이송 블럭에 구비되는 랙가이드를 포함하는, 멀티 프로버용 카트리지 얼라이너 장치
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제2항에 있어서, 상기 상판에는 상기 제1위치에서 카트리지의 평탄도를 확인할 수 있도록 카트리지의 일부와 평탄한 표면이 접해지는 적어도 하나의 레벨러가 구비되는, 멀티 프로버용 카트리지 얼라이너 장치
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제2항에 있어서, 상기 제2이송 모듈은, 상기 상부 챔버에 수평하게 구비되는 일정길이의 제2스크류축을 정방향 또는 역방향으로 회전구동시키는 제2구동모터와, 상기 제2스크류축과 나사결합되는 암나사부를 갖추어 상기 제2스크류축의 회전방향에 따라 수평이동되는 제2이송 블럭 및 상기 카트리지의 일부와 하부단이 접하여 구속되도록 상기 제2이송 블럭에 구비되는 접촉가이드를 포함하는, 멀티 프로버용 카트리지 얼라이너 장치
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제6항에 있어서, 상기 접촉가이드의 접촉단은 상승이동되는 상기 카트리지의 베이스판과 정지상태에서 접하도록 상기 제2이송 모듈의 제2이송 블럭에 고정설치되거나, 상승이동된후 정지되는 상기 카트리지의 베이스판과 접하도록 구동원에 의해서 상하이동되는, 멀티 프로버용 카트리지 얼라이너 장치
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제6항에 있어서, 상기 접촉가이드의 접촉단은 상기 카트리지의 베이스판 상부면에 요홈으로 함몰형성되거나 철부로 돌출형성되는 걸림부와 접하여 걸림력을 발생시키는 피걸림부로 이루어지거나, 상기 카트리지의 베이스판 상부면에 소정의 거칠기를 갖도록 구비되는 마찰면과 접하여 마찰력을 발생시키는 피마찰면으로 이루어지는, 멀티 프로버용 카트리지 얼라이너 장치
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제2항에 있어서, 상기 카트리지의 양측 테두리의 각 선,후단과 대응하는 상기 상부 챔버의 모서리부마다 상기 제1이송 모듈이 배치되고, 상기 제1이송 모듈은 상부 챔버에 4개 1조로 복수개 배치되는, 멀티 프로버용 카트리지 얼라이너 장치
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제9항에 있어서, 복수개의 제1이송 모듈은 상기 제1위치에서 제2위치로 카트리지를 수직방향으로 상승이동시킬 때 동기식으로 제어되는, 멀티 프로버용 카트리지 얼라이너 장치
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제9항에 있어서, 복수개의 제1이송 모듈은 상기 제2위치에서 제1위치로 카트리지를 하강이동시키면서 카트리지의 일부를 상판에 구비되는 레벨러와 접촉시킬 때 비동기식으로 제어되는, 멀티 프로버용 카트리지 얼라이너 장치
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