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노광시스템용 광학소자

  • 기술번호 : KST2022002771
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 노광시스템용 광학소자에 대한 것으로서, 더욱 상세하게는 광 간섭과 반사를 활용항 노광되는 위치를 원거리로 맞출 수 있는 노광시스템용 광학소자에 대한 것이다. 본 발명에 따른 노광시스템용 광학소자는 상면에 광선이 입사되는 입사면과, 하면에 상기 입사면에서 입사된 광선이 출사되는 출사면과, 상기 상면과 상기 하면 사이의 측면으로 형성된 프리즘으로 된다. 이때 상기 출사면에는 상기 입사면에서 입사된 광선이 분할되어 상기 입사면으로 반사될 수 있도록 전반사 코팅된 분할홈이 형성된다. 그리고 상기 입사면에는 상기 분할홈에서 반사된 광선이 상기 측면으로 전반사되도록 전반사 코팅된 반사부가 형성된다. 그리고 상기 측면은 상기 반사부에서 전반사된 광선이 상기 출사면으로 출사되어 중첩하여 노광될 수 있게 전반사코팅된다. 본 발명에 의하면, 광학소자의 입사면에 형성된 반사부의 형태에 따라 입사면으로 입사되는 광선의 형상을 결정지을 수 있다. 그래서 원하는 형태의 광선을 입사시켜 이용할 수 있다.
Int. CL G02B 5/04 (2006.01.01) G03F 7/20 (2006.01.01)
CPC G02B 5/04(2013.01) G03F 7/70225(2013.01)
출원번호/일자 1020200107912 (2020.08.26)
출원인 부산대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2022-0026860 (2022.03.07) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 국내출원/신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2020.08.26)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 부산대학교 산학협력단 대한민국 부산광역시 금정구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이정운 경상남도 양산시 대운*길 *, *
2 마용원 울산광역시 중구
3 신보성 부산광역시 해운대구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인다인 대한민국 경기도 화성시 동탄기흥로*** 더퍼스트타워쓰리제**층 제****호, 제****-*호

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2020.08.26 수리 (Accepted) 1-1-2020-0899519-07
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2021.10.18 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2021.11.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2022-0001760-16
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2022.01.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2022-0044084-33
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2022.03.08 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2022-0251283-76
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번호 청구항
1 1
상면에 광선이 입사되는 입사면과, 하면에 상기 입사면에서 입사된 광선이 출사되는 출사면과, 상기 상면과 상기 하면 사이의 측면으로 형성된 프리즘으로 된 광학소자에 있어서,상기 출사면에는 상기 입사면에서 입사된 광선이 분할되어 상기 입사면으로 반사될 수 있도록 전반사 코팅된 분할홈이 형성되고,상기 입사면에는 상기 분할홈에서 반사된 광선이 상기 측면으로 전반사되도록 전반사 코팅된 반사부가 형성되고,상기 측면은 상기 반사부에서 전반사된 광선이 상기 출사면으로 출사되어 중첩하여 노광될 수 있게 전반사코팅된 것을 특징으로 하는 노광시스템용 광학소자
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제1항에 있어서, 상기 입사면은 상기 입사되는 광선이 특정한 단면의 모양으로 입사될 수 있게 통과시키도록 상기 반사부가 형성된 것을 특징으로 하는 노광시스템용 광학소자
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제2항에 있어서,상기 출사면은 상기 분할홈이 상기 입사면에서 입사되는 광선을 적어도 2개 이상의 광선으로 분할시킬 수 있게 형성된 것을 특징으로 하는 노광시스템용 광학소자
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제3항에 있어서,상기 광학소자 내부의 광선과 간섭되지 않도록 상기 입사면에서 상기 출사면으로 관통된 관통공이 형성된 것을 특징으로 하는 노광시스템용 광학소자
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업통상자원부 (재)경남테크노파크 창의산업기술개발기반구축(R＆D) 나노금형기반 맞춤형 융합제품 상용화지원센터 구축