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반도체 소자의 초기 불량 검출 방법 및 장치

  • 기술번호 : KST2022002803
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 반도체 소자의 초기 불량 검출 방법 및 장치가 개시된다. 일 실시예에 따른 반도체 초기 불량 검출 방법은, 스트레스가 인가된 테스트용 반도체에 대해 측정된 수명에 기초하여 와이블 분포식을 생성하는 단계와, 상기 와이블 분포식에 기초하여 초기 불량을 검출하기 위한 가속 실험 조건을 획득하는 단계와, 상기 가속 실험 조건에 따른 스트레스를 반도체 소자에 인가하는 단계를 포함한다.
Int. CL G01R 31/26 (2014.01.01) G01R 31/317 (2006.01.01) G01R 31/28 (2006.01.01)
CPC
출원번호/일자 1020210087173 (2021.07.02)
출원인 건국대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2022-0029352 (2022.03.08) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보 대한민국  |   1020200111114   |   2020.09.01
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 국내출원/신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2021.07.02)
심사청구항수 14

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 건국대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 광진구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 전종욱 서울특별시 노원구
2 박기론 서울특별시 광진구
3 선윤근 경기도 안산시 단원구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 무한 대한민국 서울특별시 강남구 언주로 ***, *층(역삼동,화물재단빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2021.07.02 수리 (Accepted) 1-1-2021-0767260-05
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번호 청구항
1 1
스트레스가 인가된 테스트용 반도체에 대해 측정된 수명에 기초하여 와이블 분포식을 생성하는 단계;상기 와이블 분포식에 기초하여 초기 불량을 검출하기 위한 가속 실험 조건을 획득하는 단계; 및상기 가속 실험 조건에 따른 스트레스를 반도체 소자에 인가하는 단계를 포함하는, 반도체 초기 불량 테스트 방법
2 2
제1항에 있어서,상기 생성하는 단계는,스트레스가 인가된 복수의 테스트용 반도체에 대해 측정된 수명 데이터를 수신하는 단계;온도 및 전압 조건이 변경된 스트레스가 인가된 테스트용 반도체에 대해 측정된 수명 데이터를 수신하는 단계;수신한 수명 데이터들 및 상기 수명 데이터들에 대응하는 스트레스 조건에 기초하여 상기 와이블 분포식을 생성하는 단계를 포함하는, 반도체 초기 불량 검출 방법
3 3
제1항에 있어서,상기 획득하는 단계는,상기 와이블 분포식에 사용자에 의해 초기 불량으로 정의된 반도체 소자의 수명을 입력하는 단계를 포함하는, 반도체 초기 불량 검출 방법
4 4
제1항에 있어서,상기 획득하는 단계는,상기 와이블 분포식에 사용자가 입력한 상기 반도체 소자의 동작 시나리오를 수명을 적용하는 단계를 포함하는, 반도체 초기 불량 검출 방법
5 5
제1항에 있어서,상기 스트레스는상기 반도체 소자에 인가되는 온도 및 전압 조건인, 반도체 초기 불량 검출 방법
6 6
제1항에 있어서,상기 스트레스가 인가된 반도체 소자가 정상 동작하는 경우 상기 반도체 소자의 출하를 결정하는 단계를 더 포함하는, 반도체 초기 불량 검출 방법
7 7
하드웨어와 결합되어 제1항 내지 제6항 중 어느 하나의 항의 방법을 실행시키기 위하여 컴퓨터 판독 가능한 기록 매체에 저장된 컴퓨터 프로그램
8 8
인스트럭션들을 포함하는 메모리; 및상기 인스트럭션들을 실행하기 위한 프로세서를 포함하고,상기 프로세서에 의해 상기 인스트럭션들이 실행될 때, 상기 프로세서는,스트레스가 인가된 테스트용 반도체에 대해 측정된 수명에 기초하여 와이블 분포식을 생성하고,상기 와이블 분포식에 기초하여 사용자에 의해 정의된 초기 불량 검출하기 위한 가속 실험 조건을 획득하고,상기 가속 실험 조건에 따른 스트레스를 반도체 소자에 인가하는, 반도체 초기 불량 검출 장치
9 9
제8항에 있어서,상기 프로세서는,스트레스가 인가된 복수의 테스트용 반도체에 대해 측정된 수명 데이터를 수신하고,온도 및 전압 조건이 변경된 스트레스가 인가된 테스트용 반도체에 대해 측정된 수명 데이터를 수신하고,수신한 수명 데이터들 및 상기 수명 데이터들에 대응하는 스트레스 조건에 기초하여 상기 와이블 분포식을 생성하는, 반도체 초기 불량 검출 장치
10 10
제8항에 있어서,상기 프로세서는,상기 와이블 분포식에 사용자에 의해 초기 불량으로 정의된 반도체 소자의 수명을 입력하는, 반도체 초기 불량 검출 장치
11 11
제8항에 있어서,상기 프로세서는,상기 와이블 분포식에 사용자가 입력한 상기 반도체 소자의 동작 시나리오를 수명을 적용하는, 반도체 초기 불량 검출 장치
12 12
제8항에 있어서,상기 스트레스는,상기 반도체 소자에 인가되는 온도 및 전압 조건인, 반도체 초기 불량 검출 장치
13 13
제8항에 있어서,상기 프로세서는,상기 스트레스가 인가된 반도체 소자가 정상 동작하는 경우 상기 반도체 소자의 출하를 결정하는, 반도체 초기 불량 검출 장치
14 14
제8항에 있어서,반도체 소자에 스트레스를 인가하여 수명을 측정하는 검사기를 더 포함하는, 반도체 초기 불량 검출 장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업통상자원부 건국대학교 전자정보디바이스산업원천기술개발사업 Sub-10nm급 차세대 반도체용 Advanced Reliability 해석 플랫폼 개발