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내부에 가스가 마련되며 내부에 위치하는 상기 가스의 공급량을 조절하는 밸브가 마련되는 다수개의 공급부;상기 공급부와 연결되며, 하방에 샘플이 설치되도록 샘플홀더가 마련되는 메인챔버부;상기 샘플홀더 하방 외주면에 마련되는 히터;상기 샘플홀더 하방에 상기 히터방향에 위치하며, 탈부착 가능하게 마련되어 상기 히터의 온도를 측정하는 제 1센서부;상기 샘플홀더 하방에 탈부착 가능하게 마련되어 고온 측정 시 상기 샘플의 온도를 측정하는 제 2센서부;상기 샘플홀더 하방에 탈부착 가능하게 마련되어 저온 측정 시 상기 샘플의 온도를 측정하는 제 3센서부;상기 메인챔버부를 감싸도록 마련되어 상기 메인챔버부를 밀폐하고 상하로 길이 조절이 가능한 벨로우즈;상기 벨로우즈 하단에 마련되며, 상기 벨로우즈와 탈부착 가능하게 마련되는 냉각부;상기 냉각부 하단에 마련되며 상기 냉각부를 상하로 이동시키는 잭서포트;상기 메인챔버부 및 상기 냉각부와 연결되며, 상기 메인챔버부 내부를 저진공 상태로 만들고, 상기 벨로우즈와 상기 냉각부 내부를 저진공 상태로 만들며, 밸브로 동작을 조절하는 로터리펌프;상기 메인챔버부와 연결되어 상기 메인챔버부 내부를 고진공 상태로 만들며, 밸브로 동작을 조절하는 제 1펌프부;상기 메인챔버부와 연결되어 상기 샘플에서 탈착된 가스의 성분을 분석하며 밸브로 탈착된 가스의 이동을 조절하는 분석부;상기 분석부와 연결되어 상기 분석부 내부를 고진공 상태로 만들며, 밸브로 동작을 조절하는 제 2펌프부;로 구성되는 것을 특징으로 하는 벨로우즈를 이용한 극저온 열탈착 분석 장치
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제 1항에 있어서,상기 샘플홀더는,상기 공급부와 연결되며, 중공형의 원기둥형상으로 상부에는 플랜지가 형성되어 상기 메인챔버부 하방에 연결되는 몸체부;상기 몸체부 하방에 마련되며, 구리 소재로 상부는 원기둥 형상이고 하부는 상부보다 더 큰 지름의 원기둥형상으로 마련되며 내부에 제 1공간이 형성되는 샘플캔;상기 샘플캔 상부 외주면에 상기 샘플캔과 일체로 마련되는 고정부;구리 소재로 상기 제 1공간에 마련되며, 원기둥 형상으로 내부에 제 2공간이 형성되는 하부플러그;상기 제 1공간에 마련되고 상기 하부플러그 상방에 위치하며, 중공형의 원기둥 형상으로 상기 샘플캔과 연결되어 상기 하부플러그를 고정하는 상부플러그;상기 챔버부와 상기 고정부를 연결하는 연결부;로 구성되는 것을 특징으로 하는 벨로우즈를 이용한 극저온 열탈착 분석 장치
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제 1항에 있어서,상기 냉각부는,상기 벨로우즈 하단에 탈부착 가능하게 마련되며, 내부에 일정간격 이격되어 내벽이 형성되는 진공챔버부;상기 진공챔버부 내부에 마련되어 압축된 헬륨이 공급되어 저온을 발생시키는 냉동기;상기 냉동기에 마련되어 상기 냉동기의 온도를 측정하는 제 4센서부;로 구성되는 것을 특징으로 하는 벨로우즈를 이용한 극저온 열탈착 분석 장치
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제 1항을 이용한 벨로우즈를 이용한 열탈착 분석 장치에 있어서,샘플을 샘플홀더에 설치하며, 제 1센서부와 제 2센서부를 샘플홀더에 연결하고 제 3센서부를 진공챔버부의 내벽에 연결하는 제 1단계(L1);벨로우즈와 냉각부를 고정하고 잭서포트로 상기 냉각부를 상기 샘플홀더로부터 하향시키는 제 2단계(L2);상기 냉각부와 연결된 로터리펌프의 밸브를 열어 상기 벨로우즈와 상기 냉각부 내부를 저진공 상태로 만드는 제 3단계(L3);메인챔버부와 연결된 상기 로터리펌프의 밸브를 열어 상기 메인챔버부 내부를 저진공 상태로 만든 후 밸브를 닫고, 상기 제 1펌프부의 밸브를 열어 상기 메인챔버부 내부를 고진공 상태로 만드는 제 4단계(L4);설정된 온도까지 상기 히터의 온도를 상승시켜 상기 샘플을 전처리하여 표면에 흡착된 불순물을 제거하는 제 5단계(L5);상기 샘플홀더가 상온이 될 때까지 온도를 하강시키는 제 6단계(L6);상기 냉각부와 연결된 상기 로터리펌프의 밸브를 닫고, 배기밸브를 열어 상기 벨로우즈와 상기 냉각부 내부의 압력이 대기압으로 되면 배기밸브를 닫는 제 7단계(L7);상기 벨로우즈와 상기 냉각부를 분리하고, 상기 샘플홀더에 제 3센서부를 연결하는 제 8단계(L8);상기 벨로우즈와 상기 냉각부를 고정하고, 상기 잭서포트로 상기 냉각부를 상기 샘플홀더 방향으로 상향시켜, 상기 샘플홀더와 상기 냉동기 상부가 접촉하는 제 9단계(L9);상기 냉각부와 연결된 상기 로터리펌프의 밸브를 열어 상기 벨로우즈와 상기 냉각부 내부를 저진공 상태로 만드는 제 10단계(L10);상기 제 1펌프부의 밸브를 닫고 공급부의 밸브를 열어 상기 샘플홀더 내부로 가스를 유입시킨 후 밸브를 닫는 제 11단계(L11);설정된 온도까지 상기 냉동기의 온도를 하강시키는 제 12단계(L12);상기 냉동기의 온도가 100K까지 도달하면 상기 냉각부와 연결된 상기 로터리펌프의 밸브를 잠그는 제 13단계(L13);상기 샘플의 온도가 설정된 온도에 도달하면 상기 가스가 샘플에 흡착되는 제 14단계(L14);상기 메인챔버부와 연결된 상기 로터리펌프의 밸브를 열어 상기 메인챔버부 내부에서 상기 샘플에 흡착되지 않은 잔여 가스를 배출시키는 제 15단계(L15);상기 메인챔버부 내부의 압력이 0bar가 되면 상기 메인챔버부와 연결된 상기 로터리펌프의 밸브를 잠그고, 상기 제 1펌프부의 밸브를 열어 상기 메인챔버부 내부를 고진공 상태로 만드는 제 16단계(L16);상기 분석부의 밸브를 열고 상기 제 1펌프부의 밸브를 잠그며, 설정된 온도까지 상기 히터의 온도를 상승시키는 제 17단계(L17);상기 샘플에서 탈착된 가스를 상기 분석부에서 분석하는 제 18단계(L18);로 구성되는 것을 특징으로 하는 벨로우즈를 이용한 극저온 열탈착 분석 장치 및 이를 이용한 분석 방법
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제 1항을 이용한 벨로우즈를 이용한 열탈착 분석 장치에 있어서,샘플을 샘플홀더에 설치하며, 제 1센서부와 제 2센서부를 샘플홀더에 연결하고 제 3센서부를 진공챔버부의 내벽에 연결하는 제 1단계(H1);벨로우즈와 냉각부를 고정하고 잭서포트로 상기 냉각부를 상기 샘플홀더로부터 하향시키는 제 2단계(H2);상기 냉각부와 연결된 로터리펌프의 밸브를 열어 상기 벨로우즈와 상기 냉각부 내부를 저진공 상태로 만드는 제 3단계(H3);메인챔버부와 연결된 상기 로터리펌프의 밸브를 열어 상기 메인챔버부 내부를 저진공 상태로 만든 후 밸브를 닫고, 상기 제 1펌프부의 밸브를 열어 상기 메인챔버부 내부를 고진공 상태로 만드는 제 4단계(H4);설정된 온도까지 상기 히터의 온도를 상승시켜 상기 샘플을 전처리하여 표면에 흡착된 불순물을 제거하는 제 5단계(H5);상기 제 1펌프부의 밸브를 닫고, 공급부의 밸브를 열어 상기 샘플홀더 내부로 가스를 유입시키고 밸브를 닫는 제 6단계(H6);설정된 온도까지 상기 히터의 온도를 상승시키는 제 7단계(H7);상기 샘플의 온도가 설정된 온도에 도달하면 상기 가스가 상기 샘플에 흡착되는 제 8단계(H8);상기 메인챔버부와 연결된 상기 로터리펌프의 밸브를 열어 상기 메인챔버부 내부에서 상기 샘플에 흡착되지 않은 잔여 가스를 배출시키는 제 9단계(H9);상기 메인챔버부 내부의 압력이 0bar가 되면 상기 메인챔버부와 연결된 상기 로터리펌프의 밸브를 잠그고, 상기 제 1펌프부의 밸브를 열어 상기 매인챔버 내부를 고진공 상태로 만드는 제 10단계(H10);상기 분석부의 밸브를 열고 상기 제 1펌프부의 밸브를 잠그며, 설정된 온도까지 히터의 온도를 상승시키는 제 11단계(H11);상기 샘플에서 탈착된 가스를 상기 분석부에서 분석하는 제 12단계(H12);로 구성되는 것을 특징으로 하는 벨로우즈를 이용한 극저온 열탈착 분석 장치 및 이를 이용한 분석 방법
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