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FPM에 있어서, 다수의 LED광원이 구비되며, 대물렌즈를 투과하여 서로 다른 각도로 측정대상물에 순차적으로 복수의 LED 제1빔을 조사하는 제1LED 어레이로 구성된 제1패널을 갖는 제1조명기; 다수의 LED광원이 구비되며, 상기 제1조명기에 의한 조사 후, 서로 다른 각도로 측정대상물에 순차적으로 복수의 LED 제2빔을 조사하는 제2LED 어레이로 구성된 제2패널을 갖는 제2조명기; LED 제1빔과 제2빔이 조사된 측정대상물에서 나오는 빔을 수집하도록 구성된 집광렌즈; 상기 집광렌즈로부터 광을 수광하고 복수의 제1빔 및 제2빔 각각에 대한 이미지를 취득하는 광검출기; 및 상기 제1조명기와 상기 대물렌즈 사이에 구비되어, 상기 제1조명기에 의해 상기 측정대상물에 조사되어 상기 대물렌즈의 후초점면에 형성된 이미지를 취득하고, 취득된 후초점면 이미지를 기반으로 상기 제1조명기의 정렬오차(△x1, △y1, △θ1)를 측정하는 정렬오차 측정유닛;을 포함하는 것을 특징으로 하는 정렬오차 보정이 가능한 반사형 FPM
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제 1항에 있어서, 상기 제1조명기에 의해 조사된 제1빔은 제1렌즈와 필드스탑, 제2렌즈로 구성된 광학계를 통과한 후, 제1빔스플리터에 의해 반사되어 대물렌즈를 지나, 측정대상물에 반사되어 대물렌즈의 후초점면에 이미징되며, 이미징을 위한 빔은 제1빔스플리터를 통과하여 집광렌즈를 거쳐 제1광검출기에 의해 검출되고, 상기 정렬오차 측정유닛은, 상기 제1렌즈와 상기 제2렌즈 사이에 구비되는 제2빔스플리터와, 제3렌즈, 및 보정용 광검출기를 포함하여, 후초점면에 이미징을 취득하고, 취득된 후초점면 이미징을 기반으로 상기 제1조명기의 정렬오차(△x1, △y1, △θ1)를 측정하는 것을 특징으로 하는 정렬오차 보정이 가능한 반사형 FPM
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제 2항에 있어서, N 개의 상기 제1LED 광원과, M 개의 상기 제2LED 광원들에 의해 획득된 N+M 개의 저분해능 이미지 각각을 특정개수로 절단하여 저분해능 세그멘트 이미지를 얻고, N+M 개의 상기 저분해능 세그멘드 이미지를 푸리에 변환하여 스펙트럼 도메인에 스티칭하고, 역 푸리에 변환을 통해 고분해능 세그멘트 이미지를 얻는 과정을 특정개수에 대해 반복하여 특정개수의 고분해능 이미지를 얻은 후, 스티칭하여 측정대상물의 위상정보를 갖는 고분해능 합성 이미지를 산출하는 분석수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 정렬오차 보정이 가능한 반사형 FPM
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제 3항에 있어서, 상기 제2조명기의 정렬오차 연산을 수행하는 정렬오차보정부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 정렬오차 보정이 가능한 반사형 FPM
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제 4항에 있어서, 상기 정렬오차보정부에 따른 보정방법은, 상기 정렬오차 측정유닛을 통해 얻은 상기 제1조명기의 정렬오차(△x1, △y1, △θ1)를 적용한 고해상도 이미지를 제2조명기 정렬오차의 초기이미지로 적용하는 제1단계;상기 제2조명기 정렬오차(△x2, △y2, △θ2)를 초기화하는 제2단계; M번째 제2LED광원이 △x2, △y2, △θ2의 정렬오차를 가질 때의 푸리에 플레인(fourier plane)에서의 kxm, kym을 구하는 제3단계; 상기 초기이미지를 저해상도 이미지 im_lowRes로 두고, 상기 im_lowRes를 푸리에 변환한 것을 objRecoverFT로 두는 제4단계; 상기 objRecoverFT에서 상기 kxm, kym에 해당하는 부분을 pupil function으로 잘라 lowResFT1을 산출하는 제5단계; M번째 제2LED광원을 켜서 상기 광검출기로 얻은 진폭을 lm로 하고, 1~n번째 제1LED광원을 통해 언든 위상을 im_lowRes의 각도를 통해 얻으면 m번째 제2LED광원을 통해 얻은 필드가 되고 상기 필드를 푸리에 변환한 것을 lowResFT2로 두는 제6단계; 상기 objRecoverFT와 상기 pupil function를 상기 lowResFT2와 상기 lowResFT1을 기반으로 업데이트하고, M-1번째까지 계산한 필드를 통해 얻은 강도와, 실제 광검출기를 통해 얻은 강도의 차이 error를 계산하는 제7단계; 상기 제5단계 내지 상기 제7단계를 복수의 제2LED광원 일부에 대해 순차적으로 반복하는 제8단계; 서로 다른 △x2, △y2, △θ2에 대해 제4단계 내지 제8단계를 반복하는 제9단계; 및상기 error의 최소값을 최종 제2조명기 정렬오차(△x2, △y2, △θ2)로 결정하는 제10단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 정렬오차 보정이 가능한 반사형 FPM
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