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기판;상기 기판 상에 제공되는 하부 투명 전극;상기 하부 투명 전극 상에 제공되는 상부 투명 전극; 및상기 하부 투명 전극 및 상기 상부 투명 전극 사이에 개재되는 광 흡수층을 포함하되,상기 광 흡수층은 페로브스카이트 물질을 포함하고,상기 하부 투명 전극 및 상기 상부 투명 전극 중 적어도 하나는 순차로 적층된 제1 컬러 구현층, 중간층 및 제2 컬러 구현층을 포함하되,상기 제1 컬러 구현층 및 상기 제2 컬러 구현층은 도펀트를 포함하는 금속 산화물층인 페로브스카이트 태양전지
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제1 항에 있어서,상기 중간층은 은(Ag), 금(Au), 알루미늄(Al), 구리(Cu), 티타늄(Ti), 백금(Pt), 텅스텐(W) 니켈(Ni) 및/또는 티타늄 질화물(TiN)을 포함하는 페로브스카이트 태양전지
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제1 항에 있어서,상기 도펀트는 붕소(B), 알루미늄(Al), 갈륨(Ga), 인듐(In), 란탄족 원소, 및/또는 티타늄(Ti)을 포함하는 페로브스카이트 태양전지
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제1 항에 있어서,상기 금속 산화물은 ZnO, TiO2, SnO2, In2O3, ITO, ATO(antimony Tin Oxide), WOx, 및/또는 MoOx를 포함하는 페로브스카이트 태양전지
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제1 항에 있어서,상기 중간층의 두께는 1 nm 이상 15 nm 이하인 페로브스카이트 태양전지
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제1 항에 있어서,상기 하부 투명 전극 및 상기 상부 투명 전극 각각의 두께는 10 nm 이상 200 nm 이하인 페로브스카이트 태양전지
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제1 항에 있어서,상기 광 흡수층은 불투명한 페로브스카이트 태양전지
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제1 항에 있어서,상기 제1 컬러 구현층의 굴절률은 상기 제2 컬러 구현층의 굴절률과 동일한 페로브스카이트 태양전지
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기판 상에 하부 투명 전극을 형성하는 것; 및상기 하부 투명 전극 상에 광 흡수층을 형성하는 것을 포함하되,상기 하부 투명 전극을 형성하는 것은 상기 기판 상에 제1 컬러 구현층, 중간층, 및 제2 컬러 구현층을 차례로 형성하는 것을 포함하고,상기 제1 컬러 구현층을 형성하는 것은 제1 서브사이클(subcycle)을 n회 수행하는 것 및 제2서브사이클을 m회 수행하는 것을 포함하되,상기 제1 서브사이클은:상기 기판이 준비되는 챔버 내에 제1 전구체를 공급하는 것;제1 불활성 가스를 상기 챔버 내에 공급하여, 제 1 퍼지 공정을 수행하는 것;제1 반응 가스를 상기 챔버 내에 공급하는 것; 및제2 불활성 가스를 상기 챔버 내에 공급하여, 제 2 퍼지 공정을 수행하는 것을 포함하는 페로브스카이트 태양전지의 제조 방법
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제9 항에 있어서,상기 n은 1 이상 10 이하의 자연수이고,상기 m은 1 이상 100 이하의 자연수인 페로브스카이트 태양전지의 제조 방법
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제9 항에 있어서,상기 제2 서브사이클은:상기 챔버 내에 제2전구체를 공급하는 것;제3 불활성 가스를 상기 챔버 내에 공급하여, 제 3 퍼지 공정을 수행하는 것;제2 반응 가스를 상기 챔버 내에 공급하는 것; 및제4 불활성 가스를 상기 챔버 내에 공급하여, 제 4 퍼지 공정을 수행하는 것을 포함하되,상기 제2 전구체는 상기 제1 전구체와 다른 물질을 포함하는 페로브스카이트 태양전지의 제조 방법
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제9 항에 있어서,상기 제1 컬러 구현층 및 제2 컬러 구현층은 도펀트를 포함하는 금속 산화물층이고,상기 중간층은 은(Ag), 금(Au), 알루미늄(Al), 구리(Cu), 티타늄(Ti), 백금(Pt), 텅스텐(W) 니켈(Ni) 및/또는 티타늄 질화물(TiN)을 포함하는 태양전지의 제조 방법
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제9항에 있어서,상기 광 흡수층은 페로브스카이트 물질을 포함하는 페로브스카이트 태양전지의 제조 방법
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제9 항에 있어서,상기 제2 컬러 구현층을 형성하는 것은 상기 중간층 상에 상기 제1 서브사이클(subcycle)을 x회 및 상기 제2 서브사이클을 y회 수행하는 것을 포함하되,상기 n 은 상기 x와 다르고, 상기 m은 상기 y와는 다른 페로브스카이트 태양전지의 제조 방법
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제14 항에 있어서,상기 광 흡수층 상에 상부 투명 전극을 형성하는 것을 더 포함하되,상기 상부 투명 전극을 형성하는 것은 상기 광 흡수층 상에 제3 컬러 구현층, 중간층, 및 제4 컬러 구현층을 차례로 형성하는 것을 포함하고,상기 제3 컬러 구현층을 형성하는 것은 상기 광 흡수층 상에 상기 제1 서브 사이클을 a회 및 상기 제2 서브 사이클을 b회 수행하는 것을 포함하는 페로브스카이트 태양전지의 제조 방법
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제15 항에 있어서,상기 제4 컬러 구현층을 형성하는 것은 상기 중간층 상에 상기 제1 서브사이클(subcycle)을 c회 및 상기 제2 서브사이클을 d회 수행하는 것을 포함하되,상기 a 은 상기 c와 다르고, 상기 b은 상기 d와는 다른 페로브스카이트 태양전지의 제조 방법
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제9 항에 있어서,상기 제2 서브 사이클을 수행하는 횟수(m)에 대한 상기 제1 서브 사이클을 수행하는 횟수(n)의 비가 증가할수록, 상기 하부 투명 전극의 굴절률이 감소하도록 구성되는 페로브스카이트 태양전지의 제조 방법
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