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정전압 모드 또는 정전류 모드로 전원을 공급하는 전원공급장치;분석 대상 전력반도체소자를 포함하는 이중 펄스 테스트를 수행하는 테스트 지그; 상기 이중 펄스 테스트에 의한 상기 전력반도체소자의 상태를 측정하는 센서부; 상기 센서부에서 측정된 상기 전력반도체소자의 상태 정보를 전송하고, 상기 테스트 지그의 상태 정보를 수신하며 상기 테스트 지그로 상기 전력반도체소자의 게이트 신호를 전송하는 DAQ 모듈; 및 상기 DAQ 모듈을 통하여 상기 전력반도체소자의 상태 정보 및 상기 테스트 지그의 상태 정보를 수신하여 상기 전력반도체소자의 상태 정보를 특성 정보로서 저장하며 상기 전력반도체소자의 테스트에 대응하는 상기 게이트 신호를 생성하고 상기 테스트 지그의 상태 정보에 따라 상기 전력반도체소자의 테스트를 제어하는 PC;를 포함하는 이중 펄스 테스트를 이용한 전력반도체소자 특성 분석 장치
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제1항에 있어서,상기 센서부는, 상기 테스트 지그 내의 전류를 측정하는 전류 센서;상기 테스트 지그 내의 전압을 측정하는 전압 센서; 및 상기 전력반도체소자의 온도를 측정하는 온도 센서를 포함하는 이중 펄스 테스트를 이용한 전력반도체소자 특성 분석 장치
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제1항에 있어서,상기 테스트 지그는,상기 전원공급장치로부터 전원을 공급받는 전원입력단과 상기 전력반도체소자 사이에 직렬로 연결되는 인덕터; 및상기 인덕터에 병렬로 연결되며 양극이 상기 전력반도체소자에 연결되고 음극이 상기 전원입력단에 연결되는 다이오드를 포함하는 이중 펄스 테스트를 이용한 전력반도체소자 특성 분석 장치
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제3항에 있어서,상기 테스트 지그는, 상기 전력반도체소자, 상기 인덕터 및 상기 다이오드를 수용하는 지그 케이스; 및상기 지그 케이스의 개폐 상태에 따라 온오프되는 스위치;를 더 포함하는 이중 펄스 테스트를 이용한 전력반도체소자 특성 분석 장치
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제4항에 있어서,상기 테스트 지그는 상기 스위치의 온오프 상태를 상기 테스트 지그의 상태 정보로서 상기 DAQ 모듈을 통하여 상기 PC로 전송하는 이중 펄스 테스트를 이용한 전력반도체소자 특성 분석 장치
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제1항에 있어서, 상기 PC는 상기 전력반도체소자의 상태 정보에 따라 턴온/오프 특성 파라미터 및 역회복 특성 파라미터를 산출하는 이중 펄스 테스트를 이용한 전력반도체소자 특성 분석 장치
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제6항에 있어서,상기 턴온/오프 특성 파라미터는 턴온-오프 시간, 상승시간, 하강 시간, 전압 변화율(dv/dt) 및 전류 변화율(di/dt)을 포함하고, 상기 역회복 특성 파라미터는 역회복 시간 및 역회복 전류를 포함하는 이중 펄스 테스트를 이용한 전력반도체소자 특성 분석 장치
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제3항에 있어서,상기 PC는 실부하 조건에 따라 상기 전력반도체소자의 턴온 시간을 가변하여 상기 인덕터의 피크 전류(ΔIL)의 크기를 제어하는 이중 펄스 테스트를 이용한 전력반도체소자 특성 분석 장치
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제8항에 있어서,상기 인덕터의 피크 전류(ΔIL)의 크기는 하기의 식에 의해 산출하고, , 여기서, VDC는 상기 전원공급장치로부터 제공하는 전원의 직류 전압,L은 상기 인덕터의 인덕턴스, TON은 상기 전력반도체소자의 턴온 시간, IL*는 실부하 조건에 따른 사용자 설정값인 이중 펄스 테스트를 이용한 전력반도체소자 특성 분석 장치
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제1항에 있어서,상기 PC는 상기 전력반도체소자의 턴온 시점에서 소스-드레인간 전압 및 전류 변화에 의한 에너지 손실을 산출하는 이중 펄스 테스트를 이용한 전력반도체소자 특성 분석 장치
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제1항 내지 제10항 중 어느 한 항에 따른 이중 펄스 테스트를 이용한 전력반도체소자 특성 분석 장치의 제어 방법으로서, 테스트를 위한 테스트 모드 및 전원공급장치를 설정하는 테스트 설정 단계;상기 설정에 따라 이중 펄스 테스트를 위한 테스트 조건을 설정하는 이중 펄스 테스트 설정 단계; 상기 이중 펄스 테스트를 위한 테스트 조건에 따라 상기 전력반도체소자의 게이트 신호를 출력하는 단계;상기 전력반도체소자가 파손되는지 확인하는 단계;상기 전력반도체소자가 파손되지 않은 경우, 이중 펄스 테스트를 수행하는 단계; 및상기 전력반도체소자가 파손된 경우 테스트를 종료하는 단계를 포함하고,상기 이중 펄스 테스트를 수행하는 단계는 상기 전력반도체소자의 상태를 측정하여 상기 전력반도체소자의 특성 파라미터를 산출하는 제어 방법
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제11항에 있어서, 상기 테스트 지그의 지그 케이스의 상태를 판단하는 단계; 상기 지그 케이스가 개방된 경우, 테스트 지그 에러를 알람하는 단계; 및상기 지그 케이스가 닫힌 경우, 이중 펄스 테스트를 진행하는 단계를 더 포함하는 제어 방법
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제11항에 있어서,상기 테스트 설정 단계의 테스트 모드를 판단하는 단계;상기 테스트 모드가 전류 도통 테스트인 경우, 상기 설정에 따라 전류 도통 테스트를 위한 테스트 조건을 설정하는 전류 도통 테스트 설정 단계; 상기 전류 도통 테스트를 위한 테스트 조건에 따라 상기 전력반도체소자의 게이트 신호를 출력하는 단계;상기 전력반도체소자가 파손되는지 확인하는 단계; 및상기 전력반도체소자가 파손되지 않은 경우, 전류 도통 테스트를 수행하는 단계;를 더 포함하고, 상기 전류 도통 테스트를 수행하는 단계는 상기 전력반도체소자의 상태를 측정하여 상기 전력반도체소자의 특성 파라미터를 산출하는 제어 방법
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제13항에 있어서,상기 전력반도체소자의 현재 온도가 설정 온도 이상인지의 여부를 판단하는 제1판단 단계; 및상기 전력반도체소자가 파손되거나, 상기 현재 온도가 상기 설정 온도보다 큰 경우 테스트를 종료하는 단계를 더 포함하는 제어 방법
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제14항에 있어서,현재 시간이 테스트 설정 시간보다 큰지의 여부를 판단하는 제2판단 단계를 더 포함하고, 상기 현재 시간이 상기 테스트 설정 시간보다 큰 경우 테스트를 종료하는 제어 방법
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