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90% 이상의 극자외선 투과율을 갖는 극자외선 노광용 펠리클로서,중심 부분에 개방부가 형성된 지지층; 및상기 개방부를 덮도록 상기 지지층 위에 형성되는 펠리클층;을 포함하고,상기 펠리클층은,상기 개방부를 덮도록 상기 지지층 위에 형성되는 M-B-Si(M은 Zr, Mo, Ru, Y, W, Ti 및 Ir로 이루어진 그룹에서 선택된 하나)의 3성분계 소재로 형성된 코어층;을 포함하고,상기 펠리클층은 40nm 이하의 두께를 가지되 상기 코어층이 24nm 내지 35nm의 두께를 가지는 것을 특징으로 하는 극자외선 노광용 펠리클
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제1항에 있어서,상기 지지층은 실리콘 기판인 것을 특징으로 하는 극자외선 노광용 펠리클
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제1항에 있어서,상기 코어층의 소재는 MBxSiy(x+y=≥1)인 것을 특징으로 하는 극자외선 노광용 펠리클
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4
제3항에 있어서,상기 코어층의 소재에서 x+y=1 또는 x+y=2 인 것을 특징으로 하는 극자외선 노광용 펠리클
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5
제3항에 있어서,상기 코어층의 소재는 M(BSi)z(z=1~6) 인 것을 특징으로 하는 극자외선 노광용 펠리클
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6
제1항에 있어서,상기 코어층의 소재는 Zr-B-Si의 3성분계 소재인 것을 특징으로 하는 극자외선 노광용 펠리클
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7
제1항에 있어서, 상기 펠리클층은,상기 코어층의 적어도 일면에 형성되는 캡핑층;을 더 포함하고,상기 캡핑층의 소재는 M-B-Si(M은 Zr, Mo, Ru, Y, W, Ti 및 Ir로 이루어진 그룹에서 선택된 하나)의 3성분계 소재, ZrCBx(x≥1), ZrBx(x≥2), ZrC, ZrSix(x≤2), SiN, B4C, B 또는 금속산화물 중에 적어도 하나를 포함하고, 상기 코어층의 소재와 상이한 것을 특징으로 하는 극자외선 노광용 펠리클
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8
제7항에 있어서, 상기 펠리클층은,상기 코어층과 상기 캡핑층 사이에 개재되는 버퍼층;을 더 포함하고,상기 버퍼층의 소재는 M-B-Si(M은 Zr, Mo, Ru, Y, W, Ti 및 Ir로 이루어진 그룹에서 선택된 하나)의 3성분계 소재, ZrCBx(x≥1), ZrBx(x≥2), ZrC, ZrSix(x≤2), SiN, B4C, B 또는 금속산화물 중에 적어도 하나를 포함하고, 상기 코어층 및 상기 캡핑층의 소재와 상이한 것을 특징으로 하는 극자외선 노광용 펠리클
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제7항에 있어서,상기 캡핑층의 두께는 8
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10
제1항에 있어서,상기 펠리클층은 350W 이상의 극자외선 출력 환경에서 0
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90% 이상의 극자외선 투과율을 갖는 극자외선 노광용 펠리클로서,중심 부분에 개방부가 형성된 지지층; 및상기 개방부를 덮도록 상기 지지층 위에 형성되는 펠리클층;을 포함하고,상기 펠리클층은,상기 개방부를 덮도록 상기 지지층 위에 형성되는 제1 캡핑층;상기 제1 캡핑층 위에 형성되는 M-B-Si(M은 Zr, Mo, Ru, Y, W, Ti 및 Ir로 이루어진 그룹에서 선택된 하나)의 3성분계 소재로 형성된 코어층; 및상기 코어층 위에 형성되는 제2 캡핑층;을 포함하고,상기 펠리클층은 40nm 이하의 두께를 가지되 상기 코어층이 24nm 내지 35nm의 두께를 가지는 것을 특징으로 하는 극자외선 노광용 펠리클
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12
제11항에 있어서,상기 제1 및 제2 캡핑층의 소재는 M-B-Si(M은 Zr, Mo, Ru, Y, W, Ti 및 Ir로 이루어진 그룹에서 선택된 하나)의 3성분계 소재, ZrCBx(x≥1), ZrBx(x≥2), ZrC, ZrSix(x≤2), SiN, B4C, B 또는 금속산화물 중에 적어도 하나를 포함하고, 상기 코어층의 소재와 상이한 것을 특징으로 하는 극자외선 노광용 펠리클
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제11항에 있어서, 상기 펠리클층은,상기 제1 캡핑층과 상기 코어층 사이에 개재되는 제1 버퍼층; 및상기 코어층과 제2 캡핑층 사이에 개재되는 제2 버퍼층;을 더 포함하고,상기 제1 및 제2 버퍼층의 소재는 M-B-Si(M은 Zr, Mo, Ru, Y, W, Ti 및 Ir로 이루어진 그룹에서 선택된 하나)의 3성분계 소재, ZrCBx(x≥1), ZrBx(x≥2), ZrC, ZrSix(x≤2), SiN, B4C, B 또는 금속산화물 중에 적어도 하나를 포함하고,상기 제1 버퍼층의 소재는 상기 제1 캡핑층 및 상기 코어층의 소재와 상이하고, 상기 제2 버퍼층의 소재는 상기 코어층 및 제2 캡핑층의 소재와 상이한 것을 특징으로 하는 극자외선 노광용 펠리클
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