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기판의 불량 소자가 삽입되도록 하부에 삽입홈을 가지는 스탬프 몸체부; 상기 불량 소자가 상기 삽입홈에 삽입되면 접촉되도록 상기 삽입홈에 구비되는 점착층; 그리고 상기 스탬프 몸체부에 구비되고, 상기 불량 소자가 상기 점착층에 점착되도록 상기 점착층을 가열하는 가열부를 포함하는 것을 특징으로 하는 불량 소자 제거용 스탬프
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제1항에 있어서, 상기 삽입홈은 상기 스탬프 몸체부의 하부에 함몰 형성되는 것을 특징으로 하는 불량 소자 제거용 스탬프
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제2항에 있어서, 상기 가열부는 상기 삽입홈에 구비되고, 상기 점착층은 상기 가열부를 덮도록 구비되는 것을 특징으로 하는 불량 소자 제거용 스탬프
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제2항에 있어서, 상기 가열부는 상기 스탬프 몸체부의 하부에서 상기 삽입홈의 둘레에 구비되는 것을 특징으로 하는 불량 소자 제거용 스탬프
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제1항에 있어서, 중앙에 관통 형성되는 관통공을 가지고, 상기 스탬프 몸체부의 하부에 구비되는 보완층을 포함하고, 상기 삽입홈은 상기 관통공에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는 불량 소자 제거용 스탬프
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제5항에 있어서, 상기 가열부는 상기 삽입홈에 구비되고, 상기 점착층은 상기 가열부를 덮도록 구비되는 것을 특징으로 하는 불량 소자 제거용 스탬프
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7
제5항에 있어서, 상기 가열부는 상기 보완층의 내부에 구비되는 것을 특징으로 하는 불량 소자 제거용 스탬프
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스탬프 몸체부; 상기 스탬프 몸체부의 하부에 구비되고, 중앙에는 기판의 불량 소자가 삽입되는 삽입홈을 가지는 점착층; 그리고 상기 점착층의 하부에 구비되고, 상기 삽입홈에 삽입된 불량 소자가 상기 점착층에 점착되도록 상기 점착층을 가열하는 가열부를 포함하는 것을 특징으로 하는 불량 소자 제거용 스탬프
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9
하부에 돌출부를 가지는 스탬프 몸체부; 상기 돌출부의 하부에 구비되고, 기판의 불량 소자와 접촉되는 점착층; 그리고 상기 스탬프 몸체부에 구비되고, 상기 불량 소자가 상기 점착층에 점착되도록 상기 점착층을 가열하는 가열부를 포함하는 것을 특징으로 하는 불량 소자 제거용 스탬프
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10
제9항에 있어서, 상기 돌출부는 상기 스탬프 몸체부와 일체로 형성되는 것을 특징으로 하는 불량 소자 제거용 스탬프
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11
제10항에 있어서, 상기 가열부는 상기 돌출부의 하부에 구비되고, 상기 점착층은 상기 돌출부의 하부에 상기 가열부를 덮도록 구비되는 것을 특징으로 하는 불량 소자 제거용 스탬프
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12
제10항에 있어서, 상기 가열부는 상기 스탬프 몸체부의 하부에서 상기 돌출부의 둘레에 구비되는 것을 특징으로 하는 불량 소자 제거용 스탬프
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13
제10항에 있어서, 상기 스탬프 몸체부의 하부에 구비되어 상기 돌출부를 형성하는 보완층을 포함하는 것을 특징으로 하는 불량 소자 제거용 스탬프
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14
제13항에 있어서, 상기 가열부는 상기 보완층의 내부에 구비되고, 상기 점착층은 상기 보완층의 하부에 구비되는 것을 특징으로 하는 불량 소자 제거용 스탬프
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15
제13항에 있어서, 상기 가열부는 상기 보완층의 하부에 구비되며, 상기 점착층은 상기 보완층의 하부에 상기 가열부를 덮도록 구비되는 것을 특징으로 하는 불량 소자 제거용 스탬프
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제13항에 있어서, 상기 가열부는 상기 스탬프 몸체부의 하부에서 상기 보완층의 둘레에 구비되며, 상기 점착층은 상기 보완층의 하부에 구비되는 것을 특징으로 하는 불량 소자 제거용 스탬프
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17
제1항, 제8항 및 제9항 중 어느 하나의 항에 있어서, 상기 가열부는 금속 배선의 형태로 형성되는 줄 가열(Joule Heating) 히터인 것을 특징으로 하는 불량 소자 제거용 스탬프
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18
제1항, 제8항 및 제9항 중 어느 하나의 항에 있어서, 상기 가열부는 유도 가열 히터인 것을 특징으로 하는 불량 소자 제거용 스탬프
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제1항, 제8항 및 제9항 중 어느 하나의 항에 있어서, 상기 가열부는 가열 패턴으로 형성되고, 조사부에서 조사되는 광에 의해 가열되는 것을 특징으로 하는 불량 소자 제거용 스탬프
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20
제1항, 제8항 및 제9항 중 어느 하나의 항에 있어서, 상기 점착층은 열경화성 폴리머로 형성되는 것을 특징으로 하는 불량 소자 제거용 스탬프
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21
제1항, 제8항 및 제9항 중 어느 하나의 항에 있어서, 상기 점착층은 UV 경화성 폴리머로 형성되는 것을 특징으로 하는 불량 소자 제거용 스탬프
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22
제1항, 제8항 및 제9항 중 어느 하나의 항에 있어서, 상기 스탬프 몸체부에 결합되며, 수직 상측으로 연장 구비되고 외주면에 나사산이 형성되는 회전로드와, 상기 회전로드와 선택적으로 나사 결합되어 상기 회전로드가 회전되면서 상승되도록 안내하는 가이드와, 상기 회전로드를 하강 또는 회전시키고, 상기 가이드가 상기 회전로드에 선택적으로 나사 결합되도록 하는 구동부를 가지는 회전승강부를 포함하고, 상기 스탬프 몸체부가 상기 회전로드와 함께 회전되면서 상승되면 점착된 상기 불량 소자도 상기 스탬프 몸체부와 함께 회전되면서 상기 기판에서 분리되는 것을 특징으로 하는 불량 소자 제거용 스탬프
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23
제1항, 제8항 및 제9항 중 어느 하나의 항에 기재된 복수 개의 불량 소자 제거용 스탬프를 포함하고, 상기 복수 개의 불량 소자 제거용 스탬프 중 하나의 불량 소자 제거용 스탬프가 선택되어 상기 불량 소자와 점착되는 것을 특징으로 하는 불량 소자 제거용 장치
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24
제23항에 있어서, 이격된 한 쌍의 롤러에 연결되어 공급되고, 하면에 상기 복수 개의 불량 소자 제거용 스탬프가 일렬로 부착되는 테이프와, 상기 테이프의 상측에 승강 가능하게 설치되고, 상기 테이프를 하측으로 가압하여 일렬로 부착된 상기 복수의 불량 소자 제거용 스탬프 중 하나의 불량 소자 제거용 스탬프를 상기 불량 소자에 가압하는 가압헤드를 포함하는 것을 특징으로 하는 불량 소자 제거용 장치
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25
제23항에 있어서, 상기 복수 개의 불량 소자 제거용 스탬프가 하면에 어레이 형태로 부착되는 부착 필름과, 상기 부착 필름의 상측에서 수평이동 및 승강 가능하게 설치되고, 상기 부착 필름을 하측으로 가압하여 어레이 형태로 부착된 상기 복수의 불량 소자 제거용 스탬프 중 하나의 불량 소자 제거용 스탬프를 상기 불량 소자에 가압하는 가압로드를 가지는 것을 특징으로 하는 불량 소자 제거용 장치
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