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파우더 형태의 다이머 페럴린을 기화부(10)에 투입하여 190 내지 270℃의 온도 범위에서 다이머 페럴린을 기화시키는 기화단계(S10);제1이송관(20)을 통해 기화된 다이머 페럴린을 분해부(30)로 이송하는 제1이송단계(S20);상기 분해부(30)를 통해 기화된 다이머 페럴린을 가열하여 모노머 페럴린으로 변환시키는 제1분해단계(S30);제2이송관(40)을 통해 상기 분해부(30)의 다이머 페럴린 및 모노머 페럴린을 증착챔버(50)로 이송하는 제2이송단계(S40);상기 증착챔버(50)에 투입된 유기발광소자(100)의 상부에 다이머 페럴린 및 모노머 페럴린을 확산시켜 제1폴리머 필름막(210)을 형성하는 제1증착단계(S50); 및상기 제1증착단계(S50)를 마치고 페럴린 부산물을 콜드트랩(60)에 이송하여 응축시키는 냉각단계(S60);를 포함하는 유기발광소자의 광추출용 가시성 페럴린 필름의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 제1분해단계(S30)에서, 상기 분해부(30)는 450 내지 550℃의 온도 범위에서 다이머 페럴린을 가열하여 모노머 페럴린으로 변환시키는 것을 특징으로 하는 유기발광소자의 광추출용 가시성 페럴린 필름의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 제1분해단계(S30)에서 상기 분해부(30)의 온도는 650 내지 750℃로 이루어지고,상기 제1증착단계(S50)를 마치고,상기 기화부(10)를 통해 기화된 다이머 페럴린을 상기 분해부(30)로 이송하여 350 내지 450℃의 온도 범위에서 가열하여 모노머 페럴린으로 변환시키는 제2분해단계를 진행한 후 상기 증착챔버(50)로 이송하여 상기 증착챔버(50)에서 제1폴리머 필름막(210)의 상측에 제2폴리머 필름막(220)을 형성하는 제2증착단계와,상기 기화부(10)를 통해 기화된 다이머 페럴린을 상기 분해부(30)로 이송하여 650 내지 750℃의 온도 범위에서 가열하여 모노머 페럴린으로 변환시키는 제3분해단계를 진행한 후 상기 증착챔버(50)로 이송하여 상기 증착챔버(50)에서 제2폴리머 필름막(220)의 상측에 제3폴리머 필름막(230)을 형성하는 제3증착단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유기발광소자의 광추출용 가시성 페럴린 필름의 제조방법
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제3항에 있어서,상기 분해부(30)는, 일단이 상기 기화부(10)에 각각 연결되되 독립적인 온도 제어가 가능한 제1분해챔버(31) 및 제2분해챔버(32)로 구성되고,상기 제1분해챔버(31)는 650 내지 750℃의 온도로 제어되고, 상기 제2분해챔버(32)는 350 내지 450℃의 온도로 제어되어,상기 제2분해단계는, 상기 제2분해챔버(32)를 통해 다이머 페럴린을 모노머 페럴린으로 변환시키고,상기 제1분해단계 및 제3분해단계는, 상기 제1분해챔버(31)를 통해 다이머 페럴린을 모노머 페럴린으로 변환시키는 것을 특징으로 하는 유기발광소자의 광추출용 가시성 페럴린 필름의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 제1이송관(20) 및 상기 제2이송관(40)의 내부 온도는 150℃ 내지 250℃로 제어되는 것을 특징으로 하는 유기발광소자의 광추출용 가시성 페럴린 필름의 제조방법
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제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 따른 제조방법으로 제조되는 것을 특징으로 하는 유기발광소자의 광추출용 가시성 페럴린 필름
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