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코어용 전이금속을 분산제 용액과 혼합하는 단계;분산된 코어용 전이금속 용액을 기판에 도포하는 단계;상기 분산제를 증발시켜 상기 기판 상에 상기 코어용 전이금속 박막을 형성하는 단계;상기 코어용 전이금속 박막이 형성된 상기 기판 상에 일산화탄소를 흡착시키는 단계; 및상기 코어용 전이금속 표면에 흡착한 일산화탄소와 쉘용 금속 전구체 및 용매가 반응하여, 전이금속 코어 상에 환원된 금속 쉘층이 형성된 코어-쉘 구조의 박막을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는일산화탄소를 이용한 코어-쉘 입자를 포함하는 박막 제조방법
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청구항 1에 있어서, 상기 코어용 전이금속 용액의 표면에서 상기 분산제의 증발속도를 조절함으로써 상기 코어용 전이금속 박막의 두께를 조절하는 것을 특징으로 하는일산화탄소를 이용한 코어-쉘 입자를 포함하는 박막 제조방법
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청구항 1 항에 있어서, 상기 쉘용 금속 전구체로 코팅된 코팅층의 두께는 5nm 내지 20 nm 범위인 것을 특징으로 하는일산화탄소를 이용한 코어-쉘 입자를 포함하는 박막 제조방법
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청구항 3에 있어서, 상기 제조된 코어-쉘 입자는 직교 방향을 따라 1 내지 100 nm의 크기인 것을 특징으로 하는일산화탄소를 이용한 코어-쉘 입자를 포함하는 박막 제조방법
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청구항 1에 있어서, 상기 코어용 전이금속은 팔라듐, 이리듐, 루테늄, 금, 코발트, 니켈, 철, 구리, 망간, 몰리브덴, 레늄, 텅스텐 및 아연으로 이루어진 군에서 선택된 1종 이상인 것을 특징으로 하는일산화탄소를 이용한 코어-쉘 입자를 포함하는 박막 제조방법
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청구항 1에 있어서, 상기 쉘용 금속 전구체는 백금(Pt), 금(Au), 팔라듐(Pd), 이리듐(Ir), 루테늄(Ru), 오스뮴(Os), 은(Ag) 및 레늄(Re)으로 이루어진 군에서 1종 이상의 금속의 전구체인 것을 특징으로 하는일산화탄소를 이용한 코어-쉘 입자를 포함하는 박막 제조방법
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본체;반응부의 공정을 통해 코어-쉘 박막 시트로 제조될 시트;기설정된 이동경로를 따라 이동하여 상기 시트를 상기 반응부로 이송시키기 위해 하나 이상 구비되는 이송부;상기 이송부를 통해 투입되는 시트를 탄소지지체 분산 수용액과 전이금속 전구체가 혼합된 후, pH가 기설정된 범위로 조절되는 코어용 전이금속 전구체 용액에 담지하여 상기 시트가 전이금속이 코팅된 전이금속 코어로 변환되도록 하는 제1 반응부;상기 이송부를 통해 상기 제1 반응부를 통과한 후 투입되는 상기 전이금속 코어에 일산화탄소를 퍼지하여 상기 일산화탄소가 상기 전이금속 코어에 흡착되도록 하는 제2 반응부;상기 이송부를 통해 상기 제2 반응부를 통과한 후 투입되는 상기 일산화탄소가 흡착된 전이금속 코어를 용매에 담지하여 상기 일산화탄소의 전자가 생성되도록 한 후, 쉘용 금속 전구체에 담지하여 상기 전자가 생성된 일산화탄소와 상기 쉘용 금속 전구체의 반응을 통해 상기 전이금속 코어에 단일층의 금속 쉘이 형성된 코어-쉘 시트를 제조하는 제3 반응부; 및상기 이송부와 상기 제1, 2, 3 반응부를 제어하는 제어부;를 포함하며,상기 제어부는 분산제를 포함하는 코어용 전이금속의 표면에서 상기 분산제의 증발속도를 조절하여 상기 쉘용 금속 전구체의 두께를 조절하는 것을 특징으로 하는일산화탄소를 이용한 코어-쉘 입자를 포함하는 시트형 박막 제조장치
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원통형 기판의 일단이 고정되고, 상기 원통형 기판을 회전시키거나 이동시키는 제1 스테이지부;상기 원통형 기판의 타단이 고정되고, 상기 제1 스테이지부에 연동되어 상기 원통형 기판을 회전시키거나 이동시키는 제2 스테이지부; 및상기 원통형 기판의 타겟 영역에 대응하는 위치의 하부에 배치되는 베이스부;를 포함하고,상기 베이스부는 코어용 전이금속 용액을 포함하며, 상기 코어용 전이금속 용액 상에 쉘용 금속 전구체 및 용매 물질이 플로팅되는 것을 특징으로 하는일산화탄소를 이용한 코어-쉘 입자를 포함하는 회전형 박막 제조장치
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코어용 전이금속을 분산제 용액과 혼합하는 단계;분산된 코어용 전이금속 용액을 기판에 도포하는 단계;상기 분산제를 증발시켜 상기 기판 상에 상기 코어용 전이금속 박막을 형성하는 단계;상기 코어용 전이금속 박막이 형성된 상기 기판 상에 일산화탄소를 흡착시키는 단계; 및상기 코어용 전이금속 표면에 흡착한 일산화탄소와 쉘용 금속 전구체 및 용매가 반응하여, 전이금속 코어 상에 환원된 금속 쉘층이 형성된 코어-쉘 구조의 박막을 형성하는 단계를 포함하는 제조방법으로 제조된 박막
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