| 1 |
1
측정 대상 물체에서 반사된 광을 통과시키는 슬릿;상기 슬릿을 통과한 광을 집속하는 제1 렌즈;상기 제1 렌즈를 통과한 광을 회절시키는 회절 격자;상기 회절 격자에 의해 회절된 -1차 회절광을 집속하는 제2 렌즈;상기 슬릿을 수평 방향으로 이동시키는 이동부;상기 슬릿의 이동에 따라 상기 회절 격자를 회전시키는 회전부; 및상기 제2 렌즈를 통과한 상기 -1차 회절광의 분광 스펙트럼을 검출하는 이미지 센서를 포함하는 면적 스캔 기능을 구비한 영상 분광기
|
| 2 |
2
제 1 항에 있어서,상기 슬릿은상기 측정 대상 물체의 일단 라인에서 타단 라인까지 순차적으로 이동되고,상기 회절 격자는상기 슬릿이 이동함에 따라 시계 방향 또는 반시계 방향으로 회전되는면적 스캔 기능을 구비한 영상 분광기
|
| 3 |
3
제 1 항에 있어서,상기 제2 렌즈는상기 회절 격자에 의한 반사광(0차 회절광)을 더 집속하는면적 스캔 기능을 구비한 영상 분광기
|
| 4 |
4
제 3 항에 있어서,상기 회절 격자 및 상기 제2 렌즈 사이에 배치되며, 상기 -1차 회절광을 굴절시키는 단일각 프리즘을 더 포함하는 면적 스캔 기능을 구비한 영상 분광기
|
| 5 |
5
제 4 항에 있어서,상기 0차 회절광은 상기 제2 렌즈로 직접 입사되는면적 스캔 기능을 구비한 영상 분광기
|
| 6 |
6
제 3 항에 있어서,상기 회절 격자 및 상기 제2 렌즈 사이에 배치되며, 상기 -1차 회절광을 굴절시키는 쐐기부 및 상기 0차 회절광을 그대로 통과시키는 평판부를 포함하는 이중각 프리즘을 더 포함하는 면적 스캔 기능을 구비한 영상 분광기
|
| 7 |
7
제 5 항 또는 제 6 항에 있어서,상기 이미지 센서는 상기 제2 렌즈를 통과한 상기 0차 회절광을 검출하여 상기 측정 대상 물체의 라인 이미지를 더 표시하는면적 스캔 기능을 구비한 영상 분광기
|
| 8 |
8
제 6 항에 있어서,상기 쐐기부는 상기 이중각 프리즘 하부에 형성되되 하부로 갈수록 그 폭이 좁아지는 쐐기 형태로 형성되고, 상기 평판부는 상기 쐐기부 상단에서 연장되어 평판 형태로 형성되는면적 스캔 기능을 구비한 영상 분광기
|
| 9 |
9
제 7 항에 있어서,상기 이미지 센서는상하로 분할된 영역에 상기 측정 대상 물체의 라인 이미지 및 상기 분광 스펙트럼을 각각 표시하는면적 스캔 기능을 구비한 영상 분광기
|
