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수소가스 또는 불활성가스를 항온조부에 공급하는 가스공급부;상기 공급된 수소가스 또는 불활성가스에 기 설정된 수소비(PH2/PH2O)가 되도록 소정의 수분을 함유한 혼합 가스를 반응로부에 공급하는 항온조부;연자성 금속 분말이 장입된 상태로 기 설정된 수소비(PH2/PH2O)에서 열처리를 수행하여 목표 금속 만을 선택적으로 산화시켜서, 상기 연자성 금속 분말의 표면에 산화물절연막을 형성하는 반응로부;상기 반응로부 내부의 혼합 가스의 수소비(PH2/PH2O)를 측정하는 수소비검출센서부; 및상기 수소비검출센서부에서 측정된 수소비(PH2/PH2O)에 따라 기 설정된 수소비(PH2/PH2O)를 유지하기 위해 상기 반응로부에 수소가스를 공급하는 수소비제어부; 를 포함하는 특징으로 하고,상기 반응로부로 상기 항온조부의 혼합가스를 공급하는 배관에 연결된 바이패스 배관을 더 포함하고, 상기 수소비검출센서부에서 측정된 수소비(PH2/PH2O)가 기 설정된 수소비(PH2/PH2O) 보다 낮은 경우에는 상기 수소비제어부에서 상기 바이패스 배관을 통해 수소가스를 추가적으로 공급하고, 수소비검출센서부에서 측정된 수소비(PH2/PH2O)가 기 설정된 수소비 보다 높은 경우에는 상기 가스공급부에서 상기 항온조부로 공급하는 수소 가스의 일부를 불활성 가스로 대체하여 공급하는 것을 특징으로 하는 분위기 제어 기반 연자성 금속 분말 절연 피복 장치
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제1항에 있어서,상기 불활성가스는 질소(N2), 아르곤(Ar) 및 네온(Ne)으로 이루어진 군에서 선택되는 하나 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 분위기 제어 기반 연자성 금속 분말 절연 피복 장치
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제1항에 있어서,상기 연자성 금속 분말은 Fe-M계 금속이고, 상기 M은 상기 목표 금속이고, 상기 목표 금속은 실리콘(Si), 크롬(Cr), 알루미늄(Al) 및 붕소(B) 중에 선택되는 어느 하나 이상의 금속을 포함하는 것을 특징으로 하는 분위기 제어 기반 연자성 금속 분말 절연 피복 장치
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제3항에 있어서,상기 연자성 금속 분말이 Fe-Si-Cr계인 경우, 상기 Si 및 Cr 만을 선택적으로 산화시키기 위한 수소비(PH2/PH2O)는 10 내지 106 이고, 열처리 온도는 300K 내지 2000K인 것을 특징으로 하는 분위기 제어 기반 연자성 금속 분말 절연 피복 장치
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제1항의 분위기 제어 기반 연자성 금속 분말 절연 피복 장치를 이용한 분위기 제어 기반 연자성 금속 분말 절연 피복 방법에 있어서,목표 금속만이 선택적으로 산화되도록 하는 수소비(PH2/PH2O) 조건 및 열처리 온도 조건을 설정하는 단계;상기 항온조부에 유입된 수소 가스 또는 불활성 가스에 기 설정된 수소비(PH2/PH2O) 조건이 되도록 소정의 수분을 함유한 혼합 가스를 연자성 금속 분말이 장입된 상기 반응로부로 공급하는 단계;상기 반응로부 내부의 혼합 가스의 수소비를 측정하는 단계;상기 측정된 수소비에 따라 기 설정된 수소비 조건을 유지하기 위해 상기 반응로부로 수소 가스 또는 불활성 가스를 추가적으로 공급하는 단계; 및상기 반응로부 내부의 혼합 가스가 기 설정된 수소비 조건으로 유지된 상태에서 기 설정된 열처리 온도 조건으로 열처리를 수행하여 상기 연자성 금속 분말의 표면에 산화물절연막을 형성하는 단계; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 분위기 제어 기반 연자성 금속 분말 절연 피복 방법
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제6항에 있어서,상기 불활성 가스는 질소(N2), 아르곤(Ar) 및 네온(Ne)으로 이루어진 군에서 선택되는 하나 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 분위기 제어 기반 연자성 금속 분말 절연 피복 방법
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제6항에 있어서,상기 소정의 수분을 함유한 혼합 가스를 연자성 금속 분말이 장입된 반응로부로 공급하는 단계에서,상기 연자성 금속 분말은 Fe-M계 금속이고, 상기 M은 상기 목표 금속이고, 상기 목표 금속은 실리콘(Si), 크롬(Cr), 알루미늄(Al) 및 붕소(B) 중에 선택되는 어느 하나 이상의 금속을 포함하는 것을 특징으로 하는 분위기 제어 기반 연자성 금속 분말 절연 피복 방법
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제8항에 있어서,상기 연자성 금속 분말이 Fe-Si-Cr계인 경우, 상기 Si 및 Cr 만을 선택적으로 산화시키기 위한 수소비(PH2/PH2O) 조건은 10 내지 106 이고, 열처리 온도 조건은 300K 내지 2000K인 것을 특징으로 하는 분위기 제어 기반 연자성 금속 분말 절연 피복 방법
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