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배관의 외측에서 상기 배관의 내부 매체의 적어도 일부분을 가열하는 가열 장치;상기 가열 장치에 의해서 상기 배관 내부에서 가열된 상기 매체의 유속에 따른 온도 분포를 측정할 수 있도록, 상기 가열 장치를 기준으로 상기 매체가 흐르는 방향의 후방인 제 1 위치에 형성되는 제 1 온도 측정 장치;상기 가열 장치에 의해서 상기 배관 내부에서 가열된 상기 매체의 유속에 따른 온도 분포를 측정할 수 있도록, 상기 가열 장치를 기준으로 상기 제 1 온도 측정 장치보다 후방인 제 2 위치에 형성되는 제 2 온도 측정 장치; 및상기 매체의 흐름으로 인하여 발생되는 상기 제 1 온도 측정 장치에서 측정된 제 1 측정 데이터 및 상기 제 2 온도 측정 장치로부터 측정된 제 2 측정 데이터의 위상 차이를 통하여 상기 배관을 흐르는 상기 매체의 유량을 산출하는 제어부; 를 포함하는, 열식 질량 유량계
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제 1 항에 있어서,상기 제어부는,상기 매체가 가열되는 정도를 시간에 따라 변화하도록, 상기 가열 장치의 파워를 변조하는 가열 장치 변조부;를 포함하는, 열식 질량 유량계
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제 1 항에 있어서,상기 가열 장치는,상기 배관 내부의 상기 매체를 국부적으로 가열할 수 있도록 레이저를 발산하는 레이저 발산 장치;를 포함하는, 열식 질량 유량계
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4
제 1 항에 있어서,상기 제 1 온도 측정 장치는,상기 제 1 위치에 설치되어 상기 배관 내부의 상기 매체에 제 1 적외선 광을 조사하는 제 1 적외선 발광부; 및상기 배관을 기준으로 상기 제 1 적외선 발광부와 대향되게 설치되어, 상기 매체를 통과한 상기 제 1 적외선 광을 센싱하는 제 1 적외선 수광부;를 포함하는, 열식 질량 유량계
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5
제 4 항에 있어서,상기 제 2 온도 측정 장치는,상기 제 2 위치에 설치되어 상기 배관 내부의 상기 매체에 제 2 적외선 광을 조사하는 제 2 적외선 발광부; 및상기 배관을 기준으로 상기 제 2 적외선 발광부와 대향되게 설치되어, 상기 매체를 통과한 상기 제 2 적외선 광을 센싱하는 제 2 적외선 수광부;를 포함하는, 열식 질량 유량계
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6
제 5 항에 있어서,상기 배관은,상기 제 1 적외선 발광부에서 발산되는 상기 제 1 적외선 광 및 상기 제 2 적외선 발광부에서 발산되는 상기 제 2 적외선 광이 통과할 수 있도록, 적어도 일부가 투명한 폴리머 재질의 튜브인, 열식 질량 유량계
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7
제 1 항에 있어서,상기 가열 장치는,상기 배관의 일측을 둘러싸는 반링 형상으로 형성되어 열저항으로 상기 배관을 국부적으로 가열하는 제 1 히터부; 및상기 배관의 타측을 둘러싸는 반링 형상으로 상기 제 1 히터부와 대향되게 형성되어 열저항으로 상기 배관을 국부적으로 가열하는 제 2 히터부;를 더 포함하는, 열식 질량 유량계
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8
제 1 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 배관의 적어도 일부분을 고정하는 제 1 수용홈부가 형성되는 제 1 몸체; 및상기 배관의 다른 부분을 수용하여 고정하는 제 2 수용홈부가 형성되고, 상기 제 1 몸체와 결합되어 상기 배관을 둘러싸도록 형성되는 제 2 몸체;를 더 포함하는, 열식 질량 유량계
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9
제 8 항에 있어서,상기 제 1 적외선 발광부 및 상기 제 2 적외선 발광부는 상기 제 2 수용홈부의 일측에 설치되고, 상기 제 1 적외선 수광부 및 상기 제 2 적외선 수광부는 상기 제 1 적외선 발광부 및 상기 제 2 적외선 발광부와 대향되도록 상기 제 2 수용홈부의 타측에 설치되는, 열식 질량 유량계
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10
제 8 항에 있어서,상기 제 1 히터부는 상기 제 2 수용홈부의 일측에 설치되고, 상기 제 2 히터부는 상기 제 1 히터부와 대향되도록 상기 제 2 수용홈부의 타측에 설치되는, 열식 질량 유량계
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11
제 8 항에 있어서,상기 제 1 몸체 및 상기 제 2 몸체 중 어느 하나의 적어도 일부분에 자성체가 형성되고,상기 제 1 몸체 및 상기 제 2 몸체 중 다른 하나의 적어도 일부분에 접합부가 형성되고,상기 자성체가 상기 접합부에 접합하여 상기 제 1 몸체와 상기 제 2 몸체가 결합되는, 열식 질량 유량계
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