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광학 부품을 장착하는 구조;상기 광학 부품의 열을 방출시키는 열전 소자를 장착하는 구조; 및상기 광학 부품에서 열전 소자로의 열 전달을 촉진하는 수단을 포함하는,온도 안정화 홀더
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제 1 항에 있어서,상기 열전 소자를 장착하는 구조는,사각 프레임 형상을 하고,상기 사각 프레임 내측에 형성된 열전 소자 안착 홈을 포함하는,온도 안정화 홀더
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제 1 항에 있어서,상기 열 전달을 촉진하는 수단은,상기 광학 부품을 커버하는 열 전달 소자를 포함하되,상기 광학 부품을 장착하는 구조는,상기 열 전달 소자로 커버된 광학 부품을 장착하는,온도 안정화 홀더
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제 3 항에 있어서,상기 열 전달 소자는,금속 재질의 박을 포함하는,온도 안정화 홀더
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제 3 항에 있어서,상기 열 전달 소자는,상기 광학 부품의 면들 중에서 광이 지나는 두 개의 면을 제외한 나머지 면을 커버하는,온도 안정화 홀더
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제 1 항에 있어서,광축정렬 스테이지와 결합하는 홀딩부를 더 포함하는,온도 안정화 홀더
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제 1 항에 있어서,상기 열전 소자를 장착하는 구조는,상기 광학 부품의 적어도 하나의 면과 상기 열전 소자가 접하도록 상기 광학 부품의 하부에 배치되는,온도 안정화 홀더
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제 1 항에 있어서,상기 광학 부품의 온도 측정 장치를 유도하는 온도측정 가이드를 더 포함하는,온도 안정화 홀더
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제 8 항에 있어서,상기 온도측정 가이드는,홀더 결합부; 및전선 가이드를 포함하는,온도 안정화 홀더
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제 9 항에 있어서,상기 홀더 결합부는,상기 온도 안정화 홀더에 체결 및 분리되는, 온도 안정화 홀더
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제 9 항에 있어서,상기 전선 가이드는,상기 광학 부품의 온도 측정에 필요한 전선이 상기 광학 부품의 상부에 위치하도록 유도하는 것을 특징으로 하는,온도 안정화 홀더
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전열 개선 수단을 이용하여 광학 부품을 커버하는 단계;온도 안정화 홀더에 상가 광학 부품과 열전 소자를 장착하는 단계;상기 온도 안정화 홀더를 광축정렬 스테이지에 결합하는 단계를 포함하는,광학 부품 온도 안정화 방법
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제 12 항에 있어서,상기 광학 부품과 열전 소자를 장착하는 단계는,상기 온도 안정화 홀더에 상기 광학 부품을 고정하는 단계; 및상기 전열 개선 도구로 커버된 광학 부품과 열전 소자가 접촉하도록 상기 온도 안정화 홀더에 상기 열전 소자를 고정하는 단계를 포함하는,광학 부품 온도 안정화 방법
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제 13 항에 있어서,상기 열전 소자를 고정하는 단계는,상기 열전 소자와 상기 온도 안정화 홀더의 접촉면을 최소화하는 단계를 포함하는,광학 부품 온도 안정화 방법
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제 12 항에 있어서,상기 광학 부품을 커버하는 단계는,금속 재질의 박을 이용하여 상기 광학 부품을 커버하는 단계를 포함하는,광학 부품 온도 안정화 방법
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제 12 항에 있어서,상기 광학 부품을 커버하는 단계는,상기 광학 부품의 면들 중에서 광이 지나는 두 개의 면을 제외한 나머지 면을 커버하는 단계를 포함하는,광학 부품 온도 안정화 방법
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제 12 항에 있어서,상가 광학 부품과 열전 소자를 장착하는 단계는,상기 광학 부품의 적어도 하나의 면과 상기 열전 소자가 접하도록 상기 광학 부품의 하부에 상기 열전 소자를 배치하는 단계를 포함하는,광학 부품 온도 안정화 방법
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제 12 항에 있어서,상기 광학 부품의 온도를 제어 및 측정하는 단계를 더 포함하는,광학 부품 온도 안정화 방법
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제 18 항에 있어서,상기 광학 부품의 온도를 제어 및 측정하는 단계는,열전 소자를 제어하는 단계 및;상기 광학 부품의 온도 측정에 필요한 전선이 상기 광학 부품의 상부에 위치하도록 유도하는 단계를 포함하는,광학 부품 온도 안정화 방법
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