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대상물의 일측에 복수개로 마련되며, 각각 상기 대상물을 향해 서로 다른 에너지 준위를 갖는 X-선을 조사하도록 마련된 조사부;상기 대상물의 타측에 마련되며, 상기 조사부로부터 조사되어 상기 대상물 내 타겟물체를 투과하거나 상기 타겟물체로부터 반사된 X-선을 수신하도록 마련된 수신부; 및상기 수신부가 수신한 X-선 신호를 분석하여 상기 타겟물체의 위치 및 성분을 도출하도록 마련된 분석부를 포함하는 것을 특징으로 하는 것을 특징으로 하는 X-선 에너지를 이용한 3차원 물질 분석장치
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제 1 항에 있어서,복수의 상기 조사부는 상기 대상물의 일측에 마련되되, 각각의 상기 조사부는 상기 대상물과 동일한 간격만큼 이격된 상태로 마련된 것을 특징으로 하는 X-선 에너지를 이용한 3차원 물질 분석장치
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제 1 항에 있어서,상기 수신부는 상기 대상물의 타측에 복수로 마련되며, 각각의 상기 수신부는 상기 대상물과 동일한 간격만큼 이격된 상태로 마련된 것을 특징으로 하는 X-선 에너지를 이용한 3차원 물질 분석장치
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제 1 항에 있어서,상기 수신부는 상기 대상물의 타측에 마련되되, 상기 대상물을 중심축으로 한 반원 형태의 곡면으로 이루어진 것을 특징으로 하는 X-선 에너지를 이용한 3차원 물질 분석장치
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제 1 항에 있어서,상기 분석부는,상기 타겟물체에 X-선이 충돌하여 발생한 신호를 처음으로 감지한 시간을 측정 및 분석하여, 상기 대상물 내에서의 상기 타겟물체의 위치를 도출하도록 마련된 것을 특징으로 하는 X-선 에너지를 이용한 3차원 물질 분석장치
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제 5 항에 있어서,상기 분석부는,복수의 상기 수신부가 각각 상기 신호를 처음으로 감지한 개시시간들을 비교 분석하여 상기 타겟물체의 위치를 도출하도록 마련된 것을 특징으로 하는 X-선 에너지를 이용한 3차원 물질 분석장치
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제 1 항에 있어서,상기 분석부는, 복수의 상기 수신부가 각각 상기 신호를 처음으로 감지한 개시시간부터 상기 신호의 수신이 종료되는 시간까지 흡광광도분석법을 통해 상기 타겟물체의 성분을 측정하도록 마련된 것을 특징으로 하는 X-선 에너지를 이용한 3차원 물질 분석장치
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제 1 항에 있어서,상기 대상물과 상기 수신부 사이에 위치하도록 마련된 복수의 필터부를 더 포함하며,복수의 상기 필터부는 서로 다른 파장을 투과시키도록 마련된 필터인 것을 특징으로 하는 X-선 에너지를 이용한 3차원 물질 분석장치
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제 8 항에 있어서,상기 분석부는,상기 필터부를 통과하여 상기 수신부에 수신된 X-선 신호에서, 에너지 준위 별로 회절 각도를 측정하여 상기 타겟 물질의 성분을 도출할 수 있도록 마련된 것을 특징으로 하는 X-선 에너지를 이용한 3차원 물질 분석장치
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제 1 항에 따른 X-선 에너지를 이용한 3차원 물질 분석장치의 분석방법에 있어서,a) 상기 조사부가 상기 대상물을 향해 X-선을 조사하는 단계;b) 상기 수신부가 상기 대상물 내 상기 타겟물체를 투과하거나 상기 타겟물체로부터 반사된 X-선을 수신하는 단계; 및c) 상기 분석부가 상기 수신된 X-선 신호를 분석하여 상기 타겟물체의 위치 및 성분을 도출하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 X-선 에너지를 이용한 3차원 물질 분석장치의 분석방법
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제 10 항에 있어서,상기 c) 단계는,c1) 복수의 상기 수신부가 각각 상기 신호를 처음 감지한 개시시간들을 비교 분석하여 상기 대상물 내 상기 타겟 검출물의 위치를 도출하는 단계; 및c2) 에너지 준위별로 상기 신호를 처음으로 감지한 개시시간부터 상기 신호의 수신이 종료된 시간까지 흡광광도 분석법을 통해 상기 타겟물체의 성분을 도출하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 X-선 에너지를 이용한 3차원 물질 분석장치의 분석방법
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제 11 항에 있어서,상기 c2) 단계에서,상기 에너지 준위 별로 X-선의 회절 각도를 더 측정하여 상기 타겟 물질의 성분을 도출하도록 마련된 것을 특징으로 하는 X-선 에너지를 이용한 3차원 물질 분석장치의 분석방법
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