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고해상도 OLED 패턴 형성을 위한 도너기판의 제조방법, 도너기판 및 고해상도 OLED 패턴 형성방법

  • 기술번호 : KST2022003582
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 상부에 광열변환층이 형성된 베이스기판을 제공하는 단계; 상기 광열변환층의 상부에 복수개의 뱅크 및 상기 광열변환층의 상부를 노출시키는 마이크로 채널을 포함하는 패턴층을 형성하는 단계; 상기 광열변환층 및 패턴층이 형성된 기판을 제 1 피라냐 용액에 침지하여 세정하는 단계; 상기 세정된 기판을 OTS를 포함하는 용액에 침지하여 상기 뱅크 표면 및 마이크로 채널에서 노출된 상기 광열변환층의 상부에 자기조립 단분자막을 형성하는 단계; 및 상기 자기조립 단분자막이 형성된 기판을 제 2 피라냐 용액에 침지하여 상기 마이크로 채널에서 노출된 상기 광열변환층의 상부에 형성된 자기조립 단분자막을 제거하는 단계;를 포함하는 고해상도 OLED 패턴 형성을 위한 도너기판의 제조방법을 제공한다.
Int. CL H01L 51/56 (2006.01.01) H01L 51/00 (2006.01.01)
CPC H01L 51/56(2013.01) H01L 51/0005(2013.01) H01L 51/003(2013.01) H01L 51/0013(2013.01) H01L 2251/56(2013.01)
출원번호/일자 1020200126010 (2020.09.28)
출원인 한국생산기술연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2022-0043963 (2022.04.06) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 국내출원/신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2020.09.28)
심사청구항수 12

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 대한민국 충청남도 천안시 서북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 조관현 경기도 수원시 권선구
2 조한철 부산광역시 강서구
3 이호년 인천 남구
4 정용철 경기도 수원시 영통구
5 박영민 경기도 성남시 분당구
6 강경태 서울시 서초구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 한상수 대한민국 서울시 서초구 효령로**길 ** *층 (브릿지웰빌딩)(에이치앤피국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2020.09.28 수리 (Accepted) 1-1-2020-1033030-39
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2020.12.14 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2021.02.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2021-0035952-82
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2021.11.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2021-0915611-57
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서
2022.01.24 수리 (Accepted) 1-1-2022-0083932-58
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2022.01.24 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2022-0083919-64
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
상부에 광열변환층이 형성된 베이스기판을 제공하는 단계;상기 광열변환층의 상부에 복수개의 뱅크 및 상기 광열변환층의 상부를 노출시키는 마이크로 채널을 포함하는 패턴층을 형성하는 단계; 상기 광열변환층 및 패턴층이 형성된 기판을 제 1 피라냐 용액에 침지하여 세정하는 단계;상기 세정된 기판을 OTS를 포함하는 용액에 침지하여 상기 뱅크 표면 및 마이크로 채널에서 노출된 상기 광열변환층의 상부에 자기조립 단분자막을 형성하는 단계; 및상기 자기조립 단분자막이 형성된 기판을 제 2 피라냐 용액에 침지하여 상기 마이크로 채널에서 노출된 상기 광열변환층의 상부에 형성된 자기조립 단분자막을 제거하는 단계;를 포함하는 고해상도 OLED 패턴 형성을 위한 도너기판의 제조방법
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 복수개의 뱅크의 표면은 소수성이고, 상기 마이크로 채널에서 노출되는 상기 광열변환층의 상부는 친수성인 것을 특징으로 하는 고해상도 OLED 패턴 형성을 위한 도너기판의 제조방법
3 3
제 1 항에 있어서, 상기 패턴층을 형성하는 단계에서, 형성되는 뱅크는 산화 규소, 질화 규소, 산질화 규소, 산화 알루미늄, 산화 아연, 및 산화 인듐 주석으로 구성된 군으로부터 선택된 적어도 하나의 물질을 포함하는 것을 특징으로 하는 고해상도 OLED 패턴 형성을 위한 도너기판의 제조방법
4 4
제 1 항에 있어서, 상기 패턴층을 형성하는 단계에서, 형성되는 마이크로 채널의 높이는 0
5 5
제 1 항에 있어서, 상기 패턴층을 형성하는 단계에서, 형성되는 마이크로 채널의 폭은 1 μm 내지 300 μm인 것을 특징으로 하는 고해상도 OLED 패턴 형성을 위한 도너기판의 제조방법
6 6
제 1 항에 있어서, 상기 제 1 피라냐 용액 또는 제 2 피라냐 용액은, 황산 및 과산화수소가 혼합된 혼합용액인 것을 특징으로 하는 고해상도 OLED 패턴 형성을 위한 도너기판의 제조방법
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제 1 항에 있어서, 상기 광열변환층은 400 nm 내지 1000 nm 범위의 광을 흡수하여, 열로 변환하는 것을 특징으로 하는 고해상도 OLED 패턴 형성을 위한 도너기판의 제조방법
8 8
제 1 항에 있어서, 상기 광열변환층은, 제 1 금속층; 상기 제 1 금속층 상에 위치하는 버퍼층; 및 상기 버퍼층 상에 위치하는 제 2 금속층; 을 포함하는 것을 특징으로 하는 고해상도 OLED 패턴 형성을 위한 도너 기판의 제조방법
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제 8 항에 있어서, 상기 제 1 금속층 또는 제 2 금속층은 몰리브덴(Mo), 크롬(Cr), 티탄(Ti), 주석(Sn), 텅스텐(W), 이리듐(Ir), 코발트(Co), 니켈(Ni) 및 이들 중 하나 이상의 금속을 포함하는 합금 중 어느 하나로 구성되는 것을 특징으로 하는 고해상도 OLED 패턴 형성을 위한 도너 기판의 제조방법
10 10
제 8 항에 있어서,상기 버퍼층은 산화 규소, 질화 규소, 산질화 규소, 산화 알루미늄, 산화 아연, 및 산화 인듐 주석으로 구성된 군으로부터 선택된 적어도 하나의 물질을 포함하는 것을 특징으로 하는 고해상도 OLED 패턴 형성을 위한 도너 기판의 제조방법
11 11
제 1 항의 제조방법으로 제조된 고해상도 OLED 패턴 형성을 위한 도너기판
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제 11 항의 도너기판의 마이크로 채널 내에 발광잉크가 주입되도록 상기 도너기판의 상부에 발광잉크를 적하하는 단계; 상기 마이크로 채널 내에 발광잉크가 주입된 도너기판을 타겟기판으로 덮는 단계; 및상기 도너기판의 타겟기판이 덮인 면의 반대면에 IPL을 조사하여 상기 마이크로 채널 내에 주입된 상기 발광잉크를 상기 타겟기판에 전사하는 단계; 를 포함하는 고해상도 OLED 패턴 형성 방법
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제 12 항에 있어서,상기 발광잉크를 적하하는 단계에서, 상기 도너기판의 복수개의 뱅크 표면에 적하된 발광잉크는 모세관력에 의해 상기 마이크로 채널로 이동되어 상기 마이크로 채널 내에 안착하는 것을 특징으로 하는 고해상도 OLED 패턴 형성방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 기획재정부 한국생산기술연구원 생산기술산업선도핵심기술개발 [뿌리-대표]제품생산 유연성 확보를 위한 뿌리공정기술 개발(1/6)