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레이저 직접노광법과 후면 자동초점조절을 이용한 3D회절광학소자 제조장치

  • 기술번호 : KST2022003698
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 레이저 직접노광법과 후면 자동초점조절을 이용한 3D회절광학소자 제조장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 기판에 감광막이 코팅된 시편에서, 상기 감광막에 레이저 빔을 조사하여 회절광학소자를 제조하기 위한 장치에 있어서, 특정폭을 갖는 레이저 빔을 발생시키는 레이저발생부와, 상기 레이저 빔을 투과시켜 상기 감광막으로 상기 레이저 빔을 조사하는 노광렌즈를 갖는 레이저 노광장치; 본체와, 상기 본체 상부에 구비되며 상기 시편이 장착되는 마운트를 갖는 시편고정지그; 및 상기 마운트 하부, 상기 본체 내에 설치되고 상기 레이저 노광장치의 광축 상에 위치되며, 상기 감광막의 바닥면 위치정보를 측정하는 변위센서와, 상기 변위센서에서 측정된 위치정보를 기반으로 상기 레이저 노광장치의 초점을 조절하는 제어부를 갖는 후면자동초점시스템;을 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 직접노광법과 후면 자동초점조절을 이용한 3D회절광학소자 제조장치에 관한 것이다.
Int. CL G02B 5/18 (2006.01.01) G03F 7/20 (2006.01.01) G03F 9/00 (2006.01.01)
CPC G02B 5/1857(2013.01) G02B 5/1814(2013.01) G03F 7/2053(2013.01) G03F 9/7026(2013.01)
출원번호/일자 1020200126076 (2020.09.28)
출원인 한국표준과학연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2022-0043967 (2022.04.06) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 국내출원/신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2020.09.28)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이혁교 대전시광역시 유성구
2 김영식 세종특별자치시 마음로 *
3 김영광 세종특별자치시 반곡로*

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 아이퍼스 대한민국 서울특별시 강남구 삼성로**길*, *층(대치동 삼성빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2020.09.28 수리 (Accepted) 1-1-2020-1033512-34
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2021.12.15 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2022.02.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2022-0041859-64
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2022.03.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2022-0205226-18
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판에 감광막이 코팅된 시편에서, 상기 감광막에 레이저 빔을 노광하여 회절광학소자를 제조하기 위한 장치에 있어서, 특정폭을 갖는 레이저 빔을 발생시키는 레이저발생부와, 상기 레이저 빔을 투과시켜 상기 감광막으로 상기 레이저 빔을 조사하는 노광렌즈를 갖는 레이저 노광장치; 본체와, 상기 본체 상부에 구비되어 상기 시편이 장착되는 마운트를 갖는 시편고정지그; 및상기 마운트 하부, 상기 본체 내에 설치되고 상기 레이저 노광장치의 광축 상에 위치되며, 상기 감광막의 바닥면 위치정보를 측정하는 변위센서와, 상기 변위센서에서 측정된 위치정보를 기반으로 상기 레이저 노광장치의 초점을 조절하는 제어부를 갖는 후면자동초점시스템;을 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 직접노광법과 후면 자동초점조절을 이용한 3D회절광학소자 제조장치
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제 1항에 있어서, 상기 시편은 경사면 또는 곡면으로 구성되는 것을 특징으로 하는 레이저 직접노광법과 후면 자동초점조절을 이용한 3D회절광학소자 제조장치
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제 2항에 있어서, 상기 레이저 노광장치를 광축인 Z축상으로 구동시키는 초점조절구동부와, 상기 초점조절구동부와 연동되어 상기 후면자동초점시스템을 Z축상으로 이동시키는 구동스테이지를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 직접노광법과 후면 자동초점조절을 이용한 3D회절광학소자 제조장치
4 4
제 3항에 있어서, 상기 제어부는 상기 위치정보를 기반으로 상기 초점조절구동부 또는 상기 구동스테이지의 구동을 제어하여 상기 레이저빔의 초점을 조절하는 것을 특징으로 하는 레이저 직접노광법과 후면 자동초점조절을 이용한 3D회절광학소자 제조장치
5 5
제 4항에 있어서, 상기 제어부는, 상기 레이저 노광장치를 상기 Z축과 수직인 평면방향으로 이동시키는 이동수단 및 상기 시편이 고정된 마운트를 상기 평면방향으로 구동시키는 지그스테이지 중 적어도 어느 하나의 구동을 제어하는 것을 특징으로 하는 레이저 직접노광법과 후면 자동초점조절을 이용한 3D회절광학소자 제조장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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1 과학기술정보통신부 한국표준과학연구원 기관고유사업 3-1-04 차세대 광영상 측정장비 기술 고도화