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전원으로부터 공급되는 전력을 분배하는 전력 분배기와,질량 유량 제어기로부터 공급되는 가스를 분배하는 가스 분배기와, 상기 전력 분배기로부터 제1 전력을 인가 받고 상기 가스 분배기로부터 제1 가스량을 공급 받아 제1 플라즈마 제트를 발생시키는 제1 플라즈마 제트 발생기와,상기 전력 분배기로부터 제2 전력을 인가 받고 상기 가스 분배기로부터 제2 가스량을 공급 받아 제2 플라즈마 제트를 발생시키는 제2 플라즈마 제트 발생기를 포함하는 플라즈마 제트 생성 시스템
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제1항에 있어서,상기 전력 분배기는 전원과 접속하는 제1 포트, 상기 제1 플라즈마 제트 발생기와 접속하는 제2 포트 및 상기 제2 플라즈마 제트 발생기와 접속하는 제3 포트가 마이크로스트립 선로에 의해 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 플라즈마 제트 생성 시스템
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제1항에 있어서,상기 제1 플라즈마 제트 발생기 및 상기 제2 플라즈마 제트 발생기는 각각 내부로 가스가 인입되고 내부에 설치된 도체에 전력이 공급되면서 플라즈마 제트를 생성시키는 동축관으로 구성된 것을 특징으로 하는 플라즈마 제트 생성 시스템
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동축관과, 상기 동축관의 일단에 설치되어 가스튜브와 연결되는 가스 인입부와,상기 동축관의 측면에 설치되어 전력 케이블과 접속되는 커넥터와,상기 동축관의 내부에 설치되는 도체와, 상기 도체와 연결되고 상기 커넥터에 접속되어 상기 전력 케이블을 통해 공급되는 전력을 상기 도체로 전달하는 급전부를 포함하는 플라즈마 제트 발생기가 복수 개 설치되고,상기 복수의 플라즈마 제트 발생기에 연결된 각각의 가스튜브가 가스 분배기에 연결되고, 상기 복수의 플라즈마 제트 발생기에 접속된 각각의 전력 케이블이 전력 분배기에 접속되어 있는 것을 특징으로 하는 플라즈마 제트 발생 시스템
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전력 분배기로부터 제1 전력을 인가 받고 가스 분배기로부터 제1 가스량을 공급 받아 제1 플라즈마 제트를 발생시키는 제1 플라즈마 제트 발생기와,상기 전력 분배기로부터 제2 전력을 인가 받고 상기 가스 분배기로부터 제2 가스량을 공급 받아 제2 플라즈마 제트를 발생시키는 제2 플라즈마 제트 발생기를 포함하여, 상기 제1 플라즈마 제트 발생기와 상기 제2 플라즈마 제트 발생기는 각각 고정부재에 의해 지지대에 설치되고, 상기 지지대에 설치되는 고정부재 간의 간격을 조정하여 상기 제1 플라즈마 제트 발생기와 상기 제2 플라즈마 제트 발생기 간의 거리를 조정하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 제트 발생 시스템
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제5항에 있어서,상기 고정부재는 상기 지지대에 설치되는 제1 고정부재와 상기 제1 고정부재에 고정 설치되는 제2 고정부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 제트 발생 시스템
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동축관과, 상기 동축관의 일단에 설치되어 가스튜브와 연결되는 가스 인입부와,상기 동축관의 측면에 설치되어 전력 케이블과 접속되는 커넥터와,상기 동축관의 내부에 설치되는 도체와, 상기 도체와 연결되고 상기 커넥터에 접속되어 상기 전력 케이블을 통해 공급되는 전력을 상기 도체로 전달하는 급전부를 포함하는 플라즈마 제트 발생기가 고정 부재에 의해 지지대에 복수 개 설치되고,상기 복수의 플라즈마 제트 발생기에 연결된 각각의 가스튜브가 가스 분배기에 연결되고, 상기 복수의 플라즈마 제트 발생기에 접속된 각각의 전력 케이블이 전력 분배기에 접속되어 있는 것을 특징으로 하는 플라즈마 제트 발생 시스템
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제7항에 있어서,상기 고정부재는 상기 지지대에 설치되는 제1 고정부재와 상기 제1 고정부재에 고정 설치되는 제2 고정부재를 포함하여,상기 제1 고정부재 간의 간격을 조정하여 상기 복수의 플라즈마 제트 발생기 간의 거리를 조정하고, 상기 제2 고정부재에는 상기 전력 케이블이 고정되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 제트 발생 시스템
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