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장수명 프로브카드 니들 탐침

  • 기술번호 : KST2022004051
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 Ta-C(Tetrahedral Amorphous Carbon)로 코팅한 프로브카드 니들 탐침 및 이의 제조방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 니들 표면에 TaC 코팅을 실시하여 마찰 저항을 낮추고 표면경도 높여 수백회 이상에도 탐침의 원형이 잘 유지 될 수 있도록 하고 접촉에 의한 부스러기 등의 발생을 줄여 탐침을 오래 사용할 수 있도록 한 장수명 프로브카드 니들 탐침 및 이의 제조방법에 관한 것이다.
Int. CL G01R 1/067 (2006.01.01) G01R 3/00 (2006.01.01) G01R 31/28 (2006.01.01)
CPC G01R 1/06755(2013.01) G01R 1/0675(2013.01) G01R 3/00(2013.01) G01R 31/2886(2013.01) G01R 31/2896(2013.01)
출원번호/일자 1020200131332 (2020.10.12)
출원인 한국생산기술연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2022-0048520 (2022.04.20) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 국내출원/신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2020.10.12)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 대한민국 충청남도 천안시 서북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 송신애 서울특별시 서초구
2 김기영 경기도 부천시 원미구
3 임성남 경기도 안산시 단원구
4 우주영 경기도 군포시 번영로 *** (

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 노경규 대한민국 서울시 서초구 반포대로**길 ** 매강빌딩 *층(에이치앤에이치국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2020.10.12 수리 (Accepted) 1-1-2020-1074693-84
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2021.06.17 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2021.08.06 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2022-0022852-55
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2022.02.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2022-0147911-25
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서
 2022.03.16 수리 (Accepted) 1-1-2022-0281434-11
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2022.03.16 1-1-2022-0281451-98
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번호 청구항
1 1
프로브카드 니들의 표면에 사면체 비결정질 탄소(Tetrahedral Amorphous Carbon; Ta-C) 막이 형성되어 있는 프로브카드 니들
2 2
제1항에 있어서,상기 프로브카드 니들은 텅스텐, 텅스텐-레늄, 구리-베릴륨 및 팔라듐으로 구성된 군으로부터 선택된 어느 하나로 구성되는 것을 특징으로 하는 프로브카드 니들
3 3
제1항에 있어서,상기 Ta-C 막은 0
4 4
제1항에 있어서,상기 Ta-C 막은 경도 25 ~ 40 GPa 및 마찰계수 0
5 5
제1항의 프로브카드 니들을 포함하는 프로브카드
6 6
프로브카드 니들의 표면에 사면체 비결정질 탄소(Tetrahedral Amorphous Carbon; Ta-C)을 코팅하여 Ta-C 막을 형성하는 단계를 포함하는 프로브카드 니들의 제조방법
7 7
제6항에 있어서,상기 Ta-C 막은 0
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 기획재정부 한국생산기술연구원 기업수요기반생산기술실용화사업Ⅲ(타깃형) 주문형 비메모리 반도체 웨이퍼칩 검사용 고성능 카드 제조 기술 개발