| 1 |
1
기판과, 상기 기판과 대면하는 타겟과, 상기 타겟이 상기 기판상에 증착되도록 스퍼터링 공정이 일어나는 챔버를 포함하는 스퍼터링 본체;상기 스퍼터링 본체의 타겟에 네트워크로 연결되어 RF 파워를 인가하는 전원공급부;상기 스퍼터링 본체의 챔버 내부에 진공을 형성하는 러핑펌프부; 및상기 챔버 내부로 반응가스를 공급하는 가스공급부;를 포함하며,상기 전원공급부로 전원을 공급하는 파워케이블은 단결정 구리 와이어로 형성되는, 박막의 원자층 제어를 위한 RF 스퍼터링 장치
|
| 2 |
2
청구항 제1항에 있어서,상기 스퍼터링 본체의 타겟은 초크랄스키법 또는 브릿지만법으로 육성한 원통 형상의 단결정 금속을 절단하여 단결정 타겟으로 형성되는, 박막의 원자층 제어를 위한 RF 스퍼터링 장치
|
| 3 |
3
청구항 제1항에 있어서,상기 전원공급부의 RF 파워를 상기 스퍼터링 본체로 전달하는 네트워크는 단결정 구리 와이어로 형성되는, 박막의 원자층 제어를 위한 RF 스퍼터링 장치
|
| 4 |
4
청구항 제1항에 있어서,상기 전원공급부에 접지되는 옥외접지부는 초크랄스키법 또는 브릿지만법으로 육성한 원통 형상의 단결정 구리을 절단한 단결정 구리 벌크로 형성되는, 박막의 원자층 제어를 위한 RF 스퍼터링 장치
|
| 5 |
5
청구항 제1항에 있어서,상기 스퍼터링 본체는, 바닥으로부터 진동이 전달되지 않도록, 진동차단부에 의해 밑면의 각 모서리가 지지되되,상기 진동차단부는,상기 스퍼터링 본체의 밑면에 부착되어 상기 스퍼터링 본체를 지지하되, 상기 바닥으로 갈수록 날카로운 뿔형태인 스파이크; 및상기 바닥 위에 안착되고, 상기 스파이크의 첨두가 수용되는 삽입홈이 상면에 형성되어, 상기 스파이크의 평면적 위치만을 고정하는 슈즈;을 포함하는, 박막의 원자층 제어를 위한 RF 스퍼터링 장치
|
| 6 |
6
청구항 제1항에 있어서,상기 러핑펌프부는 상기 스퍼터링 본체와 물리적으로 분리되어, 상기 챔버와 고무재질의 연결 호스로 연결되고,상기 연결 호스는 바닥과 연결되는 벽면에 중심이 고정되는, 박막의 원자층 제어를 위한 RF 스퍼터링 장치
|
| 7 |
7
청구항 제6항에 있어서,상기 러핑펌프부는, 바닥으로부터 진동이 전달되지 않도록, 진동차단부에 의해 밑면의 각 모서리가 지지되되,상기 진동차단부는,상기 러핑펌프부의 밑면에 부착되어 상기 러핑펌프부를 지지하되, 상기 바닥으로 갈수록 날카로운 뿔형태인 스파이크; 및상기 바닥 위에 안착되고, 상기 스파이크의 첨두가 수용되는 삽입홈이 상면에 형성되어, 상기 스파이크의 평면적 위치만을 고정하는 슈즈;을 포함하는, 박막의 원자층 제어를 위한 RF 스퍼터링 장치
|
