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열처리 장치에 있어서,진공 챔버; 및상기 진공 챔버의 일단에 결합되는, 피처리물을 수용하는 챔버 뚜껑(Cap)을 포함하되,상기 챔버 뚜껑은,결합 수단을 통해 상기 진공 챔버에 결합 및 분리되는 과정을 통해 상기 피처리물의 수용 및 배출을 용이하게 하는,진공 열처리 장치
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열처리 장치에 있어서,진공 상태를 형성하는 진공 챔버; 및상기 진공 챔버의 개폐에 사용되는 챔버 뚜껑(Cap)을 포함하되,상기 챔버 뚜껑은,내면에 열처리 대상인 피처리물이 수용되는 구조를 포함하도록 구성되는,진공 열처리 장치
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청구항 2에서,상기 챔버 뚜껑은,상기 진공 플랜지를 포함하도록 구성되는,진공 열처리 장치
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청구항 2에서,상기 챔버 뚜껑은,CF(ConFlat) 타입의 진공 플랜지를 포함하도록 구성되는,진공 열처리 장치
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청구항 2에서,상기 진공 챔버는,진공 펌프와 연결된 펌핑 포트(Pumping port)를 통해 진공 상태를 형성하는,진공 열처리 장치
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청구항 2에 있어서,상기 챔버 뚜껑은,피드스루(feedthrough)를 통해 외면에 형성된 열전대를 포함하도록 구성되는,진공 열처리 장치
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청구항 6에 있어서,상기 열전대는,상기 진공 챔버 내의 온도 측정에 사용되는,진공 열처리 장치
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청구항 2에 있어서,상기 챔버 뚜껑은,상기 피처리물이 수용되는 구조로서 피처리물을 고정시키는 고정대를 포함하도록 구성되는,진공 열처리 장치
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청구항 2에 있어서,상기 고정대는,비정질 연자성체 시트를 고정하는 용도로 사용될 수 있는,진공 열처리 장치
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청구항 2에 있어서,상기 챔버 뚜껑은,상기 진공 챔버와 체결/분리에 사용되는 개스킷을 더 포함하도록 구성되는,진공 열처리 장치
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청구항 2에 있어서,상기 챔버 뚜껑은,상기 진공 챔버의 상단에서 수직 방향으로 체결/분리되도록 구성되는,진공 열처리 장치
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청구항 2에 있어서,상기 진공 챔버는,상기 피처리물이 수용되는 구조 하부에 피처리물의 열처리를 위한 히터를 더 포함하도록 구성되는,진공 열처리 장치
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청구항 2에 있어서,상기 진공 챔버의 외부에 설치되는 방열 팬을 더 포함하도록 구성되는,진공 열처리 장치
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열처리 장치 제조 방법에 있어서,피처리물 수용 가능한 크기의 진공 챔버를 마련하는 단계; 및상기 진공 챔버의 개폐에 사용되는 챔버 뚜껑(Cap)에 피처리물의 수용 가능 구조를 부가하기 위해 챔버 뚜껑을 가공하는 단계를 포함하되,상기 챔버 뚜껑을 가공하는 단계는,플랜지를 이용하여 상기 챔버 뚜껑의 본체를 구성하는 단계; 및상기 플랜지의 내면에 피처리물의 수용 용도의 고정대를 설치하는 단계를 포함하도록 구성되는,진공 열처리 장치 제조 방법
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제 14 항에 있어서,상기 고정대를 설치하는 단계는,복수의 플레이트를 일정 간격으로 상기 챔버 뚜껑의 내면에 설치하는 단계; 및상기 플레이트에 피처리물 고정 용도의 고정 판을 설치하는 단계를 포함하도록 구성되는,진공 열처리 장치 제조 방법
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제 14 항에 있어서,상기 고정대를 설치하는 단계는,비정질 연자성체 시트의 열처리를 위해 열전도율이 높은 금속 재질의 고정대를 설치하는 단계를 포함하도록 구성되는,진공 열처리 장치 제조 방법
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제 14 항에 있어서,상기 진공 챔버 내의 온도 측정 수단을 설치하는 단계를 더 포함하도록 구성되는,진공 열처리 장치 제조 방법
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제 17 항에 있어서,상기 온도 측정 수단을 설치하는 단계는,상기 챔버 뚜껑의 내면과 외면을 관통하는 피드스루를 통해 열전대를 설치하는 단계를 포함하도록 구성되는,진공 열처리 장치 제조 방법
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제 14 항에 있어서,상기 진공 챔버의 외부에 방열 팬을 설치하는 단계를 더 포함하도록 구성되는,진공 열치리 장치 제조 방법
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