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광학계를 포함하는 광중합부;상기 광중합부로부터 조사되는 광에 의해 생성되는 구조물이 고착되고, 상기 구조물을 이송시키는 구조물 생성부; 및상기 구조물 생성부의 일측에 고착된 구조물을 절단하는 구조물 제거부;를 포함하는, 스테레오 리소 그래피 장치
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청구항 1에 있어서,상기 구조물 생성부는,수평방향으로 연장되는 이송부;일단이 상기 이송부와 연결되어 상기 수평방향으로 이동되며 수직방향으로 신축가능한 이송로드;상기 이송로드의 타측에 결합되는 기판; 및기 결정된 양의 액상원료를 수용할 수 있는 수용공간이 마련되고, 상기 이송로드가 신축됨에 따라 상기 기판이 상기 수용공간 내에 위치가능하되, 상기 기판과 비접촉되는 수용부;를 포함하고,상기 광중합부로부터 조사되는 광이 상기 수용부를 투과하여 상기 액상원료에 도달됨으로써 상기 액상원료가 고형화되어 상기 구조물로 상태변화하고, 상기 구조물은 상기 수용부를 대향하는 면에 고착되는, 스테레오 리소 그래피 장치
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청구항 2에 있어서,상기 구조물 제거부는,상기 기판에 고착된 상기 구조물의 일부를 절단하거나 상기 기판으로부터 분리하기 위해 상기 구조물을 절한하는 절단부;상기 절단부와 결합되고, 상기 구조물을 절단할 시에 상기 절단부를 지지하는 지지부;상기 지지부가 안착되는 바디부; 및상기 지지부와 탈착가능하고, 상기 기판으로부터 분리되어 낙하하는 상기 구조물이 수집되는 수집부;를 포함하는, 스테레오 리소 그래피 장치
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청구항 3에 있어서,상기 광중합부, 상기 구조물 생성부 및 상기 구조물 제거부 중 하나 이상을 제어하는 제어부를 포함하고,상기 제어부에 의해 상기 수평방향 및 상기 수직방향 상에서 기 결정된 원점을 기준으로 구동되는, 스테레오 리소 그래피 장치
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청구항 3에 있어서,상기 절단부는 상기 구조물을 절단하는 예단부를 포함하는 블레이드인, 스테레오 리소 그래피 장치
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청구항 3에 있어서,상기 절단부는,상기 지지부와 결합된 몸체;상기 몸체로부터 연장된 한 쌍의 연장부; 및상기 한 쌍의 연장부의 연장단부 간에 연결되고, 상기 구조물과 접촉되어 상기 구조물을 절단하는 세선 형태의 강선부;를 포함하는 프레임인, 스테레오 리소 그래피 장치
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청구항 3에 있어서,상기 구조물의 절단은 상기 기판 및 상기 절단부가 서로 인접한 상태에서 다른 방향으로 상대속도가 형성됨으로써 이루어지는, 스테레오 리소 그래피 장치
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청구항 7에 있어서,상기 구조물의 절단은 상기 절단부가 고정되고, 상기 기판이 수평방향으로 이동되며 이루어지는, 스테레오 리소 그래피 장치
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청구항 7에 있어서,상기 구조물 제거부는 상기 절단부를 이동시킬 수 있는 구동부를 더 포함하고,상기 구조물의 절단은 상기 구동부에 의해 상기 절단부가 상기 기판과 서로 교차되도록 이동되되 평행방향으로 이동되며 이루어지는, 스테레오 리소 그래피 장치
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청구항 7에 있어서,상기 구조물 제거부는 상기 절단부를 이동시킬 수 있는 구동부 및 상기 절단부를 틸팅시키는 틸팅부를 더 포함하고,상기 절단부는,상기 틸팅부에 의해 상기 기판과 각도이격되도록 배치된 상태에서 상기 구동부에 의해 상기 구조물을 향해 이동됨으로써, 상기 각도이격된 만큼 상기 구조물을 경사지게 절단하는, 스테레오 리소 그래피 장치
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청구항 7에 있어서,상기 구조물 제거부는 상기 절단부를 틸팅시키는 틸팅부를 더 포함하고,상기 기판은 상기 구조물이 상기 절단부에 의해 절단될 수 있도록 상기 틸팅부에 의해 각도이격된 각도에 대응되도록 상기 수평방향 및 상기 수직방향으로 이동되어 상기 절단부에 의해 상기 구조물이 경사지게 절단되도록 하는, 스테레오 리소 그래피 장치
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광학계를 포함하는 광중합부;상기 광중합부로부터 조사되는 광에 의해 생성되는 구조물이 고착되고, 상기 구조물을 이송시키는 구조물 생성부; 및상기 구조물 생성부의 일측에 고착된 구조물을 절단하는 구조물 제거부;를 포함하고,상기 구조물 생성부는,하나 이상의 수평방향으로 연장되는 이송부;일단이 상기 이송부와 연결되어 상기 수평방향으로 이동되며 수직방향으로 신축가능한 복수 개의 이송로드;상기 이송로드의 타측에 결합되는 기판; 및기 결정된 양의 액상원료를 수용할 수 있는 수용공간이 마련되고, 각각의 상기 이송로드가 신축됨에 따라 상기 기판이 상기 수용공간 내에 교번하여 위치가능하되, 상기 기판과 비접촉되는 수용부;를 포함하고,상기 광중합부로부터 조사되는 광이 상기 수용부를 투과하여 상기 액상원료에 도달됨으로써 상기 액상원료가 고형화되어 상기 구조물로 상태변화하고, 상기 구조물은 상기 수용부를 대향하는 면에 고착되는, 스테레오 리소 그래피 장치
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청구항 12에 있어서,상기 구조물 제거부는,상기 기판에 고착된 상기 구조물의 일부를 절단하거나 상기 기판으로부터 분리하기 위해 상기 구조물을 절한하는 절단부;상기 절단부와 결합되고, 상기 구조물을 절단할 시에 상기 절단부를 지지하는 지지부;상기 지지부가 안착되는 바디부; 및상기 지지부와 탈착가능하고, 상기 기판으로부터 분리되어 낙하하는 상기 구조물이 수집되는 수집부;를 포함하는, 스테레오 리소 그래피 장치
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광학계를 포함하는 광중합부; 상기 광중합부로부터 조사되는 광에 의해 생성되는 구조물이 고착되고, 상기 구조물을 이송시키는 구조물 생성부; 및 상기 구조물 생성부의 일측에 고착된 구조물을 절단하는 구조물 제거부;를 포함하는 스테레오 리소 그래피 장치의 구동방법에 있어서,상기 구조물 생성부가 기 결정된 원점의 상태로 세팅하는 원점 배치 단계;상기 원점으로부터 상기 구조물 생성부의 기판이 액상원료에 접촉되도록 하강하는 기판 하강 단계;상기 광중합부로부터 광이 상기 액상원료 측으로 조사되어 광중합이 수행되는 광중합 수행 단계;상기 광중합에 의해 상기 액상원료가 고형화되어 상기 기판에 고착된 상태에서 상기 기판이 상승되는 단계;상기 기판이 상기 구조물 제거부로 이동되는 단계; 및상기 구조물 제거부에 의해 상기 구조물이 절단되는 단계;를 반복수행하는 것을 하나의 싸이클로 구동되고, 상기 싸이클이 한 번 이상 수행되는, 스테레오 리소 그래피 장치의 구동방법
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청구항 14에 있어서,상기 스테레오 리소 그래피 장치는 상기 광중합부, 상기 구조물 생성부 및 상기 구조물 제거부 중 하나 이상을 제어하는 제어부를 더 포함하고,상기 구조물 생성부는 하나 이상의 수평방향으로 연장되는 이송부, 일단이 상기 이송부와 연결되는 하나 이상의 이송로드, 상기 이송로드의 타측에 결합되는 기판 및 상기 기판이 접근되는 수용부를 포함하고,상기 구조물 제거부는,상기 기판에 고착된 상기 구조물의 일부를 절단하거나 상기 기판으로부터 분리하기 위해 상기 구조물을 절한하는 절단부를 포함하고,상기 제어부에 의해,상기 기판 하강 단계에서는 상기 이송로드가 상기 기 결정된 원점에서 수직방향으로 신축되어, 상기 기판이 상기 수용부와 비접촉되되 상기 수용부에 수용된 상기 액상원료와 접촉되도록 하강하고,상기 광중합 수행 단계에서는 상기 구조물이 상기 수용부를 대향하는 면에 고착되도록 하는, 스테레오 리소 그래피 장치의 구동방법
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청구항 15에 있어서,상기 구조물 제거 단계에서는,상기 기판 및 상기 절단부가 서로 인접한 상태에서 다른 방향으로 상대속도가 형성됨으로써 상기 구조물의 절단이 이루어지는, 스테레오 리소 그래피 장치의 구동방법
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청구항 16에 있어서,상기 구조물의 절단은 상기 절단부가 고정되고, 상기 기판이 수평방향으로 이동되며 이루어지는, 스테레오 리소 그래피 장치의 구동방법
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청구항 16에 있어서,상기 구조물 제거부는 상기 절단부를 이동시킬 수 있는 구동부를 더 포함하고,상기 구조물의 절단은 상기 구동부에 의해 상기 절단부가 상기 기판과 서로 교차되도록 이동되되 평행방향으로 이동되며 이루어지는, 스테레오 리소 그래피 장치의 구동방법
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청구항 16에 있어서,상기 구조물 제거부는 상기 절단부를 이동시킬 수 있는 구동부 및 상기 절단부를 틸팅시키는 틸팅부를 더 포함하고,상기 절단부는,상기 틸팅부에 의해 상기 기판과 각도이격되도록 배치된 상태에서 상기 구동부에 의해 상기 구조물을 향해 이동됨으로써, 상기 각도이격된 만큼 상기 구조물을 경사지게 절단하는, 스테레오 리소 그래피 장치의 구동방법
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청구항 16에 있어서,상기 구조물 제거부는 상기 절단부를 틸팅시키는 틸팅부를 더 포함하고,상기 기판은 상기 구조물이 상기 절단부에 의해 절단될 수 있도록 상기 틸팅부에 의해 각도이격된 각도에 대응되도록 상기 수평방향 및 상기 수직방향으로 이동되어 상기 절단부에 의해 상기 구조물이 경사지게 절단되도록 하는, 스테레오 리소 그래피 장치의 구동방법
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