| 1 |
1
서로 다른 파장의 광신호를 출력하는 복수의 레이저 다이오드들;상기 복수의 레이저 다이오드들 각각에서 출력된 광신호를 제1 입력 포트로 수신하여 변조된 광신호를 제1 출력 포트로 출력하고, 외부 레이저 다이오드를 통해 수신된 모니터링 신호를 제2 입력 포트로 수신하여 변조된 모니터링 신호를 제2 출력 포트로 출력하는 복수의 광변조기들; 및상기 복수의 광변조기들 각각의 제1 출력 포트를 통해 출력된 광신호들을 다중화 하는 광다중화기를 포함하는 광집적회로
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| 2 |
2
제1항에 있어서,상기 복수의 광변조기들 각각의 제2 입력 포트 및 제2 출력 포트는,웨이퍼 레벨 테스트를 위해 수직 방향 결합이 가능한 광커플러가 연결되는 광집적회로
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| 3 |
3
제2항에 있어서,상기 수직 방향 결합이 가능한 광커플러는,그레이팅(Grating) 커플러인 광집적회로
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| 4 |
4
서로 다른 파장의 광신호를 출력하는 복수의 레이저 다이오드들;상기 복수의 레이저 다이오드들 각각에서 출력된 광신호를 제1 입력 포트로 수신하여 변조된 광신호를 제1 출력 포트로 출력하고, 외부 레이저 다이오드를 통해 수신된 모니터링 신호를 제2 입력 포트로 수신하여 변조된 모니터링 신호를 제2 출력 포트로 출력하는 복수의 광변조기들; 및상기 복수의 광변조기들 각각의 제1 출력 포트를 통해 출력된 광신호들을 다중화 하는 광다중화기를 포함하고,상기 복수의 광변조기들 각각의 제2 입력 포트 및 제2 출력 포트는, 웨이퍼 레벨 테스트를 위해 각각 수직 방향 결합이 가능한 광커플러 및 광검출기가 연결되는 광집적회로
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5
제4항에 있어서,상기 수직 방향 결합이 가능한 광커플러는,그레이팅(Grating) 커플러인 광집적회로
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6
서로 다른 파장의 광신호를 출력하는 복수의 레이저 다이오드들;상기 복수의 레이저 다이오드들 각각에서 출력된 광신호를 제1 입력 포트로 수신하여 변조된 광신호를 제1 출력 포트로 출력하고, 외부 레이저 다이오드를 통해 수신된 모니터링 신호를 제2 입력 포트로 수신하여 변조된 모니터링 신호를 상기 제1 출력 포트로 출력하는 복수의 광변조기들;상기 복수의 광변조기들 각각의 제1 출력 포트를 통해 출력된 광신호들을 다중화하여 제2 출력 포트로 출력하고, 상기 복수의 레이저 다이오드들 각각에서 출력된 광신호의 파장보다 일정 파장 간격만큼 길거나 짧은 파장을 가지는 모니터링 신호가 상기 광변조기를 통해 출력된 경우, 변조된 모니터링 신호를 상기 제2 출력 포트와 이웃한 제3 출력 포트로 출력하는 광다중화기를 포함하는 광집적회로
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| 7 |
7
제6항에 있어서,상기 복수의 광변조기들 각각의 제2 입력 포트 및 상기 광다중화기의 제3 출력 포트는,웨이퍼 레벨 테스트를 위해 수직 방향 결합이 가능한 광커플러가 연결되는 광집적회로
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8
제7항에 있어서,상기 수직 방향 결합이 가능한 광커플러는,그레이팅(Grating) 커플러인 광집적회로
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9
서로 다른 파장의 광신호를 출력하는 복수의 레이저 다이오드들;상기 복수의 레이저 다이오드들 각각에서 출력된 광신호를 제1 입력 포트로 수신하여 변조된 광신호를 제1 출력 포트로 출력하고, 외부 레이저 다이오드를 통해 수신된 모니터링 신호를 제2 입력 포트로 수신하여 변조된 모니터링 신호를 상기 제1 출력 포트로 출력하는 복수의 광변조기들;상기 복수의 광변조기들 각각의 제1 출력 포트를 통해 출력된 광신호들을 다중화하여 제2 출력 포트로 출력하고, 상기 복수의 레이저 다이오드들 각각에서 출력된 광신호의 파장보다 일정 파장 간격만큼 길거나 짧은 파장을 가지는 모니터링 신호가 상기 광변조기를 통해 출력된 경우, 변조된 모니터링 신호를 상기 제2 출력 포트와 이웃한 제3 출력 포트로 출력하는 광다중화기를 포함하고,상기 복수의 광변조기들 각각의 제2 입력 포트 및 상기 광다중화기의 제3 출력 포트는, 웨이퍼 레벨 테스트를 위해 각각 수직 방향 결합이 가능한 광커플러 및 광검출기가 연결되는 광집적회로
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10
제9항에 있어서,상기 수직 방향 결합이 가능한 광커플러는,그레이팅(Grating) 커플러인 광집적회로
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| 11 |
11
서로 다른 파장의 광신호를 수신하는 복수의 광검출기들; 및외부에서 복수 파장이 다중화된 광신호를 제3 입력 포트로 수신하여 역다중화 한 후 상기 복수의 광검출기들로 출력하고, 상기 복수의 광검출기들 각각에 대응하는 광신호의 파장보다 일정 파장 간격만큼 길거나 짧은 파장을 가지는 모니터링 신호를 제4 입력 포트로 수신하여 상기 복수의 광검출기들 중 상기 광신호의 파장에 대응하는 광검출기로 출력하는 광역다중화기를 포함하는 광집적회로
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12
제11항에 있어서,상기 광역다중화기의 제4 입력 포트는,웨이퍼 레벨 테스트를 위해 수직 방향 결합이 가능한 광커플러가 연결되는 광집적회로
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13
제12항에 있어서,상기 수직 방향 결합이 가능한 광커플러는,그레이팅(Grating) 커플러인 광집적회로
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