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선 분산 보상 및 후 분산 보상을 동시에 구현할 수 있는 레이저 증폭 시스템

  • 기술번호 : KST2022004511
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 선 분산 보상 및 후 분산 보상을 동시에 구현할 수 있는 레이저 증폭 시스템에 관한 것으로서, 본 발명의 레이저 증폭 시스템은, 펄스가 음의 분산을 나타내도록 처프하는 분산 보상기, 수평 편광 펄스를 통과시키고 수직 편광 펄스를 반사시키는 편광기, 및 이중 경로 증폭형의 레이저 증폭기를 포함하고, 제1모드에서, 상기 분산 보상기로 입사된 수평 편광 펄스에 대해 상기 레이저 증폭기에서 증폭되어 출력되는 수직 편광 펄스를 상기 편광기를 통해 반사시켜 출력하고, 제2모드에서, 상기 편광기로 입사된 수직 편광 펄스에 대해 상기 레이저 증폭기에서 증폭되어 출력되는 수평 편광 펄스를 상기 편광기와 상기 분산 보상기를 순차 통과시켜 출력한다.
Int. CL H01S 3/10 (2006.01.01)
CPC H01S 3/10038(2013.01) H01S 3/10023(2013.01)
출원번호/일자 1020200136771 (2020.10.21)
출원인 한국전기연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2022-0052614 (2022.04.28) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 국내출원/신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 N
심사청구항수 20

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전기연구원 대한민국 경상남도 창원시 성산구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 양주희 경기도 안산시 상록구
2 김광훈 부산광역시 수영구
3 김준완 경기도 안산시 상록구
4 박설원 경상남도 창원시 성산구
5 살 엘레나 경상남도 창원시 성산구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인충정 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로***,*층(역삼동,성보역삼빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2020.10.21 수리 (Accepted) 1-1-2020-1115460-59
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.12.17 수리 (Accepted) 4-1-2020-5288766-89
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번호 청구항
1 1
펄스가 음의 분산을 나타내도록 처프하는 분산 보상기; 수평 편광 펄스를 통과시키고 수직 편광 펄스를 반사시키는 편광기; 및 이중 경로 증폭형의 레이저 증폭기를 포함하고,상기 분산 보상기로 입사된 수평 편광 펄스에 대해 상기 레이저 증폭기에서 증폭되어 출력되는 수직 편광 펄스를 상기 편광기를 통해 반사시켜 출력하는, 레이저 증폭 시스템
2 2
제1항에 있어서,상기 편광기로 입사된 수직 편광 펄스에 대해 상기 레이저 증폭기에서 증폭되어 출력되는 수평 편광 펄스를 상기 편광기와 상기 분산 보상기를 순차 통과시켜 출력하는 레이저 증폭 시스템
3 3
분산 보상기; 편광기; 및 레이저 증폭기를 순차 배치한 구성을 포함하고,상기 분산 보상기는 펄스가 음의 분산을 나타내도록 처프하고, 상기 편광기는 수평 편광 펄스를 통과시키고 수직 편광 펄스를 반사시키며, 상기 레이저 증폭기는 이중 경로 증폭형이며,상기 분산 보상기로 입사된 수평 편광 펄스에 대해 상기 레이저 증폭기에서 증폭되어 출력되는 수직 편광 펄스를 상기 편광기를 통해 반사시켜 출력하는 제1모드, 및상기 편광기로 입사된 수직 편광 펄스에 대해 상기 레이저 증폭기에서 증폭되어 출력되는 수평 편광 펄스를 상기 편광기와 상기 분산 보상기를 순차 통과시켜 출력하는 제2 모드로 동작하는 레이저 증폭 시스템
4 4
제1항 또는 제3항에 있어서,상기 분산 보상기 앞에 배치된 미러를 더 포함하고,상기 미러를 통해 상기 분산 보상기로 상기 수평 편광 펄스를 입사하고,상기 분산 보상기를 통해 출력되는 상기 수평 편광 펄스를 상기 미러를 통해 출력하는 레이저 증폭 시스템
5 5
제1항 또는 제3항에 있어서,상기 레이저 증폭 시스템을 단위 모듈 형태로 제작하여, 복수의 단위 모듈 각각이 상기 분산 보상기로 수평 편광 펄스를 입사하는 제1 모드 또는 상기 편광기로 수직 편광 펄스를 입사하는 제2 모드로 동작하도록 조합하여 결합하기 위한, 레이저 증폭 시스템
6 6
제1항 또는 제3항에 있어서,상기 펄스에 대한 상기 분산 보상기에서의 음의 분산값과 상기 레이저 증폭기에서의 레이저 매질 및 광학계 매질의 양의 분산값 간의 상쇄를 통하여, 상기 분산 보상기가 사용되지 않을 때 보다 좁은 펄스폭을 갖는 증폭된 펄스를 출력하기 위한, 레이저 증폭 시스템
7 7
제1항 또는 제3항에 있어서,상기 레이저 증폭기는, 레이저 매질로서 Yb:YAG, Nd:YAG, Yb:Y2O3, Yb:CALGO, Yb:KGW, Yb:KYW, Yb:KLuW, Yb:glass, Yb:YVO4, Er:YAG, Tm:YAG, Ho:YAG, 또는 Cr:YAG를 포함하는 레이저 증폭 시스템
8 8
제1항 또는 제3항에 있어서,상기 분산 보상기는,상기 펄스를 일반 고반사 미러 및 음의 분산값을 갖는 처프 미러 사이에서 미리 결정된 횟수 만큼 반사시켜 출력하는 레이저 증폭 시스템
9 9
제1항 또는 제3항에 있어서,상기 분산 보상기는,상기 펄스를 음의 분산값을 갖는 하나의 처프 미러만으로 반사시켜 출력하는 레이저 증폭 시스템
10 10
제1항 또는 제3항에 있어서,상기 분산 보상기는,상기 펄스를 음의 분산값을 갖는 2개의 처프 미러 사이에서 미리 결정된 횟수 만큼 반사시켜 출력하는 레이저 증폭 시스템
11 11
제1항 또는 제3항에 있어서,상기 분산 보상기는, 음의 분산값을 갖는 처프 미러(chirped mirror), GTI (Gires-Tournois interferometers) 미러를 포함하는 유전체 분산 미러(dielectric dispersive mirror), 회절 격자쌍(pairs of diffraction grating), 프리즘쌍(prism pairs), CVBG (Chirped Volume Bragg gratings), 또는 GRISMs을 이용하는 레이저 증폭 시스템
12 12
제1모드에서, 순차 배치한 분산 보상기, 편광기, 및 레이저 증폭기를 이용하여, 상기 분산 보상기로 입사된 수평 편광 펄스에 대해 상기 레이저 증폭기에서 증폭되어 출력되는 수직 편광 펄스를 상기 편광기를 통해 반사시켜 출력하는 단계;제2모드에서, 상기 편광기로 입사된 수직 편광 펄스에 대해 상기 레이저 증폭기에서 증폭되어 출력되는 수평 편광 펄스를 상기 편광기와 상기 분산 보상기를 순차 통과시켜 출력하는 단계를 포함하고,상기 분산 보상기는 펄스가 음의 분산을 나타내도록 처프하고, 상기 레이저 증폭기는 이중 경로 증폭형인, 레이저 증폭 방법
13 13
제12항에 있어서,상기 분산 보상기 앞에 배치된 미러를 더 이용하여,상기 미러를 통해 상기 분산 보상기로 상기 수평 편광 펄스를 입사하고,상기 분산 보상기를 통해 출력되는 상기 수평 편광 펄스를 상기 미러를 통해 출력하는 레이저 증폭 방법
14 14
제12항에 있어서,상기 순차 배치한 분산 보상기, 편광기, 및 레이저 증폭기를 포함하는 레이저 증폭 시스템을 단위 모듈 형태로 제작하여, 복수의 단위 모듈 각각이 상기 제1 모드 또는 상기 제2 모드로 동작하도록 조합하여 결합하기 위한, 레이저 증폭 시 방법
15 15
제12항에 있어서,상기 펄스에 대한 상기 분산 보상기에서의 음의 분산값과 상기 레이저 증폭기에서의 레이저 매질 및 광학계 매질의 양의 분산값 간의 상쇄를 통하여, 상기 분산 보상기가 사용되지 않을 때 보다 좁은 펄스폭을 갖는 증폭된 펄스를 출력하기 위한, 레이저 증폭 방법
16 16
제12항에 있어서,상기 레이저 증폭기는, 레이저 매질로서 Yb:YAG, Nd:YAG, Yb:Y2O3, Yb:CALGO, Yb:KGW, Yb:KYW, Yb:KLuW, Yb:glass, Yb:YVO4, Er:YAG, Tm:YAG, Ho:YAG, 또는 Cr:YAG를 포함하는 레이저 증폭 방법
17 17
제12항에 있어서,상기 분산 보상기는,상기 펄스를 일반 고반사 미러 및 음의 분산값을 갖는 처프 미러 사이에서 미리 결정된 횟수 만큼 반사시켜 출력하는 레이저 증폭 방법
18 18
제12항에 있어서,상기 분산 보상기는,상기 펄스를 음의 분산값을 갖는 하나의 처프 미러만으로 반사시켜 출력하는 레이저 증폭 방법
19 19
제12항에 있어서,상기 분산 보상기는,상기 펄스를 음의 분산값을 갖는 2개의 처프 미러 사이에서 미리 결정된 횟수 만큼 반사시켜 출력하는 레이저 증폭 방법
20 20
제12항에 있어서,상기 분산 보상기는, 음의 분산값을 갖는 처프 미러(chirped mirror), GTI (Gires-Tournois interferometers) 미러를 포함하는 유전체 분산 미러(dielectric dispersive mirror), 회절 격자쌍(pairs of diffraction grating), 프리즘쌍(prism pairs), CVBG (Chirped Volume Bragg gratings), 또는 GRISMs을 이용하는 레이저 증폭 방법
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패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 과학기술정보통신부 한국전기연구원 한국전기연구원 주요사업 초정밀 레이저 가공을 위한 극초단 자외선 모듈 개발