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금속산화물 1 내지 30 wt%, 유기용매 69 내지 98 wt% 및 분산제 1 내지 10 wt%를 포함하는 MEMS 기반 가스 센서용 잉크 조성물
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제1항에 있어서,상기 금속산화물은 SnO2, WO3, ZnO, Fe2O3, Fe2O4, NiO, TiO2, CuO, In2O3, Zn2SnO4, Co3O4, PdO, LaCoO3, NiCo2O4, V2O5, RuO2, IrO2, MnO2, 및 InTaO4로 이루어진 그룹에서 선택된 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 MEMS 기반 가스 센서용 잉크 조성물
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제1항에 있어서,상기 금속산화물의 입자 크기는 10nm 내지 10㎛ 인 것을 특징으로 하는 MEMS 기반 가스 센서용 잉크 조성물
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제3항에 있어서,상기 금속산화물은 튜브(tube), 로드(rod), 플레이크(flak), 와이어(wire), 벨트(belt) 및 시트(sheet)로 이루어진 그룹에서 선택된 적어도 하나의 형태를 갖는 것을 특징으로 하는 MEMS 기반 가스 센서용 잉크 조성물
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제1항에 있어서,상기 금속산화물에 Pt, Pd, Ni 또는 Au의 금속 촉매가 결착되어 있는 것을 특징으로 하는 MEMS 기반 가스 센서용 잉크 조성물
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제1항에 있어서,상기 유기용매는 BC(Butyl Carbitol), EG(Ethylene Glycol), 에탄올(Ethanol), 테르랄린(Tetralin), PGMA, 톨루엔(Toluene), 페놀(Phenol), NMP(N-methyl-2-pyrrolidinone), 글리세린(glycerin), 및 diglyme(diethylene glycol dimethyl ether)으로 이루어진 그룹에서 선택된 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 MEMS 기반 가스 센서용 잉크 조성물
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제1항에 있어서,상기 유기용매는 BC, EG, 에탄올 및 PGMA로 구성된 복합용매인 것을 특징으로 하는 MEMS 기반 가스 센서용 잉크 조성물
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제1항에 있어서,상기 분산제는 폴리아크릴레이트, 폴리우레탄, 폴리에테르, 포스포네이트, 트리아미노, 및 카복실레이트로 이루어진 그룹에서 선택된 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 MEMS 기반 가스 센서용 잉크 조성물
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금속산화물 1 내지 30 wt%, 유기용매 69 내지 98 wt% 및 분산제 1 내지 10 wt%를 포함하는 잉크를 제조하는 단계;상기 잉크를 기판 위에 잉크젯 프린팅하여 감지층을 형성하는 단계; 및상기 감지층을 건조하는 단계;를 포함하는 MEMS 기반 가스 센서의 제조 방법
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제9항에 있어서,상기 기판은 실리콘 웨이퍼인 것을 특징으로 하는 MEMS 기반 가스 센서의 제조 방법
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제10항에 있어서, 상기 감지층을 형성하는 단계 이전에 수행되는,상기 기판의 표면을 플라즈마 또는 엑시머 자외선(excimer UV)로 개질하는 단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 MEMS 기반 가스 센서의 제조 방법
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제10항에 있어서, 상기 감지층을 형성하는 단계 이전에 수행되는,상기 기판 위에 전극층을 형성하는 단계; 및상기 전극층 위에 절연층을 형성하는 단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 MEMS 기반 가스 센서의 제조 방법
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