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기판을 준비하는 단계; 상기 기판 상에 팔라듐(Pd)을 포함하는 프리 변색층을 형성하는 단계; 상기 프리 변색층이 형성된 기판을 산소를 포함하는 가스 분위기에서 어닐링하여 산화 팔라듐(PdO)을 포함하는 변색층을 형성하는 단계; 상기 변색층 상에 팔라듐(Pd)을 포함하는 촉매층을 형성하는 단계; 를 포함하는 변색형 수소센서의 제조 방법
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제 1 항에 있어서, 상기 기판을 준비하는 단계에서, 상기 기판은 실리콘, 유리, 금속, 아크릴 수지, 폴리카보네이트, 폴리에틸렌 테레프탈레이트(PET), 폴리에틸렌 나프탈레이트(PEN), 폴리이미드(PI), 폴리아미드(PA), 폴리테트라플루오로에틸렌(PTFE), 폴리우레탄(PU), 폴리아릴레이트(PA), 폴리에테르설폰(PES), 플루오렌 폴리에스터(FPE), 사이클로 올레핀 수지, 에폭시 수지 및 에스테르 수지로 이루어진 군으로부터 선택된 하나 이상인 것을 특징으로 하는 변색형 수소센서의 제조 방법
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제1항에 있어서, 상기 프리 변색층을 형성하는 단계는, 전해도금, 무전해도금, 스퍼터링, 펄스레이져증착, 진공증발증착, 금속유기화학증착, 플라즈마개선화학증착, 원자층증착 및 이온빔증착 중 어느 하나 이상의 방법을 이용하여 수행되는 것을 특징으로 하는 변색형 수소센서의 제조방법
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제 1 항에 있어서, 상기 프리 변색층을 형성하는 단계에서, 형성되는 프리 변색층의 두께는 10 nm 내지 500 nm인 것을 특징으로 하는 변색형 수소센서의 제조방법
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제 1 항에 있어서, 상기 변색층을 형성하는 단계에서, 상기 어닐링 하는 공정은 250 ℃ 내지 800 ℃에서 수행되는 것을 특징으로 하는 변색형 수소센서의 제조 방법
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제 1 항에 있어서, 상기 변색층을 형성하는 단계에서, 상기 산소를 포함하는 가스는 O2 가스, O3 가스, 수증기(H2O) 및 이들을 포함하는 공기(Air) 중 어느 하나 이상인 것을 특징으로 하는 변색형 수소센서의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 촉매층을 형성하는 단계는, 전해도금, 무전해도금, 스퍼터링, 펄스레이져증착, 진공증발증착, 금속유기화학증착, 플라즈마개선화학증착, 원자층증착 및 이온빔증착 중 어느 하나 이상의 방법을 이용하여 수행되는 것을 특징으로 하는 변색형 수소센서의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 촉매층을 형성하는 단계에서, 형성되는 촉매층의 두께는 2 nm 내지 100 nm인 것을 특징으로 하는 변색형 수소센서의 제조방법
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기판; 상기 기판 상에 위치하고, 산화 팔라듐(PdO)을 포함하는 변색층; 및상기 변색층 상에 위치하고, 팔라듐(Pd) 을 포함하는 촉매층; 을 포함하는 변색형 수소센서
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제 9 항에 있어서, 상기 기판은 실리콘, 유리, 금속, 아크릴 수지, 폴리카보네이트, 폴리에틸렌 테레프탈레이트(PET), 폴리에틸렌 나프탈레이트(PEN), 폴리이미드(PI), 폴리아미드(PA), 폴리테트라플루오로에틸렌(PTFE), 폴리우레탄(PU), 폴리아릴레이트(PA), 폴리에테르설폰(PES), 플루오렌 폴리에스터(FPE), 사이클로 올레핀 수지, 에폭시 수지 및 에스테르 수지로 이루어진 군으로부터 선택된 하나 이상인 것을 특징으로 하는 변색형 수소센서
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제 9 항에 있어서, 상기 변색층의 두께는 10 nm 내지 500 nm인 것을 특징으로 하는 변색형 수소센서
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제 9 항에 있어서, 상기 촉매층의 두께는 5 nm 내지 100 nm인 것을 특징으로 하는 변색형 수소센서
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제 9 항에 있어서, 공기 중에서 농도가 10 ppm 이상인 수소 가스에 노출된 경우, 변색하는 것을 특징으로 하는 변색형 수소센서
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