1 |
1
시료관을 통해 유동하는 시료 유체에 광을 출사하는 광원;상기 시료 유체에 포함된 미세 입자를 투과하거나 상기 미세 입자에 반사된 광을 집속하는 제1 렌즈;상기 제1 렌즈에 의해 집속된 광을 통과시키는 슬릿;상기 슬릿을 통과한 광을 분산시키는 분산 소자;상기 분산 소자에 의해 분산된 광을 결상하여 분광 스펙트럼을 생성하는 제1 카메라;상기 미세 입자에 의하여 산란 또는 반사된 광을 집속하는 제2 렌즈;상기 제2 렌즈에 의해 집속된 광을 결상하여 상기 미세 입자의 유동 단면 영상을 생성하는 제2 카메라; 및상기 분광 스펙트럼을 이용하여 상기 미세 입자의 정성 분석을 수행하고, 상기 유동 단면 영상을 이용하여 상기 미세 입자의 정량 분석을 수행하는 분석부를 포함하는 미세 입자의 정성 및 정량 분석 장치
|
2 |
2
제 1 항에 있어서,상기 정량 분석은 상기 미세 입자의 개수 및 크기 분석을 포함하고, 상기 정성 분석은 상기 미세 입자의 성분 및 색상 분석을 포함하는미세 입자의 정성 및 정량 분석 장치
|
3 |
3
제 1 항에 있어서,상기 시료 유체는 액체 또는 기체이고, 상기 미세 입자는 미세 플라스틱 또는 미세 먼지인미세 입자의 정성 및 정량 분석 장치
|
4 |
4
제 1 항에 있어서,복수의 미세 입자에 대한 성분 별 분광 스펙트럼을 저장하는 저장부를 더 포함하는 미세 입자의 정성 및 정량 분석 장치
|
5 |
5
제 4 항에 있어서,상기 분석부는상기 분광 스펙트럼을 상기 저장부에 저장된 상기 성분 별 분광 스펙트럼과 매칭하여 상기 미세 입자의 성분을 결정하는미세 입자의 정성 및 정량 분석 장치
|
6 |
6
제 1 항에 있어서,상기 시료관은 상기 미세 입자를 검출하기 위한 투명한 투과 튜브를 포함하는미세 입자의 정성 및 정량 분석 장치
|
7 |
7
제 1 항에 있어서,상기 시료관은 희박한 농도의 미세 입자를 농축시키는 다단 오리피스;상기 다단 오리피스를 통과한 상기 시료 유체 중에서 상기 미세 입자만 통과시키는 수직 트랩을 포함하는미세 입자의 정성 및 정량 분석 장치
|
8 |
8
제 7 항에 있어서,상기 분석부는 상기 수직 트랩을 통과한 상기 시료 유체를 분석하는미세 입자의 정성 및 정량 분석 장치
|
9 |
9
제 1 항에 있어서,상기 분산 소자는회절 격자 또는 프리즘인미세 입자의 정성 및 정량 분석 장치
|
10 |
10
제 1 항에 있어서,상기 제1 카메라는상기 미세 입자가 유동함에 따라 상기 미세 입자의 면적 스캔 기능을 수행하는미세 입자의 정성 및 정량 분석 장치
|
11 |
11
제 1 항에 있어서,상기 시료관은사각관 형태로 이루어지는미세 입자의 정성 및 정량 분석 장치
|