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유입되는 정화대상물을 기름과 물로 분리하기 위해, 초소수성 및 초친유성을 나타내는 제1 분리막; 및초친수성 및 초소유성을 나타내는 제2 분리막을 포함하는 유수 분리 필터
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제 1항에 있어서,상기 제1 분리막은, -Si-(N)-을 포함하는 전구체를 불활성 기체를 이용하여 대기압 저온 플라즈마로 메시(mesh)를 증착시켜 제조되는 것을 특징으로 하는 유수 분리 필터
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제 1항에 있어서,상기 제2 분리막은, -Ti-O-를 포함하는 전구체를 불활성 기체를 이용하여 대기압 저온 플라즈마로 메시(mesh)를 증착시켜 제조되는 것을 특징으로 하는 유수 분리 필터
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제 1항에 있어서, 상기 제1 분리막 또는 제2 분리막은,대기압 저온 플라즈마를 통해 물 또는 기름에 대한 젖음성 성질을 갖게하는 기능성 물질이 증착되어 형성되는 것을 특징으로 하는 유수 분리 필터
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제 2항 또는 제 3항에 있어서, 상기 메시(mesh)는 섬유 메쉬, 메탈 메쉬, 유기계 메쉬, 고분자 메쉬 및 세라믹 메쉬 중 적어도 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 유수 분리 필터
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제 2항 또는 제3항에 있어서,상기 제1 분리막 또는 상기 제2 분리막은,화학적 특성을 변화시키지 않는 분자 기체이면서 상기 대기압 저온 플라즈마의 전자온도를 높일 수 있는 혼합기체를 추가하여 제조되는 것을 특징으로 하는 유수 분리 필터
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제 2항에 있어서,상기 제1 분리막 제조시에 질소 기체가 추가되는 것을 특징으로 하는 유수 분리 필터
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제 3항에 있어서,상기 제2 분리막 제조시에 산소 기체가 추가되는 것을 특징으로 하는 유수 분리 필터
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유입되는 정화대상물로부터 기름을 회수하기 위해, 초소수성 및 초친유성을 나타내는 제1 분리막; 및초친수성 및 초소유성을 나타내는 제2 분리막을 포함하는 기름 회수 장치
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10
유입되는 정화대상물로부터 물을 회수하기 위해,초소수성 및 초친유성을 나타내는 제1 분리막; 및초친수성 및 초소유성을 나타내는 제2 분리막을 포함하는 물 회수 장치
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11
기판 상에 -Si-(N)-을 포함하는 전구체를 불활성 기체를 이용하여 대기압 저온 플라즈마로 증착시켜 초소수성 및 초친유성 성질을 갖는 기판을 제조하는 방법
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제 11항에 있어서,화학적 특성을 변화시키지 않는 분자 기체이면서 상기 대기압 저온 플라즈마의 전자온도를 높일 수 있는 혼합기체를 추가하여 초소수성 및 초친유성 성질을 갖는 기판을 제조하는 방법
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13
기판 상에 -Ti-O-를 포함하는 전구체를 불활성 기체를 이용하여 대기압 저온 플라즈마로 증착시켜 초친수성 및 초소유성 성질을 갖는 기판을 제조하는 방법
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제 13항에 있어서,화학적 특성을 변화시키지 않는 분자 기체이면서 상기 대기압 저온 플라즈마의 전자온도를 높일 수 있는 혼합기체를 추가하여 초친수성 및 초소유성 성질을 갖는 기판을 제조하는 방법
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