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펄스를 갖는 레이저 광을 생성하는 광원;상기 레이저 광의 상기 펄스를 압축하는 펄스 압축기;상기 레이저 광을 시료에 제공하는 대물 렌즈; 및상기 레이저 광을 수신하여 상기 시료의 이미지를 획득하는 이미지 센서들을 포함하되,상기 펄스 압축기는:상기 레이저 광을 분산시키는 격자 플레이트;상기 격자 플레이트의 일측에 제공되고, 상기 레이저 광을 상기 격자 플레이트에 반사하는 코너 큐브; 및상기 격자 플레이트의 타측에 제공되고, 상기 격자 플레이트에 투과된 상기 레이저 광을 상기 코너 큐브 및 상기 격자 플레이트에 재반사하는 리트로 리플렉터를 포함하는 이광자 여기 형광 현미경
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제 1 항에 있어서,상기 격자 플레이트는:제 1 회절 영역;상기 제 1 회절 영역에 이격하는 제 2 회절 영역;상기 제 2 회절 영역과 제 1 회절 영역 사이의 제 3 회절 영역; 및상기 제 3 회절 영역과 상기 제 1 회절 영역 사이의 제 4 회절 영역을 포함하는 이광자 여기 형광 현미경
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제 2 항에 있어서,상기 리트로 리플렉터는 상기 제 2 회절 영역 및 상기 제 3 회절 영역에 접하고, 상기 제 1 회절 영역 및 상기 제 4 회절 영역에서 이격하는 이광자 여기 형광 현미경
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제 2 항에 있어서,상기 펄스 압축기는 상기 제 1 회절 영역에 인접하는 상기 격자 플레이트의 측벽에 연결되고, 상기 격자 플레이트를 회전시키는 회전기를 더 포함하는 이광자 여기 형광 현미경
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제 2 항에 있어서,상기 제 3 회절 영역과 상기 제 4 회절 영역 사이에 제공되어 상기 격자 플레이트와 상기 코너 큐브 사이의 거리를 조절하는 실린더를 더 포함하는 이광자 여기 형광 현미경
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제 1 항에 있어서,상기 광원은 펨토초 펄스 레이저를 포함하는 이광자 여기 형광 현미경
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제 1 항에 있어서,상기 펄스 압축기와 상기 대물렌즈 사이에 제공되는 빔 스플리터들을 더 포함하는 이광자 여기 형광 현미경
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제 7 항에 있어서,상기 빔 스플리터들은:제 1 빔 스플리터; 및상기 제 1 빔 스플리터와 상기 대물 렌즈 사이의 제 2 빔 스플리터를 포함하는 이광자 여기 형광 현미경
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제 8 항에 있어서,상기 펄스 압축기와 상기 제 1 빔 스플리터 사이의 튜브 렌즈들을 더 포함하는 이광자 여기 형광 현미경
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제 9 항에 있어서,상기 튜브 렌즈들과 상기 펄스 압축기 사이의 평면 미러들을 더 포함하는 이광자 여기 형광 현미경
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레이저 광을 분산시키는 격자 플레이트;상기 격자 플레이트의 일측에 제공되고, 상기 레이저 광을 상기 격자 플레이트에 반사하는 코너 큐브;상기 격자 플레이트의 타측에 제공되고, 상기 격자 플레이트에 투과된 상기 레이저 광을 상기 코너 큐브 및 상기 격자 플레이트에 재반사하는 리트로 리플렉터; 및상기 격자 플레이트의 일측 측벽에 연결되어 상기 격자 플레이트를 회전시켜 상기 레이저 광의 분산 값을 조절하는 회전기를 포함하는 펄스 압축기
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제 11 항에 있어서,상기 격자 플레이트는:상기 회전기에 인접하는 제 1 회절 영역;상기 제 1 회절 영역에 이격하는 제 2 회절 영역;상기 제 2 회절 영역과 제 1 회절 영역 사이의 제 3 회절 영역; 및상기 제 3 회절 영역과 상기 제 1 회절 영역 사이의 제 4 회절 영역을 포함하는 펄스 압축기
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13
제 12 항에 있어서,상기 리트로 리플렉터는 상기 제 2 회절 영역 및 상기 제 3 회절 영역에 접하고, 상기 제 1 회절 영역 및 상기 제 4 회절 영역에서 이격하는 펄스 압축기
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14
제 12 항에 있어서,상기 제 3 회절 영역과 상기 제 4 회절 영역 사이에 제공되어 상기 격자 플레이트와 상기 코너 큐브 사이의 거리를 조절하는 실린더를 더 포함하는 펄스 압축기
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제 12 항에 있어서,상기 격자 플레이트와 상기 코너 큐브 사이에 제공되는 공간 광 변조기를 더 포함하는 펄스 압축기
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제 15 항에 있어서,상기 공간 광 변조기는 상기 제 4 회절 영역에 인접하여 제공되는 펄스 압축기
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