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미세 인쇄 패턴에 대응되는 스텐실 홀과;상기 스텐실 홀을 가로지르며 스텐실 홀 높이보다 작은 높이로 형성되어 스텐실 홀 형상을 지지하는 브리지를;포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 스텐실 보호 브리지가 구비된 미세 패턴 인쇄용 금속 스텐실 마스크
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제1항에 있어서 상기 미세 패턴 인쇄를 위한 미세 금속 스텐실 마스크는저면에 점착력을 감소시키는 미세패턴이 형성되는 것을 특징으로 하는 스텐실 보호 브리지가 구비된 미세 패턴 인쇄용 금속 스텐실 마스크
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노광 공정용 니켈 기판에 제1감광제를 도포시키는 단계;미세 인쇄 패턴에 대응되는 스텐실 홀의 크롬패턴이 형성된 제2크롬마스크를 상기 제1감광제 상단에 배치시키고 상기 니켈 기판까지 현상되는 양의 자외선을 조사시킨 후 상기 제2크롬마스크를 제거시키는 단계;상기 스텐실 홀을 가로지르는 브리지의 크롬패턴이 형성된 제3크롬마스크를 상기 제1감광제 상단에 배치시키고 상기 니켈 기판까지는 현상되지 않는 양의 자외선을 조사시키는 단계;제1감광제를 현상하여 상면에 브리지 패턴홈이 형성된 스텐실 홀 감광제 패턴을 형성시키는 단계;상기 브리지 패턴홈과 스텐실 홀 감광제 패턴에 니켈 또는 니켈합금 도금을 실행시키는 단계; 및니켈 기판과 감광제 패턴을 제거하여 스텐실 보호 브리지가 구비된 미세 패턴 인쇄용 금속 스텐실 마스크를 제작하는 단계로;이루어지는 것을 특징으로 하는 스텐실 보호 브리지가 구비된 미세 패턴 인쇄용 금속 스텐실 마스크 제작방법
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제3항에 있어서 상기 스텐실 보호 브리지가 구비된 미세 패턴 인쇄용 금속 스텐실 마스크 제작방법은상기 브리지 패턴홈의 선폭과 높이 및 니켈 또는 니켈합금 도금의 높이를 조정하여, 브리지의 강성을 형성시키는 것을 특징으로 하는 미세 패턴 인쇄용 금속 스텐실 마스크 제작방법
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제3항에 있어서 상기 노광 공정용 니켈 기판은제1-1감광제가 도포된 제1-1기판 위에 점착력 감소용 기초패턴이 형성된 제1-1크롬마스크를 배치시킨 후, 자외선 조사 및 현상 공정을 통해 위상마스크용 감광제 패턴을 형성시키는 단계;상기 위상마스크용 감광제 패턴 상측에 나노 노광용 투명 고분자 재료를 부어 경화시킨 후, 위상마스크용 감광제 패턴에서 분리하여 나노 노광 공정용 위상 마스크를 제작하는 단계;제1-3기판 위에 전주 도금 공정용 금속 박막을 증착시킨 후, 제1-3감광제를 도포시키고, 제1-3감광제 상측에 상기 나노 노광 공정용 위상 마스크를 올리고 자외선을 조사한 후, 현상공정을 거쳐 점착력 감소용 미세 감광제 패턴을 형성시키는 단계;상기 점착력 감소용 미세 감광제 패턴에 전주 도금공정을 수행하여 점착력 감소용 미세패턴이 음각 형성된 노광 공정용 니켈 기판을 제작하는 단계를;포함하여 이루어져 제작되는 스텐실 보호 브리지가 구비된 미세 패턴 인쇄용 금속 스텐실 마스크의 저면에 점착력 감소용 미세패턴을 형성시키는 것을 특징으로 하는 스텐실 보호 브리지가 구비된 미세 패턴 인쇄용 금속 스텐실 마스크 제작방법
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