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세리아 입자;상기 세리아 입자의 경도 보다 높은 경도를 갖는 실리카 입자; 및상기 세리아 및 실리카 입자가 분산된 산성 용매를 포함하고, 상기 세리아와 상기 실리카 입자 각각의 크기는 200 내지 300nm이며,상기 세리아 입자는 제1 고분자 코어 및 상기 제1 고분자 코어 표면을 코팅하는 세리아 쉘을 포함하는 구조이고, 상기 실리카 입자는 제2 고분자 코어 및 상기 제2 고분자 코어 표면을 코팅하는 실리카 쉘을 포함하는 구조인 것을 특징으로 하는,연마용 조성물
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제1항에 있어서,상기 실리카 입자에 대한 상기 세리아 입자의 크기 비율은 0
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제1항에 있어서,상기 세리아 및 실리카 입자는 3:7 내지 7:3의 중량비율로 혼합된 것인,연마용 조성물
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제1항에 있어서,상기 세리아 및 실리카 입자는 전체 연마용 조성물 대비 1 이상 10 wt% 이하로 포함된 것인,연마용 조성물
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삭제
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삭제
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제1항에 있어서,상기 제1 및 제2 고분자 코어의 크기는 190 내지 250nm이고,상기 세리아 쉘 및 실리카 쉘의 두께는 10 내지 50 nm인 것을 특징으로 하는,연마용 조성물
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고분자 코어-세리아 쉘 구조를 갖는 세리아 입자를 제조하는 제1 단계;아민기를 포함하는 실리카 전구체를 이용하여 상기 세리아 입자보다 높은 경도를 갖고, 고분자 코어-실리카 쉘 구조를 갖는 실리카 입자를 제조하는 제2 단계; 및상기 세리아 및 실리카 입자를 산성 용매에 분산시키는 제3 단계를 포함하고,상기 세리아 및 실리카 입자는 용매 내에서 동일한 표면 전하를 갖는 것을 특징으로 하고,상기 세리아 및 실리카 입자 각각의 크기는 200 내지 300nm인 것인,연마용 조성물의 제조 방법
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제8항에 있어서,상기 산성 용매는 6 이하의 pH를 갖는 것을 특징으로 하는,연마용 조성물의 제조 방법
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제8항에 있어서,상기 제1 단계는 세리아 전구체를 이용하여 제조하는 것을 포함하는 것인, 연마용 조성물의 제조 방법
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제10항에 있어서,상기 세리아 전구체는 세륨(III)질산 6수화물(Cerium(III) nitrate hexahydrate)인 것을 특징으로 하는,연마용 조성물의 제조 방법
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제8항에 있어서,상기 아민기를 포함하는 실리카 전구체는,실리카 전구체 및 아미노 실란계 화합물을 포함하는 것인,연마용 조성물 제조 방법
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제12항에 있어서,상기 실리카 전구체는 테트라에틸오소실리케이트(Tetraethyl orthosilicate, TEOS), 테트라메틸오소실리케이트 (Tetramethyl orthosilicate, TMOS), 폴리에톡시디실록세인 (Polyethoxydisiloxane, PEDS), 메틸트리에톡시실란 (Methyltriethoxysilane, MTES), 에틸트리메톡시실란 (Ethyltrimethoxysilane, ETMS), 프로필트리메톡시실란 (Propyltrimethoxysilane, PTMS) 및 헥실트리메톡시실란 (Hexyltrimethoxysilane, HTMS)을 포함하는 군으로부터 선택된 하나 이상을 포함하고,상기 아미노 실란계 화합물은 3-아미노프로필 트리에톡시실란(3-Aminopropyl triethoxysilane), 3-아미노프로필 트리메톡시실란(3-Aminopropyl trimethoxysilane), 3-아미노프로필 메틸디에톡시실란(3-Aminopropyl methyldiethoxysilane) 및 3-아미노프로필 메틸디메톡시실란(3-Aminopropyl methyldimethoxysilane)을 포함하는 군으로부터 선택된 하나 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는,연마용 조성물 제조 방법
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