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산화물 반도체에서 산화물층 제조 장치 및 방법

  • 기술번호 : KST2022005128
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 산화물층 제조 장치에 관한 것으로서, 기판, 상기 기판 상에 형성되는 절연층, 상기 절연층 상에 형성되는 산화물층 및 상기 산화물층 상에 형성되는 상부 전극을 포함하여 이루어지는 산화물 반도체에서 산화물층 제조 장치에 있어서, 챔버 내에 주입하기 위한 불활성 가스를 저장하고 있는 가스 저장부, 상기 챔버 내에 절연층이 형성된 기판을 고정시키기 위한 홀더, 상기 챔버 내에 상기 기판과 이격된 거리에 위치하여 산화물로 구성된 타겟을 고정시키기 위한 건(gun), 상기 챔버를 진공 상태로 만들기 위한 진공 펌프 및 상기 챔버 내에 불활성 가스가 주입된 진공 상태에서 플라즈마를 발생시켜서, 글로우 방전을 통해 상기 타겟을 구성하는 물질이 떨어져 나와 상기 절연층 상에 산화물 박막을 형성하도록, 상기 건에 RF 파워를 인가하기 위한 RF 파워 제너레이터를 포함한다. 본 발명에 의하면 산화물층에 IGZO(Indium-Gallium-Zinc oxide)를 사용한 산화물 반도체를 제작함으로써, 전기적 특성을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
Int. CL H01L 45/00 (2006.01.01) C23C 14/08 (2006.01.01) C23C 14/50 (2006.01.01)
CPC H01L 45/1633(2013.01) C23C 14/08(2013.01) C23C 14/34(2013.01) C23C 14/505(2013.01)
출원번호/일자 1020200141230 (2020.10.28)
출원인 충북대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2022-0056546 (2022.05.06) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 국내출원/신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2020.10.28)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 충북대학교 산학협력단 대한민국 충청북도 청주시 서원구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김성진 경기도 안양시 만안구
2 이재윤 충청북도 청주시 서원구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김정현 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로 ***, *층 (역삼동, 신명빌딩)(한맥국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2020.10.28 수리 (Accepted) 1-1-2020-1147420-27
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2021.06.18 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 특허고객번호 정보변경(경정)신고서·정정신고서
 2021.08.09 수리 (Accepted) 4-1-2021-5213510-18
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2021.08.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2021-0217586-98
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2021.11.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2021-0935561-20
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2022.01.28 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2022-0110582-05
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서
 2022.01.28 수리 (Accepted) 1-1-2022-0110583-40
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번호 청구항
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기판, 상기 기판 상에 형성되는 절연층, 상기 절연층 상에 형성되는 산화물층 및 상기 산화물층 상에 형성되는 상부 전극을 포함하여 이루어지는 산화물 반도체에서 산화물층 제조 장치에 있어서, 챔버 내에 주입하기 위한 불활성 가스를 저장하고 있는 가스 저장부;상기 챔버 내에 절연층이 형성된 기판을 고정시키기 위한 홀더;상기 챔버 내에 상기 기판과 이격된 거리에 위치하여 산화물로 구성된 타겟을 고정시키기 위한 건(gun); 상기 챔버를 진공 상태로 만들기 위한 진공 펌프; 및상기 챔버 내에 불활성 가스가 주입된 진공 상태에서 플라즈마를 발생시켜서, 글로우 방전을 통해 상기 타겟을 구성하는 물질이 떨어져 나와 상기 절연층 상에 산화물 박막을 형성하도록, 상기 건에 RF 파워를 인가하기 위한 RF 파워 제너레이터를 포함하는 산화물층 제조 장치
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청구항 1에 있어서, 상기 타겟은 In2O3:Ga2O3:ZnO 조성비가 1:1:1 mol
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청구항 1에 있어서, 상기 홀더는 산화물 박막이 균일하게 증착되도록 상기 기판을 일정한 속도로 회전시킬 수 있는 구조인 것을 특징으로 하는 산화물층 제조 장치
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기판, 상기 기판 상에 형성되는 절연층, 상기 절연층 상에 형성되는 산화물층 및 상기 산화물층 상에 형성되는 상부 전극을 포함하여 이루어지는 산화물 반도체에서 산화물층 제조 방법에 있어서, 절연층이 형성된 기판을 고정시키기 위한 홀더와, 상기 기판과 이격된 거리에 위치하여 산화물로 구성된 타겟을 고정시키기 위한 건(gun)을 구비하고 있는 진공 상태의 챔버 내에 불활성 가스를 주입하는 단계; RF 파워 제너레이터를 통해 상기 건에 RF 파워를 인가하여 플라즈마를 발생시키는 단계; 및글로우 방전을 통해 상기 타겟을 구성하는 물질이 떨어져 나와 상기 절연층 상에 산화물 박막을 형성하는 단계를 포함하는 산화물층 제조 방법
5 5
청구항 4에 있어서, 상기 타겟은 In2O3:Ga2O3:ZnO 조성비가 1:1:1 mol
6 6
청구항 4에 있어서, 상기 홀더는 산화물 박막이 균일하게 증착되도록 상기 기판을 일정한 속도로 회전시킬 수 있는 구조인 것을 특징으로 하는 산화물층 제조 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 과학기술정보통신부 충북대학교 산학협력단 정보통신방송혁신인재양성(R＆D) Grand ICT 연구센터(충북대)
2 교육부 충북대학교 산학협력단 사회맞춤형 산학협력 선도대학(LINC+) 육성사업 사회맞춤형 산학협력 선도대학(LINC+) 육성사업(4차)
3 과학기술정보통신부 충북대학교 산학협력단 정보통신방송혁신인재양성(R＆D) 홀로그램 융합기술 연구개발