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마이크로 발광소자 구조 및 마이크로 발광소자 전사 방법

  • 기술번호 : KST2022005323
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 마이크로 발광소자와 정렬기판 구조에 관한 것으로서, 일실시예에 따른 발광 소자는 상기 입체형상이 경사진 측면을 포함하고, 상기 경사진 측면은 상기 마이크로 발광소자의 일면으로부터 돌출되어 있으며, 상기 경사진 측면은 자성을 갖고, 서로 다른 두 전극을 포함하되, 한 방향으로 형성되는 두 전극을 포함하고, 상기 두 전극 중에서 하나의 전극은 메사(mesa) 부분에 형성되고, 또 다른 하나의 전극은 경사진 측면에 형성될 수 있다.
Int. CL H01L 33/20 (2010.01.01) H01L 33/38 (2010.01.01) H01L 33/00 (2010.01.01)
CPC H01L 33/20(2013.01) H01L 33/38(2013.01) H01L 33/005(2013.01)
출원번호/일자 1020200147435 (2020.11.06)
출원인 고려대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2022-0061446 (2022.05.13) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 국내출원/신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2020.11.06)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 고려대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이인환 서울특별시 성북구
2 김규철 서울특별시 성북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김연권 대한민국 서울특별시 송파구 법원로 ***, ****/****호(문정동, 문정대명벨리온)(시안특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2020.11.06 수리 (Accepted) 1-1-2020-1186653-17
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2021.04.16 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2021.07.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2021-0237938-24
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2021.12.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2021-1009845-06
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2022.02.25 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2022-0214748-93
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서
2022.02.25 수리 (Accepted) 1-1-2022-0214747-47
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번호 청구항
1 1
입체형상을 갖는 마이크로 발광소자로서,상기 입체형상이 경사진 측면을 포함하고, 상기 경사진 측면은 상기 마이크로 발광소자의 일면으로부터 돌출되어 있으며,상기 경사진 측면은 자성을 갖고,서로 다른 두 전극을 포함하되,한 방향으로 형성되는 두 전극을 포함하고,상기 두 전극 중에서 하나의 전극은 메사(mesa) 부분에 형성되고, 또 다른 하나의 전극은 상기 경사진 측면에 형성되는 발광 소자
2 2
제1항에 있어서,상기 서로 다른 두 전극은 동시에 정렬기판에 연결되는 것을 특징으로 하는 발광 소자
3 3
제2항에 있어서,상기 마이크로 발광소자는, 유체에 분사되어 잉크로 제작되고, 잉크젯프린팅 기술을 통해 정렬기판의 특정 위치에 토출되고,상기 정렬기판에서 상기 마이크로 발광소자가 포함된 잉크는 상기 정렬기판 상의 패턴에 유도되되, 상기 토출되는 측면의 반대 측면에 형성되는 자기장에 의해 상기 패턴에 유도되는 것을 특징으로 하는 발광 소자
4 4
제3항에 있어서,상기 마이크로 발광소자의 경사진 측면의 첨두가 아래로 유지되도록 상기 패턴에 유도되는 것을 특징으로 하는 발광 소자
5 5
입체형상을 갖는 마이크로 발광소자의 제조 방법에 있어서,마이크로 발광소자 웨이퍼를 에칭하는 단계;에칭된 마이크로 발광소자 웨이퍼 상에 측벽 보호막(sidewall passivation)을 형성하는 단계;상기 측벽 보호막 중에서, 인접한 측벽 보호막 사이에 배치되는 n-콘택 디포지션을 형성하는 단계;상기 측벽 보호막이 형성된 마이크로 발광소자 상에 유테틱 레이어 디포지션(eutectic layer deposition)을 형성하는 단계;상기 유테틱 레이어 디포지션 상에 템플릿 TCB를 본딩하는 단계;상기 본딩된 템플릿 TCB를 그라인딩하는 단계; 및상기 본딩된 템플릿이 그라이딩된 형태의 마이크로 발광소자를 다이싱하는 단계를 포함하고,상기 본딩된 템플릿 TCB를 그라인딩하는 단계는,상기 마이크로 발광소자의 일측에서 돌출된 형태의 경사진 측면을 형성하되, 상기 경사진 측면은 상기 입체형상이 원뿔 또는 다각뿔 형태인 것을 특징으로 하는 마이크로 발광소자의 제조 방법
6 6
제5항에 있어서,상기 그라인딩 후 형성되는 경사진 측면을 자성화 하는 단계를 더 포함하는 상기 경사진 측면은 자성을 갖는 것을 특징으로 하는 마이크로 발광소자의 제조 방법
7 7
마이크로 발광소자를 전사하는 방법에 있어서,정렬기판의 일측면에 잉크 노즐을 유지하고, 상기 잉크 노즐이 유지되는 상기 일측면의 반대 측면에 자기장을 형성하는 단계; 및상기 잉크 노즐의 움직임에 상응하도록 상기 자기장을 유지하면서, 자성을 띄는 마이크로 발광소자가 분산된 잉크를 상기 정렬기판 상에 토출하는 단계를 포함하는 마이크로 발광소자의 전사 방법
8 8
제7항에 있어서,상기 마이크로 발광소자는,입체형상을 갖는 마이크로 발광소자로서,상기 입체형상이 원뿔 또는 다각뿔 형태의 경사진 측면을 포함하고, 상기 경사진 측면은 상기 마이크로 발광소자의 일면으로부터 돌출되어 있으며,상기 경사진 측면은 자성을 갖는 것을 특징으로 하는 마이크로 발광소자의 전사 방법
9 9
제7항에 있어서,상기 마이크로 발광소자는,서로 다른 두 전극을 포함하고,한 방향으로 형성되는 두 전극을 포함하며,상기 두 전극 중에서 하나의 전극은 메사(mesa) 부분에 형성되고, 또 다른 하나의 전극은 상기 경사진 측면에 형성되는 마이크로 발광소자의 전사 방법
10 10
제7항에 있어서,상기 잉크 노즐의 움직임에 상응하도록 상기 자기장을 유지하면서, 자성을 띄는 마이크로 발광소자가 분산된 잉크를 상기 정렬기판 상에 토출하는 단계는,상기 정렬기판에서 상기 마이크로 발광소자가 포함된 잉크가 상기 정렬기판 상의 패턴에 유도되되, 상기 토출되는 측면의 반대 측면에 형성되는 자기장에 의해 상기 패턴으로 유도되는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 발광소자의 전사 방법
11 11
마이크로 발광소자를 전사하는 방법에 있어서,정렬기판의 방향으로 낙하하는 마이크로 발광소자의 일측면에서 상기 마이크로 발광소자로 공기 흐름을 발생하는 단계;상기 발생한 공기 흐름에 따라 상기 마이크로 발광소자의 p-콘택이 상기 정렬기판을 향하도록 상기 마이크로 발광소자가 정렬되는 단계; 및상기 정렬된 마이크로 발광소자가 상기 정렬기판에 안착되는 단계를 포함하고,상기 발생된 공기 흐름에 따라 상기 마이크로 발광소자의 기판에 발생된 저항값이 상기 p-콘택에 발생된 저항값 이상이 되도록 상기 기판의 면적, 부피, 무게 중에서 적어도 하나가 형성되고, 상기 p-콘택은 적어도 하나 이상의 경사진 측면을 갖고, 입체형상이 원뿔 또는 다각뿔의 형태인 것을 특징으로 하는 마이크로 발광소자의 전사 방법
12 12
기판; 및상기 기판의 일면으로부터 돌출되어 입체형상을 갖고, p-콘택의 기능을 수행하는 경사진 측면을 포함하고,발생된 공기 흐름에 따라 상기 기판에 발생된 저항값이 상기 경사진 측면에 발생된 저항값 이상이 되도록 상기 기판의 면적, 부피, 무게 중에서 적어도 하나가 형성되는 구조이고, 상기 경사진 측면의 입체형상은 원뿔 또는 다각뿔의 구조를 갖는 것을 특징으로 하는 마이크로 발광소자
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