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상부웨이퍼와 하부웨이퍼의 본딩 시 웨이퍼 간의 왜곡을 보정하기 위한 웨이퍼의 왜곡보정장치에 있어서,상기 상부웨이퍼를 흡착하여 고정시키는 상부웨이퍼 고정부;상기 상부웨이퍼의 하부에 위치하고 상기 하부웨이퍼가 안착되는 하부웨이퍼 고정부;상기 하부웨이퍼 고정부의 하면과 결합되고 지면을 지지하는 적어도 하나의 액츄에이터를 포함하는 액츄에이터부;상기 상부웨이퍼 고정부 및 액츄에이터부로 전원을 공급하는 전원공급부; 및상기 상부웨이퍼 고정부, 상기 액츄에이터부 및 상기 전원공급부의 동작을 제어하는 제어부;를 포함하고,상기 제어부는 오버레이(overlay) 계측장치에서 상기 상부웨이퍼와 상기 하부웨이퍼를 계측한 정렬 오차를 기반으로 상기 적어도 하나의 액츄에이터 중 상기 상부웨이퍼와 상기 하부웨이퍼가 왜곡된 부분에 위치한 액츄에이터가 동작하도록 제어하여 상기 상부웨이퍼 및 상기 하부웨이퍼의 왜곡을 보정하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼의 왜곡보정장치
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제1 항에 있어서,상기 상부웨이퍼 고정부는 상기 상부웨이퍼와 상응하는 원판이고,상기 하부웨이퍼 고정부는 상기 하부웨이퍼와 상응하는 원판이며,상기 적어도 하나의 액츄에이터는 상기 하부웨이퍼 고정부와 수직하면서 상기 하부웨이퍼 고정부의 중심으로부터 방사상으로 상기 하부웨이퍼 고정부의 하면 테두리에 형성되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼의 왜곡보정장치
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제2 항에 있어서,상기 적어도 하나의 액츄에이터는 등간격으로 배치되어 상하방향으로 직선왕복운동하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼의 왜곡보정장치
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제1 항에 있어서,상기 정렬 오차는 변형(Translation) 오차, 회전(rotation) 오차 및 런아웃(Runout) 오차 중 적어도 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼의 왜곡보정장치
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제4 항에 있어서,상기 제어부는 상기 오버레이 계측장치로부터 전송되는 상기 정렬 오차에 대한 정보에 따라 상기 적어도 하나의 액츄에이터 중 상기 왜곡된 부분에 위치한 액츄에이터가 동작하도록 제어하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼의 왜곡보정장치
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제1 항에 있어서,상기 하부웨이퍼 고정부는 연성 재질로 이루어지는 것을 특징으로 하는 웨이퍼의 왜곡보정장치
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제6 항에 있어서,상기 적어도 하나의 액츄에이터는 상기 제어부의 제어에 의해 독립적으로 동작하여 상기 하부웨이퍼 고정부를 상방으로 밀거나 하방으로 잡아당기는 것을 특징으로 하는 웨이퍼의 왜곡보정장치
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(a) 상부웨이퍼를 흡착한 상부웨이퍼 고정부가 하부웨이퍼가 안착된 하부웨이퍼 고정부를 향하여 이동하면서 상기 상부웨이퍼와 상기 하부웨이퍼를 본딩하는 단계;(b) 오버레이 계측장치가 상기 상부웨이퍼 및 상기 하부웨이퍼의 정렬 오차를 계측하는 단계;(c) 제어부가 상기 오버레이 계측장치로부터 전송되는 상기 정렬 오차에 대한 정보에 따른 제어신호를 생성하는 단계; 및(d) 적어도 하나의 액츄에이터 중 상기 제어신호를 수신한 액츄에이터가 상하방향으로 동작하여 상기 상부웨이퍼 및 상기 하부웨이퍼의 왜곡을 보정하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼의 왜곡보정방법
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제8 항에 있어서,상기 (a) 단계는,(a1) 상기 상부웨이퍼 고정부가 상기 상부웨이퍼를 흡착하는 단계;(a2) 상기 하부웨이퍼를 상기 하부웨이퍼 고정부의 상면에 안착시키는 단계;(a3) 상기 상부웨이퍼 고정부가 하방으로 이동하면서 상기 상부웨이퍼와 상기 하부웨이퍼를 밀착시키는 단계; 및(a4) 상기 상부웨이퍼와 상기 하부웨이퍼가 본딩되는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼의 왜곡보정방법
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제8 항에 있어서,상기 (c) 단계는,(c1) 상기 제어부가 상기 오버레이 계측장치로부터 상기 정렬 오차에 대한 정렬오차정보를 수신하는 단계;(c2) 상기 제어부가 상기 정렬오차정보에 따라 상기 제어신호를 생성하는 단계; 및(c3) 상기 제어부가 상기 적어도 하나의 액츄에이터 중 상기 상부웨이퍼와 상기 하부웨이퍼의 왜곡된 부분에 위치한 액츄에이터로 상기 제어신호를 전송하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼의 왜곡보정방법
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