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직류 전압을 교번적으로 스위칭하여 교류 전압으로 변환하는 복수의 스위치를 포함하는 스위칭부;상기 스위칭부에 연결되어 직렬 접속된 공진 인덕터와 공진 커패시터의 공진 현상을 이용해 상기 스위칭부에서 전달되는 교류 전압의 주파수 특성을 변환하는 공진 회로부; 상기 공진 회로부에 연결된 일차측 권선 및 상기 일차측 권선과 소정의 권선비로 구비되는 이차측 권선을 포함하는 변압부; 및 상기 복수의 스위치 각각에 연결된 역병렬 다이오드의 도통 시점에서 상기 스위치를 턴온시키기 위한 게이트 신호를 출력하는 제어부를 포함하는 공진형 인버터로서,상기 제어부는,상기 직류 전압을 검지하는 입력 전압 검지부; 및 상기 직류 전압에 비례하여 상기 게이트 신호의 펄스폭을 증감하는 펄스폭 변조부를 포함하는 것을 특징으로 하는 공진형 인버터
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청구항 1에 있어서,상기 스위치의 스위칭 주파수는 상기 공진 회로부에서의 공진 주파수의 1/2 이하인 것을 특징으로 하는 공진형 인버터
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청구항 2에 있어서,상기 게이트 신호의 최소 펄스폭은 이고, Lr은 상기 공진 인덕터의 인덕턴스이며, Ceq_b는 상기 이차측 권선에 연결된 플라즈마 반응기의 방전 개시 전 상기 변압부의 일차측에서의 등가 커패시턴스인 것을 특징으로 하는 공진형 인버터
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청구항 3에 있어서,상기 게이트 신호의 최대 펄스폭은 이고, Ceq_a는 상기 플라즈마 반응기의 방전 개시 후 상기 변압부의 일차측에서의 등가 커패시턴스인 것을 특징으로 하는 공진형 인버터
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청구항 4에 있어서, 상기 게이트 신호 펄스폭 변조부는, 삼각파를 발생하는 삼각파 발생부; 및상기 삼각파를 입력받는 제 1 신호 입력부와 상기 직류 전압에 비례하도록 생성된 신호를 입력받는 제 2 신호 입력부를 포함하고, 상기 제 1 신호 입력부와 상기 제 2 신호 입력부로 입력되는 신호의 차를 이용하여 상기 게이트 신호의 펄스폭을 출력하는 게이트 신호 출력부를 포함하는 것을 특징으로 하는 공진형 인버터
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청구항 5에 있어서, 상기 펄스폭 변조부는,미리 설정된 최소 펄스폭 전압을 생성하는 최소 펄스폭 전압 생성부; 및상기 최소 펄스폭 전압과 상기 직류 전압의 차를 상기 제 2 신호 입력부로 출력하는 제어 신호 출력부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 공진형 인버터
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청구항 6에 있어서, 상기 펄스폭 변조부는,미리 설정된 최대 펄스폭 전압을 생성하는 최대 펄스폭 전압 생성부; 및상기 제어 신호 출력부에서 출력된 신호가 상기 최대 펄스폭 전압보다 작은 경우 상기 제 2 신호 입력부로 상기 최대 펄스폭 전압을 출력하는 최대 펄스폭 전압 출력부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 공진형 인버터
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직류 전압을 교번적으로 스위칭하여 교류 전압으로 변환하는 복수의 스위치를 포함하는 스위칭부;상기 스위칭부에 연결되어 직렬 접속된 공진 인덕터와 공진 커패시터의 공진 현상을 이용해 상기 스위칭부에서 전달되는 교류 전압의 주파수 특성을 변환하는 공진 회로부; 및 상기 공진 회로부에 연결된 일차측 권선 및 상기 일차측 권선과 소정의 권선비로 구비되는 이차측 권선을 포함하는 변압기를 포함하는 공진형 인버터에 포함되며,상기 복수의 스위치 각각에 연결된 역병렬 다이오드의 도통 시점에서 상기 스위치를 턴온시키기 위한 게이트 신호를 출력하는 제어 시스템,상기 직류 전압을 검지하는 입력 전압 검지부; 및 상기 직류 전압에 비례하여 상기 게이트 신호의 펄스폭을 증감하는 펄스폭 변조부를 포함하는 것을 특징으로 하는 공진형 인버터 제어 시스템
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