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구리(Cu) 분말과 니켈(Ni) 분말을 혼합하는 분말 혼합 단계;상기 구리 분말 및 상기 니켈 분말을 환원 분위기 하에서 열처리하여 구리/니켈 합금 분말을 형성하는 열처리 환원단계;상기 구리/니켈 합금 분말을 산화 분위기에서 열처리하여 산화구리/산화니켈 분말을 형성하는 열처리 산화 단계;상기 산화구리/산화니켈 분말의 직경이 감소하도록 분쇄하는 분쇄 단계; 및상기 직경이 감소된 산화구리/산화니켈 분말을 환원 분위기 하에서 열처리하여 구리/니켈 합금 분말로 재환원하는 열처리 재환원 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 세라믹 소자용 저확산 구리/니켈 합금 분말 제조방법
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제1항에 있어서,상기 분말 혼합 단계에서,상기 구리 분말 70 내지 90중량부 및 상기 니켈 분말은 10 내지 30중량부 혼합되는 것을 특징으로 하는 세라믹 소자용 저확산 구리/니켈 합금 분말 제조방법
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제1항에 있어서,상기 열처리 환원 단계는,순수 수소 분위기 또는 질소/수소 혼합가스 분위기 하에서 300 내지 800℃의 온도로 열처리가 이루어지는 것을 특징으로 하는 세라믹 소자용 저확산 구리/니켈 합금 분말 제조방법
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제1항에 있어서,상기 열처리 산화 단계는,대기 분위기 또는 산소 분위기 하에서 300 내지 500℃의 온도로 열처리가 이루어지는 것을 특징으로 하는 세라믹 소자용 저확산 구리/니켈 합금 분말 제조방법
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제1항에 있어서,상기 분쇄 단계는,1 내지 10mm 직경을 가지는 지르코니아 볼(zirconia ball) 또는 알루미나 볼(alumina ball)을 이용하여 5 내지 40시간 동안 볼 밀링하여 분쇄하는 것을 특징으로 하는 세라믹 소자용 저확산 구리/니켈 합금 분말 제조방법
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제1항에 있어서,상기 열처리 재환원 단계는,순수 수소 분위기 또는 질소/수소 혼합가스 분위기 하에서 상기 열처리 환원 단계보다 낮은 온도로 열처리가 이루어지는 것을 특징으로 하는 세라믹 소자용 저확산 구리/니켈 합금 분말 제조방법
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제1항 내지 제6항 중 어느 한 항의 방법으로 제조되는 것을 특징으로 하는 세라믹 소자용 저확산 구리/니켈 합금 분말
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유기용매;바인더; 및제1항 내지 제6항 중 어느 한 항의 방법으로 제조되는 1 내지 4마이크론 직경의 구리/니켈합금 분말;을 포함하는 것을 특징으로 하는 구리/니켈 합금 분말을 포함하는 페이스트
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제8항에 있어서,상기 유기용매는, PGME(propylene glycol monomethyl ether)이며,상기 바인더는, CMC(Carboxymethylcellulose), PVA(Polyvinylalcohol), PVP(Polyvinylpyrrolidone), PAA(Polyacrylicacid) 및 이의 혼합으로 이루어진 군으로부터 선택되는 것을 특징으로 하는 구리/니켈 합금 분말을 포함하는 페이스트
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세라믹층;제1항 내지 제6항 중 어느 한 항의 방법으로 제조되는 1 내지 4마이크론 직경의 구리/니켈합금 분말을 포함하며, 상기 세라믹층에 인쇄되는 전극층;을 포함하는 것을 특징으로 하는 구리/니켈 합금 분말을 포함하는 세라믹 소자
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