| 1 |
1
복수의 센서 그룹들로 그룹핑되고 대상체를 센싱하여 복수의 변위 센싱 데이터들을 출력하는 복수의 변위 센서들; 및상기 복수의 변위 센싱 데이터들, 및 상기 복수의 센서 그룹들에 각각 상응하는 복수의 변위 변환식들에 기초하여 상기 대상체에 대한 변위 데이터들을 생성하는 변위 센싱 데이터 처리 장치를 포함하는 변위 센싱 시스템
|
| 2 |
2
제1 항에 있어서, 상기 복수의 변위 센서들 중 동일한 센서 그룹에 포함되는 변위 센서들은 서로 대향 배치되고, 상기 동일한 센서 그룹으로부터 출력되는 변위 센싱 데이터들은 상기 복수의 센서 그룹들 각각에 상응하여 일괄적으로 처리되는 것을 특징으로 하는 변위 센싱 시스템
|
| 3 |
3
제1 항에 있어서, 상기 변위 센싱 시스템은 상기 복수의 변위 변환식들을 생성하는 제1 동작 모드 및 상기 변위 데이터들을 생성하는 제2 동작 모드에서 동작하는 것을 특징으로 하는 변위 센싱 시스템
|
| 4 |
4
제3 항에 있어서, 상기 변위 센싱 데이터 처리 장치는상기 복수의 변위 센싱 데이터들 및 복수의 변위 변환식들에 기초하여 상기 변위 변환 데이터들을 생성하는 신호처리부; 상기 복수의 변위 변환식들을 생성하여 저장하는 변환식 생성부; 및 상기 신호처리부 및 상기 변환식 생성부를 제어하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 변위 센싱 시스템
|
| 5 |
5
제1 센서 그룹을 형성하는 제1 변위 센서 및 제3 변위 센서; 제2 센서 그룹을 형성하는 제2 변위 센서 및 제4 변위 센서; 및상기 제1 변위 센서, 상기 제2 변위 센서, 상기 제3 변위 센서 및 상기 제4 변위 센서가 출력하는 복수의 변위 센싱 데이터들, 상기 제1 센서 그룹에 상응하는 제1 변위 변환식 및 상기 제2 센서 그룹에 상응하는 제2 변위 변환식에 기초하여 대상체에 대한 변위 데이터들을 생성하는 변위 센싱 데이터 처리 장치를 포함하는 변위 센싱 시스템
|
| 6 |
6
제5 항에 있어서, 상기 제1 변위 센서는 제1 변위 센싱 데이터를 출력하고, 상기 제2 변위 센서는 제2 변위 센싱 데이터를 출력하고, 상기 제3 변위 센서는 제3 변위 센싱 데이터를 출력하고, 상기 제4 변위 센서는 제4 변위 센싱 데이터를 출력하고, 상기 변위 센싱 데이터 처리 장치는상기 제1 변위 센싱 데이터 및 상기 제3 변위 센싱 데이터를 일괄적으로 처리하고, 상기 제2 변위 센싱 데이터 및 상기 제4 변위 센싱 데이터를 일괄적으로 처리하는 것을 특징으로 하는 변위 센싱 시스템
|
| 7 |
7
제6 항에 있어서, 상기 변위 센싱 데이터 처리 장치는 상기 제1 내지 제4 변위 센싱 데이터들에 기초하여 상기 변위 변환 데이터를 생성하는 신호처리부를 포함하고, 상기 신호처리부는 상기 제1 변위 센싱 데이터 및 상기 제2 변위 센싱 데이터 각각이 포함하는 고주파 성분을 제거하는 제1 저역 통과 필터; 상기 제3 변위 센싱 데이터 및 상기 제4 변위 센싱 데이터 각각이 포함하는 고주파 성분을 제거하는 제2 저역 통과 필터; 및 상기 제1 저역 통과 필터로부터 상기 고주파 성분이 제거된 상기 제1 변위 센싱 데이터 및 상기 제2 변위 센싱 데이터를 수신하고, 상기 제2 저역 통과 필터로부터 상기 고주파 성분이 제거된 상기 제3 변위 센싱 데이터 및 상기 제4 변위 센싱 데이터를 수신하고, 상기 제1 변위 센싱 데이터와 상기 제3 변위 센싱 데이터 간의 뺄셈 연산을 수행하고, 상기 제2 변위 센싱 데이터와 상기 제4 변위 센싱 데이터 간의 뺄셈 연산을 수행하는 뺄셈기를 포함하는 것을 특징으로 하는 변위 센싱 시스템
|
| 8 |
8
제1 센서 그룹을 형성하는 제1 변위 센서 및 제3 변위 센서; 제2 센서 그룹을 형성하는 제2 변위 센서 및 제4 변위 센서; 및상기 제1 변위 센서, 상기 제2 변위 센서, 상기 제3 변위 센서 및 상기 제4 변위 센서가 출력하는 복수의 변위 센싱 데이터들, 상기 제1 센서 그룹 및 상기 제2 센서 그룹에 공통적으로 상응하는 변위 변환식에 기초하여 대상체에 대한 변위 데이터들을 생성하는 변위 센싱 데이터 처리 장치를 포함하는 변위 센싱 시스템
|
| 9 |
9
복수의 센서 그룹들로 그룹핑되는 복수의 변위 센서들로부터 출력되는 제1 센싱 데이터들에 기초하여 상기 복수의 센서 그룹들에 각각 상응하는 복수의 변위 변환식들을 생성하는 단계; 및 상기 복수의 변위 센서들로부터 출력되는 제2 센싱 데이터들 및 복수의 변위 변환식들에 기초하여 대상체에 대한 변위 데이터들을 생성하는 단계를 포함하는 변위 센싱 시스템의 동작 방법
|
| 10 |
10
제9 항에 있어서, 상기 제1 센싱 데이터들은 상기 복수의 변위 센서들 각각을 교정하기 위한 테스트용 대상체를 센싱하여 출력되는 데이터들이고, 상기 제2 센싱 데이터는 상기 복수의 변위 센서들 각각이 교정된 후 대상체의 변위를 센싱하기 위한 변위 센싱용 대상체를 센싱하여 출력되는 데이터들인 것을 특징으로 하는 변위 센싱 시스템의 동작 방법
|
| 11 |
11
컴퓨터 판독가능 기록매체에 저장된 컴퓨터 프로그램으로서, 상기 컴퓨터 프로그램은 명령어들을 포함하고, 상기 명령어들은 컴퓨터 프로세서로 하여금 제9 항 또는 제10 항에 의한 변위 센싱 시스템의 동작 방법을 수행하도록 구성된, 컴퓨터 판독가능 기록매체에 저장된 컴퓨터 프로그램
|
