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렌즈 품질 검사용 편광 분석 장치 및 그 방법, 이를 이용한 편광 분석 시스템

  • 기술번호 : KST2022006295
  • 담당센터 : 광주기술혁신센터
  • 전화번호 : 062-360-4654
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 렌즈 품질 검사용 편광 분석 장치 및 그 방법, 이를 이용한 편광 분석 시스템에 관한 것으로서, 기 설정된 두께를 갖는 렌즈가 놓여져 고정되는 렌즈 거치대; 상기 렌즈 거치대의 하부에 배치되어 제1 방향의 조명 또는 제2 방향의 조명을 제공하는 조명부; 상기 렌즈 거치대와 조명부 사이에 위치하여, 상기 제1 방향의 조명과 제2 방향의 조명 중 어느 하나의 조명을 선택하여 상기 렌즈 거치대 방향으로 조사되도록 입사 경로를 결정하는 빔 스플리터; 상기 빔 스플리터에 의해 입사되는 조명이 렌즈를 투과하면서 발생되는 광학적 특성을 포함한 편광 정보를 측정하는 광학계; 및 상기 렌즈 거치대를 기 설정된 이동 방향으로 기 설정된 이동량만큼 이동시키고, 상기 렌즈 거치대, 조명부, 빔스플리터 및 광학계를 고정 지지하는 지그를 포함하는 것이다.
Int. CL G01N 21/896 (2006.01.01) G01N 21/88 (2006.01.01) G01N 21/958 (2006.01.01) G01M 11/02 (2019.01.01)
CPC
출원번호/일자 1020200184874 (2020.12.28)
출원인 한국광기술원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2022-0069765 (2022.05.27) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보 대한민국  |   1020200156691   |   2020.11.20
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 국내출원/신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2020.12.28)
심사청구항수 14

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국광기술원 대한민국 광주광역시 북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이진수 광주광역시 광산구
2 이동길 광주광역시 북구
3 이광훈 경기도 안양시 동안구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김태영 대한민국 서울특별시 송파구 법원로 *** A동, ***호(태정특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2020.12.28 수리 (Accepted) 1-1-2020-1419677-01
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2021.03.24 수리 (Accepted) 4-1-2021-5095035-96
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2021.04.16 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기 설정된 두께를 갖는 렌즈가 놓여져 고정되는 렌즈 거치대;상기 렌즈 거치대의 하부에 배치되어 제1 방향의 조명 또는 제2 방향의 조명을 제공하는 조명부;상기 렌즈 거치대와 조명부 사이에 위치하여, 상기 제1 방향의 조명과 제2 방향의 조명 중 어느 하나의 조명을 선택하여 상기 렌즈 거치대 방향으로 조사되도록 입사 경로를 결정하는 빔 스플리터;상기 빔 스플리터에 의해 입사되는 조명이 렌즈를 투과하면서 발생되는 광학적 특성을 포함한 편광 정보를 측정하는 광학계; 및상기 렌즈 거치대를 기 설정된 이동 방향으로 기 설정된 이동량만큼 이동시키고, 상기 렌즈 거치대, 조명부, 빔스플리터 및 광학계를 고정 지지하는 지그를 포함하는 것인, 렌즈 품질 검사용 편광 분석 장치
2 2
제1항에 있어서,상기 렌즈 거치대는 상기 조명이 투과될 수 있는 투명 재질로 형성된 투명판, 상기 조명이 투과될 수 있는 투과홀이 형성된 평판 중 어느 하나의 형태로 형성되는 것인, 렌즈 품질 검사용 편광 분석 장치
3 3
제1항에 있어서, 상기 조명부는, 상기 렌즈 거치대의 일측면에서 무편광(Unpolarization)된 측면 조명을 제공하는 제1 조명부; 및 상기 렌즈 거치대의 하부면에서 기설정된 방향으로 선형 편광된 후면 조명을 제공하는 제2 조명부를 포함하는 것인, 렌즈 품질 검사용 편광 분석 장치
4 4
제3항에 있어서,상기 제2 조명부는,무편광된 조명을 제공하는 광원;상기 광원에서 조사되는 광을 원형 편광으로 제공하는 원형 편광판;상기 원형 편광판을 통해 입사되는 원형 편광을 광축에 대해 기설정된 위상만큼 편광 방향을 변화시켜 선형 편광된 광을 제공하는 파장판을 포함하는 것인, 렌즈 품질 검사용 편광 분석 장치
5 5
제4항에 있어서,상기 파장판은 사분파장판(quarter-wave plate)인 것인, 렌즈 품질 검사용 편광 분석 장치
6 6
제3항에 있어서,상기 광학계는,상기 제1 조명부에 의해 선형 편광 성분을 포함하고, 상기 제2 조명부에 의해 상기 렌즈의 내부 응력에 의한 복굴절 성분을 포함하는 편광 정보를 획득하는 것인, 렌즈 품질 검사용 편광 분석 장치
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제1항에 있어서,상기 광학계는,상기 렌즈 거치대의 상부에 놓여진 렌즈를 투과한 광을 확산시킨 후, 상기 확산된 광을 평행광으로 제공하는 렌즈모듈; 및상기 렌즈모듈을 통과한 광을 촬영하여 편광정보로 제공하는 편광 카메라를 포함하는 것인, 렌즈 품질 검사용 편광 분석 장치
8 8
제7항에 있어서,상기 편광 카메라는 편광각이 0도, 45도, 90도, 135도의 4방향의 편광 영상을 취득하기 위한 편광판을 포함하는 센서가 포함된 것인, 렌즈 품질 검사용 편광 분석 장치
9 9
제7항에 있어서,상기 광학계는,상기 지그의 이동 방향과 이동량에 따라 기 설정된 크기의 가로 및 세로로 배열된 화소로 이루어지는 면 단위 이미지로 스캔하고, 상기 스캔된 면 단위 이미지를 합성하여 하나의 완성된 입체적 이미지를 생성하는 것인, 렌즈 품질 검사용 편광 분석 장치
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편광을 이용하여 렌즈의 품질을 분석하는 편광 분석 장치에 의해 수행되는 렌즈 품질 검사용 편광 분석 방법에 있어서, a) 렌즈가 놓여진 렌즈 거치대를 향해 무편광(Unpolarization)된 제1 방향의 조명을 조사한 후, 광학계를 통해 상기 제1 방향의 조명이 렌즈를 투과하면서 발생되는 선형 편광성분을 포함하는 편광 정보를 촬영하는 단계;b) 상기 렌즈 거치대를 향해 기설정된 방향으로 선형 편광된 제2 방향의 조명을 조사한 후, 상기 광학계를 통해 상기 렌즈의 내부 응력에 의한 복굴절 성분을 포함하는 편광 정보 촬영하는 단계; 및 c) 상기 광학계로부터 편광 정보를 수집하고, 상기 편광 정보를 기초로 하여 상기 렌즈의 응력의 크기와 위상 분포 상태를 분석하여 렌즈 오류를 검출하는 단계를 포함하는 것인, 렌즈 품질 검사용 편광 분석 방법
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제10항에 있어서,상기 c) 단계는,상기 선형 편광성분을 이용하여 렌즈의 복굴절 측정값(Degree of linear polarization, DoLP)을 산출하고, 상기 산출된 복굴절 측정값을 이용하여 상기 렌즈의 표면 스크래치 또는 박막 박리 상태에 대한 오류를 검출하며,상기 복굴절 성분을 이용하여 상기 렌즈를 투과하여 상기 광학계로 입사되는 입사광의 편광 각도 정보(Angle of linear polarization, AoLP)를 산출하고, 상기 산출된 편광 각도 정보를 이용하여 상기 렌즈의 잔류 응력과 위상 분포를 검출하는 것인, 렌즈 품질 검사용 편광 분석 방법
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제10항에 있어서,상기 b) 단계는, 상기 렌즈 거치대를 기설정된 이동 방향과 이동량에 따라 기 설정된 크기의 가로 및 세로로 배열된 화소로 이루어지는 면 단위 이미지로 스캔하고, 상기 스캔된 면 단위 이미지를 합성하여 하나의 완성된 입체적 이미지를 생성하는 단계를 더 포함하는 것인, 렌즈 품질 검사용 편광 분석 방법
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제12항에 있어서,상기 c) 단계는, 상기 입체적 이미지를 이용하여 상기 렌즈의 잔류 응력 분포를 입체적으로 분석하여 잔류 응력 분포의 비대칭성을 평가하고, 상기 렌즈의 영역별 응력 집중 현상이 발생된 부분을 검출하는 것인, 렌즈 품질 검사용 편광 분석 방법
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편광을 이용하여 렌즈의 오류를 검출하는 렌즈 품질 검사용 편광 분석 시스템에 있어서, 제1항의 렌즈 품질 검사용 편광 분석 장치; 및상기 편광 분석 장치를 통해 편광 정보를 수집하고, 상기 편광 정보를 분석하여 상기 렌즈의 응력의 크기나 분포 상태를 파악하여 렌즈 오류를 평가한 후 평가 결과를 제공하는 평가 장치를 포함하는 것인, 렌즈 품질 검사용 편광 분석 시스템
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 과학기술정보통신부 (주)미래기술연구소 홀로그램핵심기술개발(R&D) (세부2)보안 및 도서를 위한 홀로그램 리소그래피용 장비 및 인쇄 기술개발