| 1 |
1
탄화규소, 탄소 및 탄소로 변환되는 탄소전구체 중에서 선택되는 적어도 어느 하나, Si, BN을 포함하며, 상압소결공정에 의하여 탄화규소 소재로 제조되는 것을 특징으로 하는 탄화규소 소재용 조성물
|
| 2 |
2
제1항에 있어서,상기 조성물을 100 중량%로 하였을 때, 탄화규소 86
|
| 3 |
3
제2항에 있어서,상기 조성물에는 유기바인더가 탄화규소 소재용 조성물 전체 중량 대비 1
|
| 4 |
4
(i) 탄화규소, 탄소 및 탄소로 변환되는 탄소전구체 중에서 선택되는 적어도 어느 하나, Si, BN를 포함하는 탄화규소 소재용 조성물의 혼합물을 제조하는 단계; (ii) 상기 혼합물을 이용하여 성형체를 제조하는 단계; 및 (iii) 상기 성형체를 상압소결하는 단계;를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 탄화규소 소재의 제조방법
|
| 5 |
5
제4항에 있어서, 상기 조성물을 100 중량%로 하였을 때, 탄화규소 86
|
| 6 |
6
제4항에 있어서, 상기 상압소결 공정의 온도는 2050 ~ 2250℃의 범위이며, 소결온도 도달 전 1450 ~ 1500℃의 온도범위에서 유지하여 Si + C → SiC 반응을 일으키고, 1550 ~ 1650℃의 온도범위에서 유지하여 SiO2 + 3C → SiC + 2CO↑ 반응을 일으키는 것을 포함하는 것을 특징으로 하는 탄화규소 소재의 제조방법
|
| 7 |
7
제6항에 있어서,상기 Si + C → SiC 반응을 일으키기 전에 350 ~ 600℃에서 유기바인더의 열분해 공정을 수행하는 것을 특징으로 하는 탄화규소 소재의 제조방법
|
| 8 |
8
제6항 또는 제7항에 있어서,상기 각 온도범위에서 0
|
| 9 |
9
제4항에 있어서, 상기 상압소결하는 단계에서, SiO2 + 3C → SiC + 2CO↑ 반응을 일으키는 1550 ~ 1650℃의 온도까지는 진공 분위기로 수행되고, 그 이상의 온도에서는 아르곤 분위기로 수행되는 것을 특징으로 하는 탄화규소 소재의 제조방법
|
| 10 |
10
제9항에 있어서, 상기 상압소결하는 단계에서의 유지 시간은 1 ~ 12 시간인 것을 특징으로 하는 탄화규소 소재의 제조방법
|
| 11 |
11
제1항의 조성물에 의하여 제조되며, 1~30 Ωcm 범위의 비저항과 3
|
