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중고온에서 높은 비저항을 갖는 정전척용 AlN-MgO계 소결체 및 이의 제조방법

  • 기술번호 : KST2022006518
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 0.3 내지 2.0 중량%의 MgO 분말 및 잔량의 AlN 분말로 이루어진 분말 혼합물을 가압소결하는 단계;를 포함하는 정전척용 AlN-MgO계 소결체의 제조방법, 및 이로부터 제조된 정전척용 AlN-MgO계 소결체에 관한 것이다.
Int. CL C04B 35/581 (2006.01.01) C04B 35/645 (2006.01.01) H01L 21/683 (2006.01.01)
CPC C04B 35/581(2013.01) C04B 35/645(2013.01) H01L 21/6833(2013.01) C04B 2235/3206(2013.01) C04B 2235/656(2013.01) C04B 2235/96(2013.01)
출원번호/일자 1020200138303 (2020.10.23)
출원인 한국세라믹기술원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2022-0053935 (2022.05.02) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 국내출원/신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2020.10.23)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국세라믹기술원 대한민국 경상남도 진주시 소호로 ***

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김종영 서울 강남구
2 이은실 이천시
3 피재환 세종특별자치시 달빛로 ***
4 김명동 대구 수성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인오암 대한민국 대전광역시 서구 문예로 **, *층 ***호(둔산동, 오성빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2020.10.23 수리 (Accepted) 1-1-2020-1126779-65
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2021.05.18 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
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번호 청구항
1 1
0
2 2
제 1항에 있어서,상기 가압소결은 MgO 분말의 함량이 0
3 3
제 1항에 있어서,상기 가압소결은 MgO 분말의 함량이 0
4 4
제 1항의 제조방법으로부터 제조된 소결체로,상기 소결체는 0
5 5
제 4항에 있어서,상기 가압소결은 MgO 분말의 함량이 0
6 6
제 4항에 있어서,상기 가압소결은 MgO 분말의 함량이 0
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업통상자원부 ㈜미코 산업기술혁신사업(전략적핵심소재기술개발사업) 3D-1xnm급 반도체공정용 내플라즈마성 10^16,10^10,10^3 ohm-cm급 세라믹복합소재 및 온도제어 기능성부품개발